下载一种直拉单晶炉的技术资料

文档序号:40735704

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本技术属于单晶炉领域,具体的说是一种直拉单晶炉,包括单晶炉本体、所述单晶炉本体的顶部侧壁上固接有板阀;所述板阀靠近单晶炉本体的一侧固接有石英管;所述板阀远离单晶炉本体的一侧设有送料组件;所述送料组件的顶部设有壳体;所述壳体的顶部固接有第一管...
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