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本申请涉及沉积设备技术领域，具体涉及一种真空泵冷却装置和沉积系统。该沉积系统包括沉积设备、真空泵、液氮气化装置、液氮罐和真空泵冷却装置。该真空泵冷却装置包括：冷却组件、热供应组件和热交换器。冷却组件与真空泵相邻设置，被配置为吸收真空泵的热量...
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