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本技术提供一种MEMS电容结构，包括同心设置的第一电极和第二电极，第一电极包括第一电极锚定部以及交汇于第一电极锚定部的至少一组第一极板；第二电极包括位于第一电极外围的第二电极锚定部以及自第二电极锚定部延伸向第一电极锚定部的至少一组第二极板，...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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