一种芯片制造加工装置制造方法及图纸

技术编号:40742578 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-25 20:01
本技术涉及芯片制造加工技术领域,公开了一种芯片制造加工装置,包括工作台,所述工作台的下内壁固定连接有固定板,所述固定板的另一侧壁固定连接有第五电动伸缩杆,所述第五电动伸缩杆的输出端固定连接有打磨块,所述工作台的一侧设有抽气机,所述抽气机的输入端固定连接有管道,所述抽气机的输出端固定连接有集废箱,通过在抽气机输入端设置管道,抽气机输出端设置集废箱,工作台下内壁设置固定板,固定板另一侧设置第五电动伸缩杆,第五电动伸缩杆输出端设置打磨块,可以在打磨切割芯片时产生的飞屑在气压的作用下,被吸附到集废箱中进行存储,既保证了车间环境,又保证了芯片基片表面的洁净。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片制造加工,尤其涉及一种芯片制造加工装置


技术介绍

1、芯片制造加工装置是用来制造和处理集成电路(ic)的设备,它可以通过一系列复杂的步骤,将晶圆上的电路图案转移到薄硅片上,以形成半导体芯片,这些步骤包括化学蚀刻、光刻、离子注入、沉积和热处理等过程,这些装置需要高精度、高稳定性和高自动化的特点,以确保芯片成品的高质量和高产量;

2、目前现有的芯片制造加工方式,在对晶圆片切割前会将晶圆片侧边进行打磨之后在尽心切割操作,切割操作为了更改芯片基片的大小,或者是将芯片基片边缘的多余的凸起切割掉,切割装置和打磨装置在工作时会产生飞屑灰尘,但是现有的装置还没有除尘的功能,飞屑的灰尘不仅会污染车间的环境,还会影响芯片基片表面的洁净度,影响后续芯片基片的加工,因此,本领域技术人员提供了一种芯片制造加工装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种芯片制造加工装置,解决了上述
技术介绍
中提出的现有的装置还没有除尘的功能,飞屑的灰尘不仅会污染车间的环境,还会影响芯片基片表面的洁净度,影响后续芯片基片的加工的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种芯片制造加工装置,包括工作台,所述工作台的下内壁固定连接有固定板,所述固定板的另一侧壁固定连接有第五电动伸缩杆,所述第五电动伸缩杆的输出端固定连接有打磨块,所述工作台的一侧设有抽气机,所述抽气机的输入端固定连接有管道,所述抽气机的输出端固定连接有集废箱。

3、通过采用上述技术方案,在工作台一侧设置抽气机,抽气机输入端设置管道,抽气机输出端设置集废箱,工作台下内壁设置固定板,固定板另一侧设置第五电动伸缩杆,第五电动伸缩杆输出端设置打磨块,可以在打磨切割芯片时产生的飞屑在气压的作用下,被吸附到集废箱中进行存储,既保证了车间环境,又保证了芯片基片表面的洁净。

4、进一步地,所述工作台的下内壁滑动连接有操作台,所述操作台的上端面开设有四个第二滑槽,所述操作台的外侧壁固定连接有四个第三电动伸缩杆,四个所述第三电动伸缩杆的输出端固定连接有卡块。

5、通过采用上述技术方案,在操作台的上端开设四个第二滑槽,操作台的外侧壁设置四个第三电动伸缩杆,四个第三电动伸缩杆的输出端设置卡块,可以在对芯片进行切割时将芯片固定住,防止芯片在切割时移动导致切割错位伤到芯片。

6、进一步地,所述工作台的上端面后端固定连接有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆的输出端固定连接有第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有压板,所述操作台的下端面固定连接有第四电动伸缩杆,所述第四电动伸缩杆的输出端转动连接有顶板。

7、通过采用上述技术方案,便于将芯片固定住同时带动其转动来对其侧边进行打磨。

8、进一步地,所述工作台的上端面前端固定连接有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆的输出端固定连接有固定架,所述固定架的内侧壁固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有刀片。

