一种固定机构、样品制备装置及方法制造方法及图纸

本公开提供了一种固定机构、样品制备装置及方法，固定机构包括承载件及插接件，承载件的第一端的顶部棱线形成有第二参考边，由第一倾斜面或第二倾斜面向内延伸形成有插槽，插接件的一侧固定有样品，样品的一棱线形成有第一参考边，插接件插接于插槽内，并使插接件上的样品突出于第一倾斜面或第二倾斜面，第一参考边与第二参考边在水平面上的投影共线；如此，先将样品固定至具有较大体积的插接件上，再将插接件插接至插槽内，以使样品突出于第一倾斜面或第二倾斜面，并使得样品上需要对齐于第一倾斜面或第二倾斜面的第一参考边裸露出来，还使得第一参考边更容易接近第二参考边，以便于操作者将第一参考边与第二参考边对齐。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及半导体制造，尤其涉及一种固定机构、样品制备装置及方法。

技术介绍

1、在分析半导体的电阻率与深度的关系时，需要先将测试的样本(样本的宽度通常为2-3mm，样品的长度通常为4-5mm)贴在承载件中具有一定倾斜角度的倾斜面上，然后，将承载件安装至调节支架后放置于水平设置的研磨盘上，并通过调节支架调节固定有样品的承载件的高度及水平度，接着，通过研磨盘将样品的一面研磨成具有一定倾角的斜面，最后，通过扩展电阻测试仪的两根探针沿着斜面以均匀的步进长度进行电阻率的测量和采集，并将所采集的多组数据绘制成一条深度与电阻率的关系曲线。

2、为满足更小体积样品(样品边长小于1mm)的制作，现有的技术中，先将更小体积的样品粘接在一块载体上，然后将载有样品的载体粘贴到承载件的斜面上，更大体积的载体更有利于手持操作，以使具有更小体积的样品更容易实现样品的直边与承载件上斜面的参考边对齐，从而使样品更容易粘接的成功。

3、然而，当需要制作出具有更小倾斜角度(接近0°)的待检测面的样品时，相应的，所需要的承载件上斜面的倾斜角度也非常小(接近0°)，此时，斜本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种固定机构，用于固定样品，所述样品的一棱线形成有第一参考边，其特征在于，所述固定机构包括：

2.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述插接件的截面与所述插槽的截面的形状均为梯形结构，所述插接件与所述插槽之间过盈配合。

4.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的固定机构，其特征在于，所述调节组件包括：

6.根据权利要求5所述的固定机构，其特征在于，所述活动件包括：

7.一种样品制备装置，其特征在于，包括：p>

8.一种样...

【技术特征摘要】

1.一种固定机构，用于固定样品，所述样品的一棱线形成有第一参考边，其特征在于，所述固定机构包括：

2.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述插接件的截面与所述插槽的截面的形状均为梯形结构，所述插接件与所述插槽之间过盈配合。

4.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的固定机构，其特征在于，所述调节组件包括：

6.根据权利要求5所述的固定机构，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：许行健，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：