一种光刻胶生产固液分离装置制造方法及图纸

技术编号:40771638 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-25 20:19
本技术公开了一种光刻胶生产固液分离装置,包括固液分离罐和活动安装在固液分离罐内的离心过滤筒,所述固液分离罐上端连接有抛料机构,离心过滤筒内设有过滤机构,抛料机构包括下料管道、锥形投料斗、一组同步气缸、安装板、驱动电机、驱动轴、若干个绞龙叶片以及抛料盘。本技术的有益效果是,通过将析出的酯化物结晶投入锥形投料斗内,一组同步气缸带动锥形投料斗以及抛料盘往复升降,使若干个绞龙叶片配合抛料盘可将结晶体均匀抛出,配合离心过滤筒转动,对结晶体进行固液分离,刮料刀可自动将粘附在离心过滤筒内壁的结晶体刮下,提高固液分离效果,清洗管道配合清理刷可对离心过滤筒进行自动清洗,方便使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻胶领域,具体为一种光刻胶生产固液分离装置


技术介绍

1、光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的,以后才用于电子工业。 光刻胶是一种有机化合物,它被紫外光曝光后,在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面,而后被干燥成胶膜。

2、光刻胶制备过程中需要将洗涤结晶釜酯化物结晶析出后,放入离心机中进行固液分离。目前所使用的离心分离设备在对析出后的结晶进行固液分离时,结晶体容易粘附在离心滚筒内壁上,影响离心分离效果,且不易清除和取出。

3、需要说明的是,上述内容属于专利技术人的技术认知范畴,并不必然构成现有技术。


技术实现思路

1、针对以上缺陷,本技术提供一种光刻胶生产固液分离装置,以解决光刻胶生产酯化物结晶体固液分离问题。

2、为实现上述目的,本技术采用以下技术方案:

3、一种光刻胶生产固液分离装置,包括固液分离罐和活动安装在固液分离罐内的离心过滤筒,所述固液分离罐上端连接有抛料机构,离心过滤筒内设有过滤机构;

4、抛料机构包括下料管道、锥形投料斗、一组同步气缸、安装板、驱动电机、驱动轴、若干个绞龙叶片以及抛料盘,所述下料管道活动插装在固液分离罐上表面中心处,所述锥形投料斗安装在下料管道上端,一组同步气缸安装在固液分离罐上,且伸缩端分别与锥形投料斗连接,所述安装板安装在锥形投料斗上端,所述驱动电机安装在安装板上,且旋转端活动插装在安装板内,所述驱动轴安装在驱动电机旋转端上,若干个绞龙叶片均匀安装在驱动轴上,所述抛料盘安装在驱动轴底部。

5、进一步的,过滤机构包括旋转电机、旋转轴、伺服气缸、一组固定套筒、滑动齿条、刮料轴以及传动齿轮,所述旋转电机安装在固液分离罐左侧底部,且旋转端竖直朝下,所述旋转轴活动插装在固液分离罐底部中心处,且上端与离心过滤筒连接,所述伺服气缸水平安装在固液分离罐上后端,一组固定套筒安装在固液分离罐上左侧,所述滑动齿条滑动插装在一组固定套筒内,且右端与伺服气缸伸缩端连接,所述刮料轴活动插装在固液分离罐上左侧,所述传动齿轮安装在刮料轴上端,且与滑动齿条啮合。

6、进一步的,所述旋转电机与旋转轴之间通过传动皮带传动连接,所述刮料轴一侧安装有刮料刀,另一侧安装有清理刷。

7、进一步的,所述固液分离罐上端右侧插装有清洗管道,清洗管道上均匀安装有若干个清洗头。

8、进一步的,所述抛料盘上表面均匀安装有若干个挡料板。

9、进一步的,所述固液分离罐右侧底部插装有出液管道,所述旋转轴内插装有与离心过滤筒连通的排料管道,排料管道底部安装有排料控制阀。

10、本技术提供了一种光刻胶生产固液分离装置,具备以下有益效果,通过位于固液分离罐上端连接有的抛料机构,将析出的酯化物结晶投入锥形投料斗内,一组同步气缸带动锥形投料斗以及抛料盘往复升降,使若干个绞龙叶片配合抛料盘可将结晶体均匀抛出,配合离心过滤筒转动,对结晶体进行固液分离,刮料刀可自动将粘附在离心过滤筒内壁的结晶体刮下,提高固液分离效果,清洗管道配合清理刷可对离心过滤筒进行自动清洗,方便使用。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光刻胶生产固液分离装置,包括固液分离罐(1)和活动安装在固液分离罐(1)内的离心过滤筒(2),其特征在于,所述固液分离罐(1)上端连接有抛料机构,离心过滤筒(2)内设有过滤机构;

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产固液分离装置,其特征在于,过滤机构包括旋转电机(11)、旋转轴(12)、伺服气缸(13)、一组固定套筒(14)、滑动齿条(15)、刮料轴(16)以及传动齿轮(17),所述旋转电机(11)安装在固液分离罐(1)左侧底部,且旋转端竖直朝下,所述旋转轴(12)活动插装在固液分离罐(1)底部中心处,且上端与离心过滤筒(2)连接,所述伺服气缸(13)水平安装在固液分离罐(1)上后端,一组固定套筒(14)安装在固液分离罐(1)上左侧,所述滑动齿条(15)滑动插装在一组固定套筒(14)内,且右端与伺服气缸(13)伸缩端连接,所述刮料轴(16)活动插装在固液分离罐(1)上左侧,所述传动齿轮(17)安装在刮料轴(16)上端,且与滑动齿条(15)啮合。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶生产固液分离装置,其特征在于,所述旋转电机(11)与旋转轴(12)之间通过传动皮带(18)传动连接,所述刮料轴(16)一侧安装有刮料刀(19),另一侧安装有清理刷(20)。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产固液分离装置,其特征在于,所述固液分离罐(1)上端右侧插装有清洗管道(21),清洗管道(21)上均匀安装有若干个清洗头(22)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产固液分离装置,其特征在于,所述抛料盘(10)上表面均匀安装有若干个挡料板(23)。

6.根据权利要求2所述的一种光刻胶生产固液分离装置,其特征在于,所述固液分离罐(1)右侧底部插装有出液管道(24),所述旋转轴(12)内插装有与离心过滤筒(2)连通的排料管道(25),排料管道(25)底部安装有排料控制阀(26)。

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【技术特征摘要】

1.一种光刻胶生产固液分离装置,包括固液分离罐(1)和活动安装在固液分离罐(1)内的离心过滤筒(2),其特征在于,所述固液分离罐(1)上端连接有抛料机构,离心过滤筒(2)内设有过滤机构;

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产固液分离装置,其特征在于,过滤机构包括旋转电机(11)、旋转轴(12)、伺服气缸(13)、一组固定套筒(14)、滑动齿条(15)、刮料轴(16)以及传动齿轮(17),所述旋转电机(11)安装在固液分离罐(1)左侧底部,且旋转端竖直朝下,所述旋转轴(12)活动插装在固液分离罐(1)底部中心处,且上端与离心过滤筒(2)连接,所述伺服气缸(13)水平安装在固液分离罐(1)上后端,一组固定套筒(14)安装在固液分离罐(1)上左侧,所述滑动齿条(15)滑动插装在一组固定套筒(14)内,且右端与伺服气缸(13)伸缩端连接,所述刮料轴(16)活动插装在固液分离罐(1)上左侧,所述传动齿轮(17)安...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨宪磊李春山路世伟李建峰
申请(专利权)人:河北立业化学制品有限公司
类型:新型
国别省市:

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