【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种金属掩模(metal mask)用薄板的制造方法及金属掩模用薄板。
技术介绍
1、例如在有机电致发光(electro-luminescence，el)显示器的制作中，为了对基板进行蒸镀以形成彩色图案(color patterning)，而使用金属掩模。此种金属掩模中，作为制作开孔部的方法之一，已知对fe-ni系合金的薄板进行蚀刻加工的方法。为了提高所述蚀刻精度，一直以来进行多种研究。例如在专利文献1中，公开了一种板形状及耐热收缩性优异的fe-ni系低热膨胀合金薄板的制造方法，其特征在于，将含有32wt％～38wt％的ni的fe-ni系合金冷轧后，赋予伸长率0.4％～3％的应变来进行形状矫正，继而，在薄板温度550℃～690℃、张力2kgf/mm2以下的条件下进行去应变退火。另外，在专利文献2中，公开了如下低热膨胀合金薄板的制造方法：为了提高fe-ni-co系低热膨胀合金薄板的蚀刻速度和蚀刻精度，对热轧材料分别进行1次以上的冷轧和退火，使最终再结晶退火之前的冷轧的冷压率为90％以上，使最终再结晶退火的退火温度为850℃以上，最终冷压率为30％以下。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本专利特开平10-204541号公报
5、专利文献2：日本专利特开2003-253398号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、由于近年来产品的复杂化或高精度化，作为其原材料的fe-ni系薄板也要求
3、因此，本专利技术的目的在于提供一种在厚度为1.0mm以下的金属掩模用薄板中，能够具备良好的平坦度、耐蚀刻翘曲性及硬度的金属掩模用薄板及其制造方法。
4、解决问题的技术手段
5、本专利技术的一方式是一种金属掩模用薄板的制造方法，其特征在于包括：精密冷轧工序，对冷轧用原材料，实施压下率5％～50％的精密冷轧而制成薄板，所述冷轧用原材料以质量％计，含有c：≦0.01％、si：≦0.5％、mn：≦1.0％、ni+co：28％～52％(其中，co为0％～20％)，剩余部分包括fe及不可避免的杂质；
6、形状矫正工序，对所述精密冷轧后的薄板进行伸长率为0.25％～0.6％的形状矫正；以及
7、最终热处理工序，对所述形状矫正后的薄板进行热处理，以使薄板的维氏硬度(vickers hardness)为0.85n～0.97n(n＝形状矫正后的薄板的维氏硬度)，
8、从而获得厚度为1.0mm以下金属掩模用薄板。优选为在所述形状矫正工序和所述最终热处理工序之间，具有对薄板进行热处理以使薄板的维氏硬度为0.98n以上的去应变退火工序。
9、本专利技术的另一方式是一种金属掩模用薄板，以质量％计，含有c：≦0.01％、si：≦0.5％、mn：≦1.0％、ni+co：28％～52％(其中，co为0％～20％)，剩余部分包括fe及不可避免的杂质，厚度为1.0mm以下，其特征在于，
10、所述薄板的维氏硬度为160hv以上，
11、所述薄板的800mm长度下的最大浮起高度为2mm以下，
12、从所述薄板切出长度150mm、宽度30mm的试样，从一侧对所述试样进行蚀刻，除去所述试样的板厚的1/3时的翘曲量为20mm以下。
13、优选为所述金属掩模用薄板的结晶粒度编号超过8.0。
14、专利技术的效果
15、根据本专利技术，能够提供一种在厚度为1.0mm以下的金属掩模用薄板中，平坦度、耐蚀刻翘曲性、以及硬度全部显示出良好的特性，即使进行深的半蚀刻，材料也不易变形，能够进行高精度的蚀刻的金属掩模用薄板及其制造方法。
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1.一种金属掩模用薄板的制造方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的金属掩模用薄板的制造方法，其特征在于，在所述形状矫正工序与所述最终热处理工序之间，具备对薄板在再结晶温度以下进行热处理以使薄板的维氏硬度为0.98n以上的去应变退火工序。
3.根据权利要求1所述的金属掩模用薄板的制造方法，其特征在于，在精密冷轧工序中所制成的薄板的宽度为700mm～1100mm。
4.一种金属掩模用薄板，以质量％计，含有C：≦0.01％、Si：≦0.5％、Mn：≦1.0％、Ni+Co：28％～52％，其中Co为0％～20％，剩余部分包括Fe及不可避免的杂质，厚度为1.0mm以下，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种金属掩模用薄板的制造方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的金属掩模用薄板的制造方法，其特征在于，在所述形状矫正工序与所述最终热处理工序之间，具备对薄板在再结晶温度以下进行热处理以使薄板的维氏硬度为0.98n以上的去应变退火工序。
3.根据权利要求1所述的金属掩模用薄板的...
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