真空泵冷却装置和沉积系统制造方法及图纸

技术编号：40760877 阅读：3 留言：0更新日期：2024-03-25 20:12

本申请涉及沉积设备技术领域，具体涉及一种真空泵冷却装置和沉积系统。该沉积系统包括沉积设备、真空泵、液氮气化装置、液氮罐和真空泵冷却装置。该真空泵冷却装置包括：冷却组件、热供应组件和热交换器。冷却组件与真空泵相邻设置，被配置为吸收真空泵的热量，冷却组件与热交换器连通，以将热量从冷却组件传递至热交换器。热供应组件与液氮气化装置相邻设置，为液氮气化装置提供热量，热供应组件与热交换器连通，以将热量从热交换器传递至热供应组件。热供应组件可以持续吸收热交换器的热量，使热交换器可以持续吸收冷却组件的热量，进而使冷却组件可以持续对真空泵进行降温，提高了真空泵冷却装置的降温效果，满足了对真空泵长时间降温的需求。

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【技术实现步骤摘要】

本申请涉及沉积设备，具体涉及一种真空泵冷却装置和沉积系统。

技术介绍

1、沉积设备在对不同的产品进行沉积时所需要的沉积时间通常为几天到十几天。长时间的沉积过程对真空泵的工作性能稳定性要求极高。在长时间工作状态下，真空泵的温度会不断上升，工作期间产生的热量会对真空泵本身的稳定性造成影响，一旦真空泵在cvd炉沉积期间发生故障，将会影响整个沉积设备的使用。

2、然而，现有的真空泵冷却装置降温效果差，无法满足对真空泵长时间降温的需求。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种真空泵冷却装置和沉积系统，解决了真空泵冷却装置降温效果差，无法满足对真空泵长时间降温的需求的问题。

2、第一方面，本申请的实施例提供了一种真空泵冷却装置，被配置为对真空泵进行冷却，真空泵与沉积设备的真空腔室连接，以调节真空腔室的压强，沉积设备与液氮气化装置连接，液氮气化装置与液氮罐连接，液氮罐被配置为存储液氮，液氮气化装置被配置为对液氮进行气化以生成氮气，并将生成的氮气输送至沉积设备；其中，真空泵冷却装置包括：冷却组件，与真空泵相邻设置，被配置为吸收真空泵的热量，冷却组件与热交换器连通，以将热量从冷却组件传递至热交换器；热供应组件，与液氮气化装置相邻设置，为液氮气化装置提供热量，热供应组件与热交换器连通，以将热量从热交换器传递至热供应组件；热交换器，接收冷却组件传递的热量，并将该热量传递至热供应组件。

3、在一些实施例中，热交换器包括相邻设置的热源腔室和冷源腔室，热源腔室的

4、在一些实施例中，冷却组件包括：冷却室，与真空泵相邻设置，被配置为对真空泵进行降温；第三连接管路，一端与冷却室的出口连接，另一端与热源腔室的入口连接；第四连接管路，一端与冷却室的入口连接，另一端与热源腔室的出口连接。

5、在一些实施例中，热源腔室的入口位于热源腔室的出口的上方，冷源腔室的入口位于冷源腔室的出口的下方；或者热源腔室的入口位于热源腔室的出口的下方，冷源腔室的入口位于冷源腔室的出口的上方。

6、在一些实施例中，真空泵冷却装置还包括真空室，被配置为容纳真空泵；其中，冷却室设置于真空室的内壁。

7、在一些实施例中，真空泵冷却装置还包括：外壳和真空室；真空室被配置为容纳真空泵；外壳设置于真空室内，并容纳真空泵，冷却室设置于外壳的内壁。

8、在一些实施例中，真空泵冷却装置还包括风扇，风扇设置于真空室内。

9、在一些实施例中，真空泵冷却装置还包括：温度传感器和控制器；温度传感器设置于外壳的内壁上，被配置为检测真空泵的温度，并将真空泵的温度发送至控制器；控制器被配置为接收真空泵的温度，并基于真空泵的温度和预设温度阈值控制风扇的功率。

10、在一些实施例中，真空泵冷却装置还包括隔音棉，隔音棉贴附于真空室的内壁。

11、第二方面，本申请的实施例提供了一种沉积系统，包括：沉积设备；真空泵，与沉积设备的真空腔室连接，以调节真空腔室的压强；液氮气化装置，与沉积设备连接，被配置为对液氮进行气化以生成氮气，并将生成的氮气输送至沉积设备；液氮罐，与液氮气化装置连接，被配置为存储液氮，并将液氮输送至液氮气化装置；第一方面的真空泵冷却装置，被配置为对真空泵进行冷却。

12、本申请实施例提供的一种真空泵冷却装置，被配置为对真空泵进行冷却，真空泵与沉积设备的真空腔室连接，以调节真空腔室的压强，沉积设备与液氮气化装置连接，液氮气化装置与液氮罐连接，液氮罐被配置为存储液氮，液氮气化装置被配置为对液氮进行气化以生成氮气，并将生成的氮气输送至沉积设备。真空泵冷却装置包括：冷却组件、热供应组件和热交换器。冷却组件，与真空泵相邻设置，被配置为吸收真空泵的热量，冷却组件与热交换器连通，以将热量从冷却组件传递至热交换器。热供应组件，与液氮气化装置相邻设置，为液氮气化装置提供热量，热供应组件与热交换器连通，以将热量从热交换器传递至热供应组件。热交换器，接收冷却组件传递的热量，并将该热量传递至热供应组件。

13、由于沉积设备在沉积过程中需要用到氮气，因此热供应组件可以持续地为液氮气化装置提供热量，从而持续吸收热交换器的热量，使热交换器可以持续吸收冷却组件的热量，进而使冷却组件可以持续对真空泵进行降温，提高了真空泵冷却装置的降温效果，满足了对真空泵长时间降温的需求。

14、另外，在沉积过程中，如果不需要用到氮气，热供应组件也可以为液氮气化装置提供热量，被气化的氮气可以存储在液氮气化装置与沉积设备之间的氮气箱中。

15、此外，本申请的真空泵冷却装置无需在真空泵外侧缠绕冷却管线，因此，本申请的真空泵冷却装置使用、保养、维护方便。

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【技术保护点】

1.一种真空泵冷却装置，其特征在于，被配置为对真空泵进行冷却，所述真空泵与沉积设备的真空腔室连接，以调节所述真空腔室的压强，所述沉积设备与液氮气化装置连接，所述液氮气化装置与液氮罐连接，所述液氮罐被配置为存储液氮，所述液氮气化装置被配置为对所述液氮进行气化以生成氮气，并将生成的氮气输送至所述沉积设备；

2.根据权利要求1所述的真空泵冷却装置，其特征在于，所述热源腔室的入口位于所述热源腔室的出口的上方，所述冷源腔室的入口位于所述冷源腔室的出口的下方；或者

3.根据权利要求1所述的真空泵冷却装置，其特征在于，还包括真空室，被配置为容纳所述真空泵；

4.根据权利要求1所述的真空泵冷却装置，其特征在于，还包括：外壳和真空室；

5.根据权利要求3或4所述的真空泵冷却装置，其特征在于，还包括风扇，所述风扇设置于所述真空室内。

6.根据权利要求5所述的真空泵冷却装置，其特征在于，还包括：温度传感器和控制器；

7.根据权利要求3或4所述的真空泵冷却装置，其特征在于，还包括隔音棉，所述隔音棉贴附于所述真空室的内壁。