硅锭切割废料回收方法及硅锭处理装置制造方法及图纸

技术编号:4071544 阅读:207 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及多晶硅或单晶硅产品的生产,具体是一种用来对多晶硅或单晶硅硅锭切割废料进行回收处理的硅锭切割废料回收方法及专用于该方法步骤中的硅锭处理装置。其方法包括以下步骤:a.在多晶硅或单晶硅铸锭未开方前,将柱状的硅锭安置在硅锭处理装置中的工作台上,关闭工作箱体,使硅锭旋转,同时通过一侧的喷砂嘴对硅锭表面进行喷砂处理;b.硅锭喷砂处理完成后进行开方,切割去除表面材料,切割废料经清洗后回收利用。本发明专利技术在硅锭开方前通过喷砂对硅锭表面进行处理,柱状的硅锭形状规则且体积大,其处理难度低、效率高、劳动强度低;其处理装置结构简单、喷砂处理效果好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅或单晶硅产品的生产,具体是一种用来对多晶硅或单晶硅硅锭 切割废料进行回收处理的硅锭切割废料回收方法及专用于该方法步骤中的硅锭处理装置。
技术介绍
多晶硅或单晶硅铸锭后,通常要通过开方工序将柱状的硅锭表面材料切割去除后 才进入下一步的加工利用。切割废料可以作为原料回收利用,但由于硅锭表面有一层杂质 (氮化硅和碳化硅),需将杂质处理才能回收利用;由于切割废料形状较小且不规则,因而 处理较困难。传统的处理方法是开方后,通过人工打磨将其表面的杂质处理,最后清洗,再 回收利用。其处理效率低、劳动强度大。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是,提供一种提高铸锭切割废料的处理效率、降低生 产劳动强度的硅锭切割废料回收方法及硅锭处理装置。本专利技术的硅锭处理装置包括有一个工作箱体,在工作箱体中安置有一个可绕竖直 轴心旋转的工作台,在工作台一侧设置有一组与喷砂系统连接的喷砂嘴。工作箱体还通过 除尘管路与除尘系统连接。所述工作箱体前部设置可开启或关闭的入口,在入口前方设置 进料台。本专利技术的硅锭切割废料回收方法包括以下步骤a.在多晶硅或单晶硅铸锭未开方前,将柱状的硅锭安置在上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅锭处理装置,其特征是:它包括有一个工作箱体,在工作箱体中安置有一个可绕竖直轴心旋转的工作台,在工作台一侧设置有一组与喷砂系统连接的喷砂嘴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:施大全陈董良
申请(专利权)人:镇江环太硅科技有限公司
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]

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