【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制备，尤其涉及一种制备石墨烯基板的自动化设备。
技术介绍
1、半导体电路ipm不仅把功率开关器件和驱动电路集成在一起，而且还内藏有过电压、过电流和过热等故障检测电路，并可将检测信号送到cpu或dsp作中断处理。半导体电路由高速低工耗的管芯和优化的门级驱动电路以及快速保护电路构成。即使发生负载事故或使用不当，也可以ipm自身不受损坏。ipm一般使用igbt作为功率开关元件，并内藏电流传感器及驱动电路的集成结构。
2、现有石墨烯电路基板生产工艺一般包括：开料、钻孔、线路成像、蚀刻、丝印阻焊、表面处理等工艺，由于石墨烯的特性，锡膏无法与石墨烯线路焊接，因此，石墨烯线路无法按照现有的锡膏焊接方式实现元器件的焊接工作，也无法通过绑定金属线的方式连接元器件，特别是微米级别的细线，基本不可能实现连接工作，因此，现有的设备无法实现石墨烯基板的批量生产。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提出一种制备石墨烯基板的自动化设备，实现多个石墨烯基板的同时加工生产，提高了生产效率和生产精度，使产品的生产更加稳定。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种制备石墨烯基板的自动化设备，包括机架、加工台、传输单元、第一工序单元、第二工序单元、第三工序单元和第四工序单元；
3、所述加工台设置在所述机架上，所述传输单元设置在所述加工台，所述传输单元用于将产品输送至各个工序的加工工位；
4、所述第一工序单元、所述第二工序单元、所述第三工序单
5、所述第一工序单元用于在产品上的第一预定区域压合铜箔圆片；
6、所述第二工序单元用于在产品上的第二预定区域印刷胶体线路；
7、所述第三工序单元用于在产品上的第二预定区域喷附石墨烯粉；
8、所述第四工序单元用于对产品进行高温固化。
9、优选的，还包括除粉单元，所述除粉单元设置在所述机架上，且与所述第三工序单元的加工工位相对，所述除粉单元用于去除产品上多余的石墨烯粉。
10、优选的，还包括显示单元，所述显示单元设置在所述机架上，所述机架沿长度方向设置有导向槽，所述显示单元的下端滑动卡接在所述导向槽内；所述显示单元用于显示操作界面以及操作系统，所述显示单元移动至对应工序的加工工位时，与对应工序的主机电连接，实现对应工序的控制操作。
11、优选的，所述传输单元包括传输轨道、夹爪机构和产品移动机构，所述传输轨道设置在所述加工台，所述传输轨道用于输送产品；
12、所述夹爪机构和所述产品移动机构设置在所述加工台，所述夹爪机构和所述产品移动机构配合将产品移动至各个工序的加工工位。
13、优选的，所述产品移动机构包括电机、丝杆和移动架，所述电机的输出端与所述丝杆连接，所述丝杆的另一端与所述加工台活动连接，所述移动架的一端与所述丝杆螺纹连接，所述移动架的另一端与所述夹爪机构连接。
14、优选的，所述夹爪机构包括气缸和压板，所述气缸与所述移动架的端部连接，所述气缸的输出端与所述压板连接，所述压板与所述传输轨道相平行。
15、优选的，还包括主梁、x轴导轨和y轴导轨，所述主梁设置在所述机架上，所述x轴导轨沿所述机架的宽度方向设置，所述y轴导轨沿所述机架的长度方向设置，所述x轴导轨设置有多个，所述第一工序单元、所述第二工序单元、所述第三工序单元和所述第四工序单元分别设置在对应的所述x轴导轨上。
16、优选的，还包括报警指示灯，所述报警指示灯设置在所述机架上。
17、优选的，还包括安全门，所述安全门设置在所述加工台的前侧。
18、本专利技术的一个技术方案的有益效果：通过多个工序单元实现制备石墨烯基板，在第一工序单元中，对产品压合铜箔圆片，在第二工序单元中进行印刷胶体线路，在第三工序单元中进行喷附石墨烯粉，最后通过第四工序单元进行高温固化；多个工序单元能够同时进行加工，实现多个石墨烯基板的同时加工生产，提高了生产效率和生产精度，使产品的生产更加稳定。
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1.一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，包括机架、加工台、传输单元、第一工序单元、第二工序单元、第三工序单元和第四工序单元；
2.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，还包括除粉单元，所述除粉单元设置在所述机架上，且与所述第三工序单元的加工工位相对，所述除粉单元用于去除产品上多余的石墨烯粉。
3.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，还包括显示单元，所述显示单元设置在所述机架上，所述机架沿长度方向设置有导向槽，所述显示单元的下端滑动卡接在所述导向槽内；所述显示单元用于显示操作界面以及操作系统，所述显示单元移动至对应工序的加工工位时，与对应工序的主机电连接，实现对应工序的控制操作。
4.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，所述传输单元包括传输轨道、夹爪机构和产品移动机构，所述传输轨道设置在所述加工台，所述传输轨道用于输送产品；
5.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，所述产品移动机构包括电机、丝杆和移动架，所述电机的输出
6.根据权利要求5所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，所述夹爪机构包括气缸和压板，所述气缸与所述移动架的端部连接，所述气缸的输出端与所述压板连接，所述压板与所述传输轨道相平行。
7.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，还包括主梁、x轴导轨和y轴导轨，所述主梁设置在所述机架上，所述x轴导轨沿所述机架的宽度方向设置，所述y轴导轨沿所述机架的长度方向设置，所述x轴导轨设置有多个，所述第一工序单元、所述第二工序单元、所述第三工序单元和所述第四工序单元分别设置在对应的所述x轴导轨上。
8.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，还包括报警指示灯，所述报警指示灯设置在所述机架上。
9.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，还包括安全门，所述安全门设置在所述加工台的前侧。
...【技术特征摘要】
1.一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，包括机架、加工台、传输单元、第一工序单元、第二工序单元、第三工序单元和第四工序单元；
2.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，还包括除粉单元，所述除粉单元设置在所述机架上，且与所述第三工序单元的加工工位相对，所述除粉单元用于去除产品上多余的石墨烯粉。
3.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，还包括显示单元，所述显示单元设置在所述机架上，所述机架沿长度方向设置有导向槽，所述显示单元的下端滑动卡接在所述导向槽内；所述显示单元用于显示操作界面以及操作系统，所述显示单元移动至对应工序的加工工位时，与对应工序的主机电连接，实现对应工序的控制操作。
4.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，所述传输单元包括传输轨道、夹爪机构和产品移动机构，所述传输轨道设置在所述加工台，所述传输轨道用于输送产品；
5.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯基板的自动化设备，其特征在于，所述产品移动机构包括电机、...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯宇翔，黄浩，
申请(专利权)人：广东汇芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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