一种直拉单晶炉制造技术

本技术属于单晶炉领域，具体的说是一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体、所述单晶炉本体的顶部侧壁上固接有板阀；所述板阀靠近单晶炉本体的一侧固接有石英管；所述板阀远离单晶炉本体的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体；所述壳体的顶部固接有第一管体和第二管体；所述第一管体的顶部固接有外筒体；所述第二管体的顶端固接有内筒体；所述内筒体固接在外筒体的内部，依靠小块的物料铺在底部可以对大粒径物料进行缓冲，从而减少大粒径物料撞击硅液，从而降低硅液飞溅，从而进而减少硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害的情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉领域，具体是一种直拉单晶炉。

技术介绍

1、单晶炉是一种将多晶硅融化，然后通过直拉法而生长无错位单晶的设备，其内部工作环境充满惰性气体。

2、目前现有技术中，单晶炉在工作的过程中，工作人员需要向主炉室内的坩埚中复投硅料，送料系统主要由送料机构、阀门和石英管组成，阀门安装在单晶炉的顶部，石英管和送料机构分别安装在阀门的两侧，石英管穿过单晶炉体，石英管端部在坩埚上沿处，依靠送料机构向石英管内部送入硅料，然后石英管从坩埚的边缘送入。

3、但是，物料内的大粒径硅料，其质量较大，在送入的过程中，大粒径硅料会撞击硅液，造成硅液飞溅，导致了硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害；因此，针对上述问题提出一种直拉单晶炉。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体、所述单晶炉本体的顶部侧壁上固接有板阀；所述板阀靠近单晶炉本体的一侧固接有石英管；所述板阀远离单晶炉本体的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体；所述壳体的顶部固接有第一管体和第二管体；所述第一管体的顶部固接有外筒体；所述第二管体的顶端固接有内筒体；所述内筒体固接在外筒体的内部；所述第二管体贯穿外筒体并与其固接；所述内筒体的中部固接有打击环；所述打击环的中部固接有筛板；所述内筒体与筛板对应位置处开设有通槽；所述壳体的侧面固接有电推杆；所述电推杆的输出端固接有堵板；所述堵板位于壳体的内部；所述堵板位于第二管体的底部。

3、优选的，所述送料组件包括送料管；所述送料管固接在板阀远离单晶炉本体的一侧；所述送料管远离板阀的一端转动连接有送料绞龙；所述送料管的远离单晶炉本体的一端固接有送料电机；所述送料电机的输出端与送料绞龙固接；所述壳体固接在送料管的顶部。

4、优选的，所述壳体的内壁的两侧呈对称固接有一对滑轨；所述滑轨上滑动连接有一对滑块；所述滑块与堵板的侧壁固接。

5、优选的，所述内筒体的内侧壁上固接有支架；所述支架的中部固接有清理电机；所述清理电机的输出端固接有转轴；所述转轴贯穿筛板的中部并有其转动连接；所述转轴的顶部固接有多个弧形推杆。

6、优选的，所述内筒体的中部内侧壁上固接有导料斗；所述导料斗呈圆台形结构设计；所述导料斗的中部固接有下料管；所述导料斗位于筛板的顶部；所述转轴位于导料斗底部。

7、优选的，所述转轴的端固接有多个弹性杆；所述弹性杆远离转轴的一端固接有磁球；所述支架的顶侧固接有多个磁块；所述磁球位于打击环的底部。

8、本技术的有益之处在于：

9、1.本技术通过设置堵板、筛板、打击环、内筒体、外筒体、第一管体、第二管体、壳体和电推杆，在使用时，依靠筛分将物料内的大粒径的物料进行筛分出来，之后通过控制电推杆，电推杆带动堵板进行移动将第二管体堵上，然后大粒径的物料从第一管体落入送料管内部，之后再将大粒径的物料送入坩埚内，之后依靠不断的切换堵板的位置，以此可以将物料以一层小块物料一层大粒径物料的方式堆叠的放入到坩埚内，依靠小块的物料铺在底部可以对大粒径物料进行缓冲，从而减少大粒径物料撞击硅液，从而降低硅液飞溅，从而进而减少硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害的情况；