9、通过采用上述技术方案,便于对芯片进行切割。

10、进一步地,所述第二电机通过螺栓固定连接在第二电动伸缩杆的输出端,所述压板和顶板的材质均为橡胶。

11、通过采用上述技术方案,防止在对芯片进行固定时,压伤或划伤芯片。

12、进一步地,所述工作台的后端面固定连接有第三电机,所述第三电机的输出端固定连接有丝杆,所述工作台的下内壁开设有第一滑槽。

13、通过采用上述技术方案,便于移动操作台来对芯片进行打磨或切割。

14、进一步地,所述工作台的下端面四个对角处均固定连接有支撑腿,四个所述支撑腿的材质均为不锈钢。

15、通过采用上述技术方案,可以使工作台竖立的更加稳定。

16、本技术提供了一种芯片制造加工装置,具备以下有益效果:

17、1、该一种芯片制造加工装置,通过在工作台一侧设置抽气机,抽气机输入端设置管道,抽气机输出端设置集废箱,工作台下内壁设置固定板,固定板另一侧设置第五电动伸缩杆,第五电动伸缩杆输出端设置打磨块,可以在打磨切割芯片时产生的飞屑在气压的作用下,被吸附到集废箱中进行存储,既保证了车间环境,又保证了芯片基片表面的洁净。

18、2、该一种芯片制造加工装置,通过在操作台的上端开设四个第二滑槽,操作台的外侧壁设置四个第三电动伸缩杆,四个第三电动伸缩杆的输出端设置卡块,可以在对芯片进行切割时将芯片固定住,防止芯片在切割时移动导致切割错位伤到芯片。

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【技术保护点】

1.一种芯片制造加工装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的下内壁固定连接有固定板(22),所述固定板(22)的另一侧壁固定连接有第五电动伸缩杆(23),所述第五电动伸缩杆(23)的输出端固定连接有打磨块(21),所述工作台(1)的一侧设有抽气机(13),所述抽气机(13)的输入端固定连接有管道(15),所述抽气机(13)的输出端固定连接有集废箱(14)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述工作台(1)的下内壁滑动连接有操作台(8),所述操作台(8)的上端面开设有四个第二滑槽(17),所述操作台(8)的外侧壁固定连接有四个第三电动伸缩杆(6),四个所述第三电动伸缩杆(6)的输出端固定连接有卡块(16)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述工作台(1)的上端面后端固定连接有第二电动伸缩杆(9),所述第二电动伸缩杆(9)的输出端固定连接有第二电机(10),所述第二电机(10)的输出端固定连接有压板(11),所述操作台(8)的下端面固定连接有第四电动伸缩杆(7),所述第四电动伸缩杆(7)的输出端转动连接有顶板(12)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述工作台(1)的上端面前端固定连接有第一电动伸缩杆(3),所述第一电动伸缩杆(3)的输出端固定连接有固定架(4),所述固定架(4)的内侧壁固定连接有第一电机(2),所述第一电机(2)的输出端固定连接有刀片(5)。

5.根据权利要求3所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述第二电机(10)通过螺栓固定连接在第二电动伸缩杆(9)的输出端,所述压板(11)和顶板(12)的材质均为橡胶。

6.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述工作台(1)的后端面固定连接有第三电机(19),所述第三电机(19)的输出端固定连接有丝杆(18),所述工作台(1)的下内壁开设有第一滑槽(20)。

7.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述工作台(1)的下端面四个对角处均固定连接有支撑腿(24),四个所述支撑腿(24)的材质均为不锈钢。

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【技术特征摘要】

1.一种芯片制造加工装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的下内壁固定连接有固定板(22),所述固定板(22)的另一侧壁固定连接有第五电动伸缩杆(23),所述第五电动伸缩杆(23)的输出端固定连接有打磨块(21),所述工作台(1)的一侧设有抽气机(13),所述抽气机(13)的输入端固定连接有管道(15),所述抽气机(13)的输出端固定连接有集废箱(14)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述工作台(1)的下内壁滑动连接有操作台(8),所述操作台(8)的上端面开设有四个第二滑槽(17),所述操作台(8)的外侧壁固定连接有四个第三电动伸缩杆(6),四个所述第三电动伸缩杆(6)的输出端固定连接有卡块(16)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片制造加工装置,其特征在于:所述工作台(1)的上端面后端固定连接有第二电动伸缩杆(9),所述第二电动伸缩杆(9)的输出端固定连接有第二电机(10),所述第二电机(10)的输出端固定连接有压板(11),所述操作台(8)的下端面固定连接有第四...

【专利技术属性】
技术研发人员:兰斌夏翥亮
申请(专利权)人:深圳市科亿微科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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