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本技术提供一种单端口MEMS谐振器，包括谐振体、谐振体锚点、驱动电极以及检测电极，通过将驱动电极之间用引线互联使驱动电压的输入端口只有一个，并将检测电极进行引线互联使检测信号的输出端口只有一个，从而减少了输入端口和输出端口，进而增大了驱动面...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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