10、2.本技术通过设置清理电机、转轴和弧形推杆，在使用时，启动清理电机，清理电机带动转轴和弧形推杆进行旋转，弧形推杆的旋转会将筛板上方的大粒径物料推入到外筒体内，从而减少物料在筛板上堆积，进而降低大粒径物料堆积对筛分效果的影响。

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【技术保护点】

1.一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体(11)、所述单晶炉本体(11)的顶部侧壁上固接有板阀(12)；所述板阀(12)靠近单晶炉本体(11)的一侧固接有石英管(13)；其特征在于：所述板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体(14)；所述壳体(14)的顶部固接有第一管体(141)和第二管体(15)；所述第一管体(141)的顶部固接有外筒体(16)；所述第二管体(15)的顶端固接有内筒体(17)；所述内筒体(17)固接在外筒体(16)的内部；所述第二管体(15)贯穿外筒体(16)并与其固接；所述内筒体(17)的中部固接有打击环(18)；所述打击环(18)的中部固接有筛板(19)；所述内筒体(17)与筛板(19)对应位置处开设有通槽；所述壳体(14)的侧面固接有电推杆(191)；所述电推杆(191)的输出端固接有堵板(192)；所述堵板(192)位于壳体(14)的内部；所述堵板(192)位于第二管体(15)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述送料组件包括送料管(21)；所述送料管(21)固接在板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧；所述送料管(21)远离板阀(12)的一端转动连接有送料绞龙(22)；所述送料管(21)的远离单晶炉本体(11)的一端固接有送料电机；所述送料电机的输出端与送料绞龙(22)固接；所述壳体(14)固接在送料管(21)的顶部。

3.根据权利要求2所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述壳体(14)的内壁的两侧呈对称固接有一对滑轨(31)；所述滑轨(31)上滑动连接有一对滑块(32)；所述滑块(32)与堵板(192)的侧壁固接。

4.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述内筒体(17)的内侧壁上固接有支架(41)；所述支架(41)的中部固接有清理电机(44)；所述清理电机(44)的输出端固接有转轴(42)；所述转轴(42)贯穿筛板(19)的中部并有其转动连接；所述转轴(42)的顶部固接有多个弧形推杆(43)。

5.根据权利要求4所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述内筒体(17)的中部内侧壁上固接有导料斗(51)；所述导料斗(51)呈圆台形结构设计；所述导料斗(51)的中部固接有下料管(52)；所述导料斗(51)位于筛板(19)的顶部；所述转轴(42)位于导料斗(51)底部。

6.根据权利要求5所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述转轴(42)的端固接有多个弹性杆(61)；所述弹性杆(61)远离转轴(42)的一端固接有磁球(62)；所述支架(41)的顶侧固接有多个磁块(63)；所述磁球(62)位于打击环(18)的底部。

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【技术特征摘要】

1.一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体(11)、所述单晶炉本体(11)的顶部侧壁上固接有板阀(12)；所述板阀(12)靠近单晶炉本体(11)的一侧固接有石英管(13)；其特征在于：所述板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体(14)；所述壳体(14)的顶部固接有第一管体(141)和第二管体(15)；所述第一管体(141)的顶部固接有外筒体(16)；所述第二管体(15)的顶端固接有内筒体(17)；所述内筒体(17)固接在外筒体(16)的内部；所述第二管体(15)贯穿外筒体(16)并与其固接；所述内筒体(17)的中部固接有打击环(18)；所述打击环(18)的中部固接有筛板(19)；所述内筒体(17)与筛板(19)对应位置处开设有通槽；所述壳体(14)的侧面固接有电推杆(191)；所述电推杆(191)的输出端固接有堵板(192)；所述堵板(192)位于壳体(14)的内部；所述堵板(192)位于第二管体(15)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述送料组件包括送料管(21)；所述送料管(21)固接在板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧；所述送料管(21)远离板阀(12)的一端转动连接有送料绞龙(22)；所述送料管(21)的远离单晶炉本体(11)的一端固接有送料电机；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：敬康，孙斐，何旭烽，陈洪运，
申请(专利权)人：三合液压常州有限公司，
类型：新型
国别省市：