【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆盒夹爪机构，具体为单晶盒抱起式夹爪模组。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆储存盒作为晶圆的承载工具。
2、目前在单晶盒的输送线上对应每个单晶盒均具有挖空的抬升孔，当单晶盒需要转移时，先通过抬升机构穿过抬升孔进行抬升，再通过夹爪机构进行夹取，最后通过转移机构进行转移，但是目前的抬升机构由于位于单晶盒的输送线下方，不便于工人操作；且夹爪机构在夹取单晶盒进行转移时稳定性不高，为此，我们提出单晶盒抱起式夹爪模组。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供单晶盒抱起式夹爪模组，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：单晶盒抱起式夹爪模组，包括，底座，所述底座的右侧后端设置有控制箱；
3、所述底座上设置有抬升机构和转移机构，且转移机构上设置有夹爪机构；
4、所述抬升机构包括移动装置和设置在移动装置上的安装座，所述安装座的两侧均设置有微型电动伸缩杆，两侧微型电动伸缩杆的输出端均设置有连接板，两侧连接板相互远离的一侧均设置有防滑垫。
5、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述移动装置包括设置在安装座底部的连接筒，所述连接筒的右侧均匀设置有齿牙，所述连接筒滑动连接在与底座连接的导杆上，所述连接筒的右侧通过齿牙啮合连接有齿轮一，所述底座上通过轴承转动连接有
6、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述固定板的顶部设置有软垫，且软垫与控制箱正对。
7、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述固定板的前侧设置有横杆，所述底座上设置有安装杆，且安装杆的顶部设置有与横杆贴合连接的u型槽，所述u型槽的前侧横向贯穿有两组结构相同的插杆，其中一组插杆插接在横杆上，所述插杆的前端均设置有把手，且把手上设置有与u型槽连接的弹簧二。
8、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述u型槽的右侧长度短于u型槽的左侧长度。
9、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述夹爪机构包括支撑板，所述支撑板上通过轴承转动连接有连接轴，所述连接轴的两端均连接有丝杆，两侧丝杆上的螺纹旋向相反，两侧丝杆上均螺接有滑板，且支撑板上设置有与滑板滑动连接的滑轨，两侧滑板的底部均设置有夹板，且两侧夹板的相对侧均设置有耐磨垫一，所述支撑板上设置有机座一，所述机座一上设置有与左侧丝杆连接的电机一。
10、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：两侧夹板相互远离的一端均通过轴承转动连接有安装轴，两侧安装轴上均设置有齿轮三，两侧夹板上均设置有微型电动推杆，两侧微型电动推杆的输出端均设置有与齿轮三啮合连接的齿杆二，两侧安装轴的前后两端均设置有钩体，且钩体上均设置有耐磨垫二。
11、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述转移机构包括设置在底座上的液压缸，所述液压缸上设置有机座二，所述机座二上设置有电机二，所述电机二的输出端连接有电动导轨，所述支撑板设置在电动导轨的输出端上。
12、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述电机二的输出端连接有转动板，且转动板的底部均匀设置有竖套，所述竖套上均滑动连接有竖杆，所述机座二上开设有圆形滑槽，且竖杆滑动连接在圆形滑槽上。
13、作为本专利技术所述单晶盒抱起式夹爪模组的一种优选方案，其中：所述底座的外侧套有防撞圈。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
15、1、移动装置上的软垫对准控制箱，进而工人站在底座的右侧操作控制箱时，便于近距离的向下按压软垫，即可带动安装座向上移动穿过抬升孔，即可通过微型电动伸缩杆带动两侧的防滑垫抵紧单晶盒的底部，以便于后续夹取，通过在单晶盒的输送线右侧操作抬升机构抬升，更为方便；
16、2、当耐磨垫一夹紧单晶盒的两侧外壁后，再通过钩体转动伸出，即可使耐磨垫二接触单晶盒的底部，进而能够在夹紧的基础上抱起单晶盒，从而在后续转移时稳定性更高，不会因为转移机构工作时的晃动造成单晶盒的脱落。
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1.单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述移动装置包括设置在安装座（3）底部的连接筒（7），所述连接筒（7）的右侧均匀设置有齿牙（8），所述连接筒（7）滑动连接在与底座（1）连接的导杆（9）上，所述连接筒（7）的右侧通过齿牙（8）啮合连接有齿轮一（10），所述底座（1）上通过轴承转动连接有转轴（11）和转动轴（12），且转轴（11）和转动轴（12）上均设置有皮带轮（13），两侧皮带轮（13）之间连接有皮带（14），所述齿轮一（10）设置在转轴（11）上，所述转动轴（12）上设置有齿轮二（15），且齿轮二（15）的右侧啮合连接有齿杆一（16），所述齿杆一（16）连接在固定板（17）上，所述固定板（17）的底部设置有套筒（19），所述套筒（19）滑动连接在与底座（1）连接的圆杆（20）上，且底座（1）上设置有与套筒（19）连接的弹簧一（21）。
