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一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构制造技术
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文档序号:40747064
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本技术公开了一种大尺寸蓝宝石晶体生长用热场结构,涉及晶体生长技术领域,包括炉体、坩埚、加热设备、升降设备和保温层,炉体的顶部设有炉盖;坩埚设于炉体内;加热设备包括设于坩埚外侧的侧加热器和底加热器;升降设备设于炉盖的顶部且与侧加热器连接;保温...
该专利属于中盾晶体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中盾晶体科技有限公司授权不得商用。
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