【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材加工领域，更具体的，涉及一种贵金属靶材制备用真空造粒装置。
技术介绍
1、随着现代工业的快速发展和科学技术的进步，贵金属因具有优良的物理化学性能(高温抗氧化性和抗腐蚀性)、稳定的电学性能、高催化活性等特点，成为中国高新技术产业中不可缺少的关键支撑材料。高纯贵金属靶材在硅半导体分立器件、集成电路晶圆制造和封装中应用广泛。金属靶材生产工艺通常包括造粒工序，通过造粒机将熔融的金属制成颗粒状。
2、现有的贵金属造粒装置，制造出来的金属颗粒的整体效果不佳，颗粒大小不太一致，导致产品的质量不太稳定，并且熔融的过程中没有设立搅拌机构，容易造成颗粒的成分分布不均匀，影响产品的使用，并且普通的造粒装置在投放物料时，顶盖不会自动开闭，从而顶盖开闭不方便，造成上料不便，工作效率低下，另外造粒装置还存在密封不佳的情况，制成的颗粒表面容易存在氧化的情况，并且造粒装置在造粒完毕后存在清理和维护不便的问题。
技术实现思路
1、本专利技术旨在克服现有技术的缺陷，提供一种贵金属靶材制备用真空造粒装置。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种靶材制备用真空造粒装置，包括底座、固定在底座处的机箱、安装在机箱处的釜体以及固定在机箱顶部的顶板，所述釜体包括从上到下依次设置的熔融釜、造粒釜和水冷釜，所述熔融釜固定在机箱处，所述造粒釜和水冷釜均能够在机箱处上下移动，所述底座处设置有能够驱动水冷釜和造粒釜升降的升降单元，所述机箱处设置有两个分别能够对水冷釜和造粒釜进行限位
3、优选地，所述顶盖处设置有搅拌单元，所述搅拌单元包括安装在顶盖处的搅拌电机、由搅拌电机驱动的搅拌轴以及固定在搅拌轴处的搅拌头。
4、从而贵金属加热熔融的过程中，同时利用搅拌头对金属液进行搅拌。
5、优选地，所述机箱处设置有竖直滑轨，所述竖直滑轨处设置有两个滑座，所述滑座处具有与竖直滑轨匹配的滑槽，所述两个滑座分别为第一滑座和第二滑座，所述造粒釜通过第一连接杆与第一滑座固定连接，所述水冷釜通过第二连接杆与第二滑座固定连接；所述两个限位块均固定连接在竖直滑轨处，所述两个限位块分别为第一限位块和第二限位块，所述第一限位块能够抵接第一滑座的底部，所述第二限位块能够抵接第二滑座的底部。
6、从而限位块限制滑座的最低距离，从而固定造粒釜和水冷釜。
7、优选地，所述水冷釜能够在机箱处旋转，所述水冷釜外表面设置有圆环形滑轨，所述第二连接杆固定连接有第一固定环，所述第一固定环的内侧具有与圆环形滑轨匹配的圆环形滑槽，所述水冷釜的外表面还设置有多个把手。
8、优选地，所述多个把手呈环形等间距分布。
9、从而水冷釜能够通过把手实现转动，从而水冷釜处的封闭板能够实现对造粒釜底部进行封堵。
10、优选地，所述筛网部包括圆环形的安装板、安装在安装板处的筛网以及与安装板固定连接的两个l型插板，所述水冷釜的内侧固定连接有安装圆环，所述安装圆环处具有与l型插板配合的插孔。
11、从而筛网部便于安装和拆卸，便于后期维护。
12、优选地，所述水冷釜处设置有进水管和出水管。
13、优选地，所述进水管处具有进水管阀门，所述出水管处具有出水管阀门。
14、从而便于进水和出水，进行水循环冷却。
15、优选地，所述进水管和出水管均连接有储水箱，所述储水箱处具有制冷单元。储水箱包括箱体、与进水管连接的第一管体、与出水管连接的第二管体以及安装于第一管体的循环水泵。
16、优选地，所述机箱处设置有抽真空泵和保护气体供应单元，所述顶盖处设置有与抽真空泵连接的吸气管以及与保护气体供应单元连接的进气管。
17、从而抽真空泵与吸气管连接对釜体进行抽真空，保护气体供应单元与进气管连接向釜体内供应保护气体，从而保护气体能够防止贵金属氧化。
18、优选地，所述升降单元包括安装在底座处的电动升降杆以及与电动升降杆的活动端固定连接的升降环，所述水冷釜的外表面固定连接有第二固定环，所述升降环能够抵接第二固定环的底部。
19、优选地，所述电动升降杆具有多个，每个电动升降杆的活动均与升降环固定连接。
20、升降环由多个电动升降杆驱动，从而升降环可以向上顶第二固定环，从而使得熔融釜、造粒釜、水冷釜三者抵紧在一起。
21、优选地，所述封闭板处设置有密封垫。
22、从而提高造粒釜的密封性。
23、优选地，所述机箱处设置有操作面板。
24、优选地，所述加热单元为感应线圈加热单元。
25、优选地，所述第一升降气缸具有多个，多个第一升降气缸呈环形等间距分布。
26、从而对顶盖实现升降，且顶盖升降更加稳定。
27、与现有技术相比，本专利技术具有的有益效果是：
28、1、本申请的真空造粒装置，顶盖能够实现自动升降，顶盖打开省时省力，从而方便投放物料。
29、2、本申请的真空造粒装置，顶盖处设置有搅拌单元，从而熔融过程中能够对金属液进行搅拌，从而成分分布均匀，熔融效果更好，并且熔融时，熔融釜与水冷釜独立，从而熔融效果更好。
30、3、本申请设置的升降单元，能够驱动造粒釜和水冷釜上下移动，从而使得熔融釜、造粒釜、水冷釜三者抵紧在一起实现密封。
31、4、本申请设置的造粒釜内设置有筛网部，筛网部处具有多个筛孔，从而熔融的金属液体经过筛网部并落入水冷釜中形成金属颗粒，从而金属颗粒大小均匀，产品质量一致。
32、5、本申请设置的顶盖、熔融釜、造粒釜、水冷釜和筛网部相互独立，从而方便清理和维护。
