一种天车检测装置及其检测方法和天车搬运系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种天车检测装置，包括：检测模块，所述检测模块设置在天车抓取装置上用以检测晶圆盒的底盘关闭状态；控制装置，所述控制装置分别与所述检测模块以及天车制动装置连接；所述天车抓取装置抓取到晶圆盒的外壳体后开始上升，当所述检测模块检测到晶圆盒的底盘没锁好或者完全没锁时，所述控制装置控制所述天车刹车装置停止所述天车抓取装置上升。本发明专利技术还公开了一种天车检测装置的检测方法和一种天车搬运系统。本发明专利技术提供的天车检测装置可以在天车抓取装置抓取晶圆盒上升时侦测晶圆盒的底盘状态(底盘是否锁好)，避免天车抓取晶圆盒上升时晶圆盒底盘掉落和避免晶圆片遭受空气中灰尘污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及物料搬运，特别涉及一种天车检测装置及其检测方法和天车搬运系统。

技术介绍

1、随着智能制造概念在制造业的兴起，自动搬运的天车系统在洁净工厂不断普及，许多以直径200mm的晶圆为主要生产内容的洁净工厂也引进了天车系统。天车系统的主要部分包括oht天车(overhead hoist transport)和洁净轨道。洁净轨道悬挂在洁净室天花板龙骨上，位于机台的晶圆载台上方。oht天车在洁净轨道上运行，可以通过贯通全厂的洁净轨道移动到目标机台的晶圆载台上方。oht天车通过皮带连接抓取装置，抓取装置有夹爪，夹爪可以抓取晶圆盒pod。抓取装置可以通过皮带升降并取放位于机台晶圆载台上的晶圆盒。天车抓取装置抓取到晶圆盒后，会回到天车腹腔。然后天车会携带晶圆盒在洁净轨道上移动，当移动到目标机台后，天车抓取装置会携带晶圆盒下降并将晶圆盒放到机台晶圆载台上，从而实现自动上下物料的功能。天车系统的普及解决了工厂人力不足的难题，同时提高了搬运的准确性，提高了生产效率，减少了人为造成的产品损失，提高了产品良率。因此自动搬运的天车系统备受高端制造业的青睐。

2本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种天车检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述检测模块包括至少一设置在所述天车抓取装置上的距离传感器，所述检测模块用以检测所述检测模块与晶圆盒的底盘上的检测点之间的距离。

3.根据权利要求2所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述检测点包括设置在晶圆盒的底盘上的反光贴片。

4.根据权利要求2所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述检测模块包括两个设置在所述天车抓取装置上的距离传感器，两个所述距离传感器分别与晶圆盒的底盘上的四个角落中任意两个角落的一个检测点一一对应。

5.根据权利要求2所...

【技术特征摘要】

1.一种天车检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述检测模块包括至少一设置在所述天车抓取装置上的距离传感器，所述检测模块用以检测所述检测模块与晶圆盒的底盘上的检测点之间的距离。

3.根据权利要求2所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述检测点包括设置在晶圆盒的底盘上的反光贴片。

4.根据权利要求2所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述检测模块包括两个设置在所述天车抓取装置上的距离传感器，两个所述距离传感器分别与晶圆盒的底盘上的四个角落中任意两个角落的一个检测点一一对应。

5.根据权利要求2所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述检测模块包括四个设置在所述天车抓取装置上的距离传感器，四个所述距离传感器分别与晶圆盒的底盘上的四个角落的一个检测点一一对应。

6.根据权利要求1所述的一种天车检测装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘学成，
申请(专利权)人：珠海格力电子元器件有限公司，
类型：发明
国别省市：