一种进行微纳米图案化的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于微纳尺度图案化技术领域，具体涉及一种进行微纳米图案化的方法和装置。本发明专利技术在双层中空玻璃基板上平铺水凝胶溶液，水凝胶预聚后加入待图案化液滴，该液体在界面张力作用下形成待图案化液柱，然后将激光照射到待图案化液柱中，激光波长与液柱的吸收相匹配，产生稳定的流场、温度场及光力场。本发明专利技术通过光热产生的对流和光力共同作用，将待图案化颗粒捕获至修饰双层中空玻璃基板内表面预定位置，避免了光力方向产生角度偏差导致的图案位置误差，光热效应还促进了待图案化颗粒周围的水凝胶聚合，进而将待图案化颗粒固定。本发明专利技术可以在各种时间和空间分辨率下进行定制，精确快速实现胶体颗粒图案化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微纳尺度图案化，具体涉及一种进行微纳米图案化的方法和装置。

技术介绍

1、在微纳尺度上图案化，对构建纳米结构有非常重要的意义。基于不同外部作用机制(例如，流体剪切、声、电、磁、热和光)的图案化方法，为设计和制备精确尺寸、可调形状和可定制的2d或3d胶体颗粒图案提供了可能，并且取得了显著进展。但是，由于复杂的时间和空间分辨率条件，基于电场、磁场和声场等全局场系统在构建纳米结构中仍然受到限制。对于利用直接或间接的外部作用与胶体物质相互作用的图案化方法，对胶体颗粒的捕获或递送受电场、磁场和声场等全局场作用的影响，图案化原材料的几何形状有限，无法实现精确控制每个胶体颗粒的图案化操作。

2、为了克服这些障碍，科研人员已经开发了许多定制图案化方法，比如光学力、光电、光化学、光热机械、气泡和光热泳等，可以在各种时间和空间分辨率下进行定制光学图案操作。

3、在上述技术中，光学力方法采用双激光器，运用两个不同波长的激光，实现颗粒的方向控制操作，与颗粒的表面等离子体不共振的激光器用于捕获和对准颗粒，而另一个共振的激光器用于快速沉积排列的颗本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种进行微纳米图案化的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光热和pH响应型水凝胶为聚甲基丙烯酸羟乙基酯水凝胶；

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述单体和交联剂的质量比为250～300:1；

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述甲基丙烯酸羟乙酯和乙二醇二甲基丙烯酸酯的摩尔比为150～200:5；

5.根据权利要求1～3任一项所述的方法，其特征在于，所述预聚形成的水凝胶膜的厚度<1mm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待图案化颗粒包括胶体...

【技术特征摘要】

1.一种进行微纳米图案化的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光热和ph响应型水凝胶为聚甲基丙烯酸羟乙基酯水凝胶；

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述单体和交联剂的质量比为250～300:1；

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述甲基丙烯酸羟乙酯和乙二醇二甲基丙烯酸酯的摩尔比为150～200:5；

5.根据权利要求1～3任一项所述的方法，其特征在于，所述预聚形成的水凝胶膜的厚度<1mm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛洪宝，史阳，黄晶萍，李宝军，刘炼柔，李醒，徐欣欣，
申请(专利权)人：暨南大学，
类型：发明
国别省市：