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1.一种贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，包括底座、固定在底座处的机箱、安装在机箱处的釜体以及固定在机箱顶部的顶板，所述釜体包括从上到下依次设置的熔融釜、造粒釜和水冷釜，所述熔融釜固定在机箱处，所述造粒釜和水冷釜均能够在机箱处上下移动，所述底座处设置有能够驱动水冷釜和造粒釜升降的升降单元，所述机箱处设置有两个分别能够对水冷釜和造粒釜进行限位的限位块，所述熔融釜的顶部设置有能够封闭熔融釜的顶盖，所述顶板处设置有能够驱动顶盖升降的第一升降气缸，所述熔融釜内设置有坩埚，所述坩埚的外侧环绕设置有加热单元，所述坩埚的底部具有出料孔，所述造粒釜内设置有筛网部，所述筛网部位于出料孔的下方，所述筛网部具有多个筛孔，所述顶盖处设置有能够封堵出料孔的封堵棒以及能够驱动封堵棒升降的第二升降气缸，所述水冷釜的顶部开口处设置有封闭板，所述封闭板能够封闭造粒釜底部的出料口，所述水冷釜的底部设置有下料口，所述下料口处具有下料阀门。
2.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述顶盖处设置有搅拌单元，所述搅拌单元包括安装在顶盖处的搅拌电机、由搅拌电机驱动的搅拌轴以及固
3.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述机箱处设置有竖直滑轨，所述竖直滑轨处设置有两个滑座，所述滑座处具有与竖直滑轨匹配的滑槽，所述两个滑座分别为第一滑座和第二滑座，所述造粒釜通过第一连接杆与第一滑座固定连接，所述水冷釜通过第二连接杆与第二滑座固定连接；所述两个限位块均固定连接在竖直滑轨处，所述两个限位块分别为第一限位块和第二限位块，所述第一限位块能够抵接第一滑座的底部，所述第二限位块能够抵接第二滑座的底部。
4.根据权利要求3所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述水冷釜能够在机箱处旋转，所述水冷釜外表面设置有圆环形滑轨，所述第二连接杆固定连接有第一固定环，所述第一固定环的内侧具有与圆环形滑轨匹配的圆环形滑槽，所述水冷釜的外表面还设置有多个把手。
5.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述筛网部包括圆环形的安装板、安装在安装板处的筛网以及与安装板固定连接的两个L型插板，所述水冷釜的内侧固定连接有安装圆环，所述安装圆环处具有与L型插板配合的插孔。
6.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述水冷釜处设置有进水管和出水管。
7.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述机箱处设置有抽真空泵和保护气体供应单元，所述顶盖处设置有与抽真空泵连接的吸气管以及与保护气体供应单元连接的进气管。
8.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述升降单元包括安装在底座处的电动升降杆以及与电动升降杆的活动端固定连接的升降环，所述水冷釜的外表面固定连接有第二固定环，所述升降环能够抵接第二固定环的底部。
9.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述封闭板处设置有密封垫。
10.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述机箱处设置有操作面板。
...【技术特征摘要】
1.一种贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，包括底座、固定在底座处的机箱、安装在机箱处的釜体以及固定在机箱顶部的顶板，所述釜体包括从上到下依次设置的熔融釜、造粒釜和水冷釜，所述熔融釜固定在机箱处，所述造粒釜和水冷釜均能够在机箱处上下移动，所述底座处设置有能够驱动水冷釜和造粒釜升降的升降单元，所述机箱处设置有两个分别能够对水冷釜和造粒釜进行限位的限位块，所述熔融釜的顶部设置有能够封闭熔融釜的顶盖，所述顶板处设置有能够驱动顶盖升降的第一升降气缸，所述熔融釜内设置有坩埚，所述坩埚的外侧环绕设置有加热单元，所述坩埚的底部具有出料孔，所述造粒釜内设置有筛网部，所述筛网部位于出料孔的下方，所述筛网部具有多个筛孔，所述顶盖处设置有能够封堵出料孔的封堵棒以及能够驱动封堵棒升降的第二升降气缸，所述水冷釜的顶部开口处设置有封闭板，所述封闭板能够封闭造粒釜底部的出料口，所述水冷釜的底部设置有下料口，所述下料口处具有下料阀门。
2.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述顶盖处设置有搅拌单元，所述搅拌单元包括安装在顶盖处的搅拌电机、由搅拌电机驱动的搅拌轴以及固定在搅拌轴处的搅拌头。
3.根据权利要求1所述的贵金属靶材制备用真空造粒装置，其特征在于，所述机箱处设置有竖直滑轨，所述竖直滑轨处设置有两个滑座，所述滑座处具有与竖直滑轨匹配的滑槽，所述两个滑座分别为第一滑座和第二滑座，所述造粒釜通过第一连接杆与第一滑座固定连接，所述水冷釜通过第二连接杆与第二滑座固定连接；所述两个限位块均固定连接在竖直滑轨处，所述两个限位块分别为第...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁振中，张超，高小燕，沈兴亮，陈磊，
申请(专利权)人：扬州日兴生物科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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