【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材回收，尤其涉及一种车床用靶材信息标记的工装。
技术介绍
1、目前，高纯铝合金溅射靶材主要应用于集成电路中，靶材组件主要由靶材和背板组成，靶材和背板通过电子束焊接或其他焊接方式焊接而成。靶材在溅射使用后，靶材的表面受溅射机台磁场的影响会形成波浪形的外观，由于波浪形外观的存在，再继续使用会击穿靶材。将废弃的靶材高纯材料部分回收再利用，具有很大的经济价值。
2、在靶材组件的加工过程中，通常会将靶材信息刻在背板上，在靶材溅射使用后，靶材会与背板分离，在回收靶材时需要人工筛检并分类不同材料的靶材。由于靶材上没有标记信息，因此，筛检分类的效率低且容易出现靶材归类错误的情况。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：提供一种车床用靶材信息标记的工装，以解决现有的靶材上没有标记信息，导致靶材回收时筛检分类的效率低且容易出现靶材归类错误的问题。
2、为达此目的，本技术采用如下技术方案：
3、一种车床用靶材信息标记的工装，车床包括三爪卡盘、固定座、导轨以及第一调节部，靶材通过所述三爪卡盘固定，所述固定座滑动设置于所述导轨上，所述第一调节部用于驱使所述固定座沿所述导轨的延伸方向靠近或远离所述三爪卡盘，所述车床用靶材信息标记的工装包括：
4、顶芯，所述顶芯的一端设置有标记凸块，所述标记凸块的形状与靶材信息相匹配；
5、固定杆，包括连接部以及与所述连接部一体连接的固定部，所述固定部的外径大于所述连接部的外径，所述顶芯的另一端连接于所述连接
6、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述顶芯与所述连接部可拆卸地固定连接。
7、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述连接部与所述顶芯中的一个开设有凹槽，所述连接部与所述顶芯中的另一个一体设置有凸起，所述凹槽设置有内螺纹，所述凸起设置有外螺纹，所述凹槽与所述凸起螺纹连接。
8、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述顶芯一体设置有所述凸起，所述连接部开设有所述凹槽。
9、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述凹槽的深度大于所述凸起的长度。
10、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述连接部与所述顶芯中的一个开设有插接槽，所述连接部与所述顶芯中的另一个一体设置有插接凸起，所述插接槽与所述插接凸起相互插接，且所述插接槽与所述插接凸起为过盈配合。
11、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述顶芯的主体为圆锥台结构，所述标记凸块设置于所述圆锥台结构截面积较小的一个端面，所述圆锥台结构截面积较大的一个端面的外径尺寸与所述连接部的外径尺寸相匹配。
12、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述圆锥台结构的外周面上一体设置有端耳。
13、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述顶芯与所述固定杆为一体成型结构。
14、作为上述车床用靶材信息标记的工装的优选方案，所述固定座靠近所述三爪卡盘的一端设置有固定卡槽，所述固定座上设置有第二调节部，所述第二调节部用于调节所述固定卡槽的开口大小，所述固定部固定设置于所述固定卡槽内。
15、本技术的有益效果为：
16、本技术提供一种车床用靶材信息标记的工装，其中，车床包括三爪卡盘、固定座、导轨以及第一调节部，靶材通过三爪卡盘固定，固定座滑动设置于导轨上，第一调节部用于驱使固定座沿导轨的延伸方向靠近或远离三爪卡盘。该车床用靶材信息标记的工装包括顶芯及固定杆，顶芯的一端设置有标记凸块，标记凸块的形状与靶材信息相匹配。固定杆包括连接部以及与连接部一体连接的固定部，顶芯的另一端连接于连接部，固定部固定安装于固定座靠近三爪卡盘的一端。工作时，将固定部固定于固定座上，通过第一调节部驱使固定座向三爪卡盘方向移动，使顶芯的标记凸块与靶材接触并在靶材上刻入靶材信息。相较于现有的在分离溅射靶材后，再去筛捡分类不同材料的靶材的方法，通过该工装与车床配合能够快速对靶材进行信息标记，在分离溅射靶材后，可以根据标记的靶材信息快速进行筛捡，不会造成不同材料的靶材混料的情况，提高了靶材的回收速度以及准确度。
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1.一种车床用靶材信息标记的工装，车床(1)包括三爪卡盘(11)、固定座(12)、导轨(13)以及第一调节部(14)，靶材(100)通过所述三爪卡盘(11)固定，所述固定座(12)滑动设置于所述导轨(13)上，所述第一调节部(14)用于驱使所述固定座(12)沿所述导轨(13)的延伸方向靠近或远离所述三爪卡盘(11)，其特征在于，所述车床用靶材信息标记的工装包括：
2.根据权利要求1所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述顶芯(21)与所述连接部(221)可拆卸地固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述连接部(221)与所述顶芯(21)中的一个开设有凹槽(2211)，所述连接部(221)与所述顶芯(21)中的另一个一体设置有凸起(212)，所述凹槽(2211)设置有内螺纹，所述凸起(212)设置有外螺纹，所述凹槽(2211)与所述凸起(212)螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述顶芯(21)一体设置有所述凸起(212)，所述连接部(221)开设有所
5.根据权利要求3所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述凹槽(2211)的深度大于所述凸起(212)的长度。
6.根据权利要求2所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述连接部(221)与所述顶芯(21)中的一个开设有插接槽，所述连接部(221)与所述顶芯(21)中的另一个一体设置有插接凸起，所述插接槽与所述插接凸起相互插接，且所述插接槽与所述插接凸起为过盈配合。
7.根据权利要求2-6中任一项所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述顶芯(21)的主体为圆锥台结构，所述标记凸块(211)设置于所述圆锥台结构截面积较小的一个端面，所述圆锥台结构截面积较大的一个端面的外径尺寸与所述连接部(221)的外径尺寸相匹配。
8.根据权利要求7所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述圆锥台结构的外周面上一体设置有端耳(213)。
9.根据权利要求1所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述顶芯(21)与所述固定杆(22)为一体成型结构。
10.根据权利要求1所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述固定座(12)靠近所述三爪卡盘(11)的一端设置有固定卡槽，所述固定座(12)上设置有第二调节部(15)，所述第二调节部(15)用于调节所述固定卡槽的开口大小，所述固定部(222)固定设置于所述固定卡槽内。
...【技术特征摘要】
1.一种车床用靶材信息标记的工装，车床(1)包括三爪卡盘(11)、固定座(12)、导轨(13)以及第一调节部(14)，靶材(100)通过所述三爪卡盘(11)固定，所述固定座(12)滑动设置于所述导轨(13)上，所述第一调节部(14)用于驱使所述固定座(12)沿所述导轨(13)的延伸方向靠近或远离所述三爪卡盘(11)，其特征在于，所述车床用靶材信息标记的工装包括：
2.根据权利要求1所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述顶芯(21)与所述连接部(221)可拆卸地固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述连接部(221)与所述顶芯(21)中的一个开设有凹槽(2211)，所述连接部(221)与所述顶芯(21)中的另一个一体设置有凸起(212)，所述凹槽(2211)设置有内螺纹，所述凸起(212)设置有外螺纹，所述凹槽(2211)与所述凸起(212)螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述顶芯(21)一体设置有所述凸起(212)，所述连接部(221)开设有所述凹槽(2211)。
5.根据权利要求3所述的一种车床用靶材信息标记的工装，其特征在于，所述凹槽(2211)的深度大于所述凸...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，钟伟攀，沈建江，仝连海，杨剑，祝文钊，
申请(专利权)人：宁波同创普润新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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