一种单端口MEMS谐振器制造技术

本技术提供一种单端口MEMS谐振器，包括谐振体、谐振体锚点、驱动电极以及检测电极，通过将驱动电极之间用引线互联使驱动电压的输入端口只有一个，并将检测电极进行引线互联使检测信号的输出端口只有一个，从而减少了输入端口和输出端口，进而增大了驱动面积和检测面积，增强了信号强度，降低了MEMS谐振器的阻抗，此外，本技术中的谐振体锚点之间也进行了引线互联，且锚点之间、检测电极之间以及驱动电极之间的走线方式简单，更好地降低了MEMS谐振器的寄生电容，且由于只有一个输入端口和一个输出端口，使得该MEMS谐振器在与其它后端电路联用时能够减少后端电路的复杂性，降低整个器件的功耗。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微机电系统，特别是涉及一种单端口mems谐振器。

技术介绍

1、微机电系统(mems，micro-electro-mechanical system)是一种基于微电子技术和微加工技术的一种高科技领域。mems器件具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等诸多优点。mems技术的发展开辟了一个全新的
和产业，利用mems技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事，物联网等领域中都有着十分广阔的应用前景。

2、阻抗作为mems谐振器的一个重要参数，对mems谐振器的性能有着极其重要的影响。阻抗能够决定mems谐振器对外部激励的响应的快慢，而较低的阻抗则可以提高mems谐振器的灵敏度，使mems谐振器更容易对外部信号进行响应，从而使得mems谐振器能够应用于传感器和振动能量收集器；阻抗也会影响mems谐振器的功耗，较低的阻抗通常对应mems谐振器较低的功耗，从而可以提高能源效率，扩展了mems谐振器在便携式和低功耗设备上的应用；阻抗还会本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单端口MEMS谐振器，其特征在于，所述单端口MEMS谐振器包括：

2.根据权利要求1所述的单端口MEMS谐振器，其特征在于：所述谐振体的数量可以为偶数或奇数，且所述谐振体以所述连接梁的交叉点为中心呈均匀环绕分布。

3.根据权利要求1所述的单端口MEMS谐振器，其特征在于：所述谐振体的形状包括圆环形、方形、三角形或其它多边形中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的单端口MEMS谐振器，其特征在于：所述驱动电极和所述检测电极的数量相等且均为一个，以使驱动电压的输入端口和检测信号的输出端口均只有一个。

5.根据权利要求1所述的单端口ME...

【技术特征摘要】

1.一种单端口mems谐振器，其特征在于，所述单端口mems谐振器包括：

2.根据权利要求1所述的单端口mems谐振器，其特征在于：所述谐振体的数量可以为偶数或奇数，且所述谐振体以所述连接梁的交叉点为中心呈均匀环绕分布。

3.根据权利要求1所述的单端口mems谐振器，其特征在于：所述谐振体的形状包括圆环形、方形、三角形或其它多边形中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的单端口mems谐振器，其特征在于：所述驱动电极和所述检测电极的数量相等且均为一个，以使驱动电压的输入端口和检测信号的输出端口均只有一个。

5.根据权利要求1所述的单端口mems谐振器，其特征在于：所述驱动电极和所述检测电极的数量相等且均为多个，且多个所述驱动电极之间用连接导线进行串联，多个所述检测电极之间用导线进行串联，以使驱动电压的输入端...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷永庆，金怡，王宏宇，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：