一种直拉单晶炉制造技术

本技术属于单晶炉领域，具体的说是一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体、所述单晶炉本体的顶部侧壁上固接有板阀；所述板阀靠近单晶炉本体的一侧固接有石英管；所述板阀远离单晶炉本体的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体；所述壳体的顶部固接有第一管体和第二管体；所述第一管体的顶部固接有外筒体；所述第二管体的顶端固接有内筒体；所述内筒体固接在外筒体的内部，依靠小块的物料铺在底部可以对大粒径物料进行缓冲，从而减少大粒径物料撞击硅液，从而降低硅液飞溅，从而进而减少硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害的情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉领域，具体是一种直拉单晶炉。

技术介绍

1、单晶炉是一种将多晶硅融化，然后通过直拉法而生长无错位单晶的设备，其内部工作环境充满惰性气体。

2、目前现有技术中，单晶炉在工作的过程中，工作人员需要向主炉室内的坩埚中复投硅料，送料系统主要由送料机构、阀门和石英管组成，阀门安装在单晶炉的顶部，石英管和送料机构分别安装在阀门的两侧，石英管穿过单晶炉体，石英管端部在坩埚上沿处，依靠送料机构向石英管内部送入硅料，然后石英管从坩埚的边缘送入。

3、但是，物料内的大粒径硅料，其质量较大，在送入的过程中，大粒径硅料会撞击硅液，造成硅液飞溅，导致了硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害；因此，针对上述问题提出一种直拉单晶炉。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体、所述单晶炉本体的顶部侧壁上固接有板阀；所述板阀靠近单晶炉本体的一侧固接有石英管；所述板本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体(11)、所述单晶炉本体(11)的顶部侧壁上固接有板阀(12)；所述板阀(12)靠近单晶炉本体(11)的一侧固接有石英管(13)；其特征在于：所述板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体(14)；所述壳体(14)的顶部固接有第一管体(141)和第二管体(15)；所述第一管体(141)的顶部固接有外筒体(16)；所述第二管体(15)的顶端固接有内筒体(17)；所述内筒体(17)固接在外筒体(16)的内部；所述第二管体(15)贯穿外筒体(16)并与其固接；所述内筒体(17)的中部固接有打击环(18)；所述打击环(18)...

【技术特征摘要】

1.一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体(11)、所述单晶炉本体(11)的顶部侧壁上固接有板阀(12)；所述板阀(12)靠近单晶炉本体(11)的一侧固接有石英管(13)；其特征在于：所述板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体(14)；所述壳体(14)的顶部固接有第一管体(141)和第二管体(15)；所述第一管体(141)的顶部固接有外筒体(16)；所述第二管体(15)的顶端固接有内筒体(17)；所述内筒体(17)固接在外筒体(16)的内部；所述第二管体(15)贯穿外筒体(16)并与其固接；所述内筒体(17)的中部固接有打击环(18)；所述打击环(18)的中部固接有筛板(19)；所述内筒体(17)与筛板(19)对应位置处开设有通槽；所述壳体(14)的侧面固接有电推杆(191)；所述电推杆(191)的输出端固接有堵板(192)；所述堵板(192)位于壳体(14)的内部；所述堵板(192)位于第二管体(15)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述送料组件包括送料管(21)；所述送料管(21)固接在板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧；所述送料管(21)远离板阀(12)的一端转动连接有送料绞龙(22)；所述送料管(21)的远离单晶炉本体(11)的一端固接有送料电机；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：敬康，孙斐，何旭烽，陈洪运，
申请(专利权)人：三合液压常州有限公司，
类型：新型
国别省市：