MEMS电容结构制造技术

本技术提供一种MEMS电容结构，包括同心设置的第一电极和第二电极，第一电极包括第一电极锚定部以及交汇于第一电极锚定部的至少一组第一极板；第二电极包括位于第一电极外围的第二电极锚定部以及自第二电极锚定部延伸向第一电极锚定部的至少一组第二极板，每组第二极板包括沿径向排布的多个第二梳齿部，第一极板与第二极板围绕第一电极锚定部设置成使第一梳齿部与第二梳齿部插齿排列，第一梳齿部或第二梳齿部上设置有凸出部，位于第一连接部或第二连接部两侧的凸出部具有相反的凸出方向以将温度引起的电容容值变化相互抵消。本技术不仅可降低外部应力/冲击的影响，而且可有效降低电容容值的温度敏感性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微机电，特别是涉及一种mems电容结构。

技术介绍

1、微机电系统(mems，micro-electro-mechanical system)是一种基于微电子技术和微加工技术的一种高科技领域。mems技术的发展开辟了一个全新的
和产业，利用mems技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事，物联网等领域中都有着十分广阔的应用前景。电容式mems装置通过检测电容值的变化量，电容值的稳定性是保证诸如电容式加速度计、静电微执行器之类的电容式mems装置的精度的重要指标之一。

2、现阶段，常采用如下方法来降低电容容值的温度敏感性，包括：①选择温度系数小的电容器材料，诸如c0g、np0、x7r等贴片电容系列；②采用温度系数低于单层电容器的多层电容器；③采用温度补偿电路，将温度变化对电容值的影响降至最低；④控制电容器的工作温度，使其在合适的温度范围内工作。然而，除了方法①可以直接选择温度系数小的电容器材料，其他的方法都需要相应的设计电路配合调整，因此会加本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS电容结构，其特征在于，所述MEMS电容结构包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS电容结构，其特征在于：多组所述第一极板通过所述第一电极锚定部固定连接于衬底上以用于使所述第一极板悬空于所述衬底之上，多组所述第二极板通过所述第二电极锚定部固定连接于所述衬底上以用于将所述第二极板悬空于所述衬底之上。

3.根据权利要求1所述的MEMS电容结构，其特征在于：所述第一电极锚定部为圆形，所述第二电极锚定部的形状包括圆环形和方环形中的一种。

4.根据权利要求2所述的MEMS电容结构，其特征在于；每组第二极板还包括用于将多个所述第二梳齿部附接于所述第二...

【技术特征摘要】

1.一种mems电容结构，其特征在于，所述mems电容结构包括：

2.根据权利要求1所述的mems电容结构，其特征在于：多组所述第一极板通过所述第一电极锚定部固定连接于衬底上以用于使所述第一极板悬空于所述衬底之上，多组所述第二极板通过所述第二电极锚定部固定连接于所述衬底上以用于将所述第二极板悬空于所述衬底之上。

3.根据权利要求1所述的mems电容结构，其特征在于：所述第一电极锚定部为圆形，所述第二电极锚定部的形状包括圆环形和方环形中的一种。

4.根据权利要求2所述的mems电容结构，其特征在于；每组第二极板还包括用于将多个所述第二梳齿部附接于所述第二电极锚定部上的第二连接部，所述第二连接部沿径向延伸且与同组的多个所述第二梳齿部交叉连接于各第二梳齿部的中点处。

5.根据权利要求1所述的mems电容结构，其特征在于：每组第一极板包括沿圆周周向设置的多个第一梳齿部，每组第二极板包括沿圆周周向设置的多个第二梳齿部。

6.根据权利要求5所述的mems电容结构，其特征在于：所述凸出部具有与邻近的第二梳齿部大致相同曲率的扇形轮廓以于两者之间构成间距大致恒定的间隙。

【专利技术属性】
技术研发人员：雷永庆，吴振云，黄寿，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：