【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体生长,特别是涉及一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构。
技术介绍
1、在大尺寸蓝宝石晶体生长用的热场结构中,形成热场的加热器一般位置固定,侧方向的热场温度梯度不便灵活调整,导致大尺寸蓝宝石晶体的生长不够优质,现有技术缺少方便调整加热器位置来灵活调整热场温度梯度的结构。
技术实现思路
1、针对上述问题,本技术提供了一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,设置侧加热器的升降结构,方便灵活调整侧方向的热场温度梯度,利于形成更优质的大尺寸蓝宝石晶体。
2、本技术的技术方案如下:
3、一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,包括:
4、炉体,其顶部设有炉盖;
5、坩埚,设于炉体内;
6、加热设备,包括设于坩埚外侧的侧加热器和底加热器;
7、升降设备,设于炉盖的顶部且与侧加热器连接;
8、保温层,设于加热设备的外侧。
9、在进一步的技术方案中,所述升降设备包括连接板、丝杆和连接柱,所述连接板的中部设有螺纹孔,所述丝杆穿过螺纹孔垂直且可旋转的连接于炉盖的顶部,所述连接柱设于连接板的底部,连接柱的末端穿过炉盖和隔热层与侧加热器连接。
10、在进一步的技术方案中,所述保温层包括设于底加热器底部的下保温层、设于侧加热器外侧的侧保温层以及设于炉盖底部的上保温层。
11、在进一步的技术方案中,所述上保温层的底部设有上加热器。
12、在进一步的技术方案中,所述炉体的底部和坩
13、在进一步的技术方案中,所述支撑轴的顶部设有托盘。
14、本技术的有益效果是:
15、1、在蓝宝石生长的过程中,侧加热器作为单独的加热结构与坩埚底部的底加热器分离,设置在炉盖上的升降设备延伸至炉体内连接侧加热器,升降设备可上下移动侧加热器来灵活调整侧方向的热场温度梯度,能促进更优质的大尺寸蓝宝石晶体生长;
16、2、设置上加热器,可保证蓝宝石晶体在生长过程中有较大的径向温度梯度和轴向温度梯度,并在上加热器上方还有上保温层,提供较好的保温性能。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,所述升降设备包括连接板、丝杆和连接柱,所述连接板的中部设有螺纹孔,所述丝杆穿过螺纹孔垂直且可旋转的连接于炉盖的顶部,所述连接柱设于连接板的底部,连接柱的末端穿过炉盖和隔热层与侧加热器连接。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,所述保温层包括设于底加热器底部的下保温层、设于侧加热器外侧的侧保温层以及设于炉盖底部的上保温层。
4.根据权利要求3所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,所述上保温层的底部设有上加热器。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,所述炉体的底部和坩埚之间设有坩埚的支撑轴。
6.根据权利要求5所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,所述支撑轴的顶部设有托盘。
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,所述升降设备包括连接板、丝杆和连接柱,所述连接板的中部设有螺纹孔,所述丝杆穿过螺纹孔垂直且可旋转的连接于炉盖的顶部,所述连接柱设于连接板的底部,连接柱的末端穿过炉盖和隔热层与侧加热器连接。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,其特征在于,所述保温层包括设于...
【专利技术属性】
技术研发人员:邱文,邱一豇,龚俊茹,王永树,杨超,张茂彬,
申请(专利权)人:中盾晶体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。