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本发明提供了一种天车检测装置，包括：检测模块，所述检测模块设置在天车抓取装置上用以检测晶圆盒的底盘关闭状态；控制装置，所述控制装置分别与所述检测模块以及天车制动装置连接；所述天车抓取装置抓取到晶圆盒的外壳体后开始上升，当所述检测模块检测到晶...
该专利属于珠海格力电子元器件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海格力电子元器件有限公司授权不得商用。

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