【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体集成电路中物料搬送，尤其涉及一种晶圆盒状态检测装置、天车系统及天车运输方法。
技术介绍
1、在半导体器件的制备过程中，常常采用amhs天车系统来搬运容置晶圆的晶圆盒。amhs天车系统包括天车和轨道。轨道悬挂在晶圆厂内洁净室的天花板下方，处于机台晶圆承载台正上方。天车在轨道上运行可以连通所有洁净室内位于轨道下方的机台，从而实现自动上下物料的功能。天车通过皮带连接抓取装置，抓取装置可以升降并取放位于机台承载台上的晶圆盒。天车抓取装置抓取到晶圆盒后，会回到天车容纳腔。然后天车会携带晶圆盒在轨道上移动，当移动到目标机台后，天车抓取装置会携带晶圆盒下降并将晶圆盒放到机台晶圆承载台上。
2、随着amhs天车系统在以直径300mm的晶圆为主要生产内容的洁净工厂的不断普及，许多以直径200mm的晶圆为主要生产内容的洁净工厂也引进了amhs天车系统。直径300mm的晶圆的装载晶圆盒是一种侧面开门的晶圆装载盒，直径200mm的晶圆装载晶圆盒是一种底部开门的晶圆装载盒。现有的天车并无法对底开式晶圆盒状态进行检测。
3、底部开门的晶圆装载盒的底座相对外壳是能够打开和关闭的，机台上配置有用于打开或关闭底座的smif，同时smif用于传送晶圆装载盒内装载的晶舟到机台。生产中，存在smif未关闭底座的情况。若底座未连接外壳，天车会将外壳搬送到下一目标机台，装有晶舟的底座则遗留在当前机台上，这会导致下一目标机台报警，同时晶舟没有外壳的保护会让晶圆片裸露在空气中，导致晶圆片遭受空气中灰尘的污染，会导致产品良率降低。若底
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本专利技术的提供一种晶圆盒状态检测装置、天车系统及天车运输方法，晶圆盒状态检测装置能够检测底开式晶圆盒的底座是否安装到位，避免由于底座未安装到位导致目标机台报警及运输过程底座松脱引发安全事故。
2、本专利技术的目的之一是，提供一种晶圆盒状态检测装置：
3、晶圆盒包括可拆卸连接的外壳和底座，底座设在外壳底部，以底座与外壳互锁后底座的底面为基准面；
4、底开式晶圆盒状态检测包括安装在天车上的第一检测组件和第二检测组件；
5、所述天车具有容纳晶圆盒的容纳腔，天车包括控制器，第一检测组件和第二检测组件均与控制器通信连接；所述通信连接表示控制器能够向被控制设备发送控制指令
6、所述第一检测组件包括安装在容纳腔内的第一光信号发射器和第一光信号接收器，所述第一检测组件用于检测基准面是否倾斜；
7、所述第二检测组件包括安装在容纳腔内的第二光信号发射器和第二光信号接收器，所述第二检测组件用于检测外壳底部是否有底座。
8、需要说明的是，第一光信号发射器和第一光信号接收器安装在容纳腔两相对侧面上，第二光信号发射器和第二光信号接收器安装在容纳腔两相对侧面上。
9、第一检测组件使利用底座不透光的特性进行检测，第二检测组件使利用外壳透光的特性进行检测。
10、当底座与外壳未完全锁好时，底座呈倾斜状态，天车将晶圆盒抓取至容纳腔后，倾斜状态的底座会对第一光信号发射器及第二光信号发射器发出的光进行阻挡，此时，第一光信号接收器及第二光信号接收器均无法接收到由对应的光信号发射器发射的光信号，则控制器判定状态异常，具体为底座与外壳未完全锁好。
11、当外壳上未安装底座时，天车将晶圆盒抓取至容纳腔后，第一光信号发射器及第二光信号发射器发出光的不会被底座阻挡，且第二光信号发射器发出光会穿过透光的外壳，此时，第一光信号接收器及第二光信号接收器均接收到由对应的光信号发射器发射的光信号，则控制器判定状态异常，具体为外壳上未安装底座。
12、当底座与外壳完全锁好时，底座呈水平状态，天车将晶圆盒抓取至容纳腔后，底座不会阻挡第一光信号发射器发出的光，会阻挡第二光信号发射器发出的光，此时，第一光信号接收器能接收到第一光信号发射器发出的光信号，第二光信号接收器无法接收到由第二光信号发射器发射的光信号，则控制器判定状态正常，具体为底座与外壳完全锁好。
13、在本专利技术较佳的技术方案中，所述第一光信号发射器和第一光信号接收器水平设置，所述第一光信号发射器向第一光信号接收器发射水平光，第一检测组件位于容纳腔内晶圆盒的基准面下方，所述第一光信号发射器和第一光信号接收器沿水平方向相对设置。