3.根据权利要求2所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述固定板（17）的顶部设置有软垫（18），且软垫（18）与控制箱（2）正对。
4
5.根据权利要求4所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述U型槽（24）的右侧长度短于U型槽（24）的左侧长度。
6.根据权利要求1所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述夹爪机构包括支撑板（28），所述支撑板（28）上通过轴承转动连接有连接轴（29），所述连接轴（29）的两端均连接有丝杆（30），两侧丝杆（30）上的螺纹旋向相反，两侧丝杆（30）上均螺接有滑板（31），且支撑板（28）上设置有与滑板（31）滑动连接的滑轨（32），两侧滑板（31）的底部均设置有夹板（33），且两侧夹板（33）的相对侧均设置有耐磨垫一（34），所述支撑板（28）上设置有机座一（36），所述机座一（36）上设置有与左侧丝杆（30）连接的电机一（35）。
7.根据权利要求6所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：两侧夹板（33）相互远离的一端均通过轴承转动连接有安装轴（37），两侧安装轴（37）上均设置有齿轮三（38），两侧夹板（33）上均设置有微型电动推杆（41），两侧微型电动推杆（41）的输出端均设置有与齿轮三（38）啮合连接的齿杆二（42），两侧安装轴（37）的前后两端均设置有钩体（39），且钩体（39）上均设置有耐磨垫二（40）。
8.根据权利要求6所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述转移机构包括设置在底座（1）上的液压缸（43），所述液压缸（43）上设置有机座二（44），所述机座二（44）上设置有电机二（45），所述电机二（45）的输出端连接有电动导轨（46），所述支撑板（28）设置在电动导轨（46）的输出端上。
9.根据权利要求8所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述电机二（45）的输出端连接有转动板（47），且转动板（47）的底部均匀设置有竖套（48），所述竖套（48）上均滑动连接有竖杆（49），所述机座二（44）上开设有圆形滑槽，且竖杆（49）滑动连接在圆形滑槽上。
10.根据权利要求1所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述底座（1）的外侧套有防撞圈（50）。
...【技术特征摘要】
1.单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述移动装置包括设置在安装座（3）底部的连接筒（7），所述连接筒（7）的右侧均匀设置有齿牙（8），所述连接筒（7）滑动连接在与底座（1）连接的导杆（9）上，所述连接筒（7）的右侧通过齿牙（8）啮合连接有齿轮一（10），所述底座（1）上通过轴承转动连接有转轴（11）和转动轴（12），且转轴（11）和转动轴（12）上均设置有皮带轮（13），两侧皮带轮（13）之间连接有皮带（14），所述齿轮一（10）设置在转轴（11）上，所述转动轴（12）上设置有齿轮二（15），且齿轮二（15）的右侧啮合连接有齿杆一（16），所述齿杆一（16）连接在固定板（17）上，所述固定板（17）的底部设置有套筒（19），所述套筒（19）滑动连接在与底座（1）连接的圆杆（20）上，且底座（1）上设置有与套筒（19）连接的弹簧一（21）。
3.根据权利要求2所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述固定板（17）的顶部设置有软垫（18），且软垫（18）与控制箱（2）正对。
4.根据权利要求2所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述固定板（17）的前侧设置有横杆（22），所述底座（1）上设置有安装杆（23），且安装杆（23）的顶部设置有与横杆（22）贴合连接的u型槽（24），所述u型槽（24）的前侧横向贯穿有两组结构相同的插杆（25），其中一组插杆（25）插接在横杆（22）上，所述插杆（25）的前端均设置有把手（26），且把手（26）上设置有与u型槽（24）连接的弹簧二（27）。
5.根据权利要求4所述的单晶盒抱起式夹爪模组，其特征在于：所述u型槽（24）的右侧长度短于u型槽（24）的左侧长度。
6.根据权利要求1所述的单晶盒抱起式夹爪模组...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，张振义，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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