14、在本专利技术较佳的技术方案中，所述第二光信号发射器和第二光信号接收器的安装高度不同，第二光信号发射器和第二光信号接收器中的任意一个位于容纳腔内晶圆盒的基准面下方，另一个位于基准面上方。
15、在本专利技术较佳的技术方案中，所述第一光信号发射器和第一光信号接收器安装在同一高度，且位于第二光信号发射器和第二光信号接收器之间。
16、在本专利技术较佳的技术方案中，所述天车上安装有声光报警器，所述声光报警器与控制器通信连接。
17、在实际应用中，所述声光报警器包括指示灯和蜂鸣器，报警时，蜂鸣器发出蜂鸣同时指示灯闪烁。
18、本专利技术的目的之二是，提供一种天车系统：
19、包括天车、晶圆盒及安装在天车上的检测装置；
20、所述检测装置为上述的晶圆盒状态检测装置；
21、所述天车包括：
22、行驶组件，所述行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动；
23、抓取组件，所述抓取组件用于抓取或松开晶圆盒；
24、升降机构，所述升降机构连接于所述行驶组件与所述抓取组件之间，用于驱动所述抓取组件在竖直方向上移动；
25、控制器，与行驶组件、抓取组件、升降机构和检测装置通信连接。
26、在本专利技术较佳的技术方案中，所述抓取组件的抓取端设置有压力感应器，抓取组件抓取圆晶盒后，压力感应器与圆晶盒接触。
27、本专利技术的目的之三是，提供一种天车运输方法，其特征在于：
28、采用上述的天车系统进行晶圆盒的运输；
29、包括以下步骤：
30、控制器控制天车移动至机台上方；
31、天车抓取机台上的晶圆盒；
32、检测装置检测晶圆盒的底座的状态；
33、若底座与外壳完全锁好，则控制器控制天车将晶圆盒输送至下一目标机台；
34、若底座与外壳未完全锁好或外壳底部未安装底座，则控制器控制天车将晶圆盒原路放回至机台。
35、在本专利技术较佳的技术方案中，当检测装置判定底座与外壳未完全锁好或外壳底部未安装底座时，控制器启动报警器，直至天车将晶圆盒原路放回至机台上后，控制器关闭报警器。
36、在本专利技术较佳的技术方案中，在控制器控制天车将晶圆盒输送至下一目标机台的过程中，检测装置会持续对晶圆盒进行检测。
37、本专利技术的有益效果为：
<本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆盒状态检测装置，晶圆盒包括可拆卸连接的外壳和底座，以底座与外壳互锁后底座的底面为基准面，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的晶圆盒状态检测装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的晶圆盒状态检测装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的晶圆盒状态检测装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的晶圆盒状态检测装置，其特征在于：
6.一种天车系统，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的天车系统，其特征在于：
8.一种天车运输方法，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的天车运输方法，其特征在于：
10.根据权利要求8所述的天车运输方法，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒状态检测装置，晶圆盒包括可拆卸连接的外壳和底座，以底座与外壳互锁后底座的底面为基准面，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的晶圆盒状态检测装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的晶圆盒状态检测装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的晶圆盒状态检测装置，其特征在于：
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘学成，
申请(专利权)人：珠海格力电子元器件有限公司，
类型：发明
国别省市：
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