下载单晶盒抱起式夹爪模组的技术资料

文档序号:40701898

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本发明公开了晶圆盒夹爪机构技术领域的单晶盒抱起式夹爪模组,包括,底座,所述底座的右侧后端设置有控制箱;所述底座上设置有抬升机构和转移机构,且转移机构上设置有夹爪机构;所述抬升机构包括移动装置和设置在移动装置上的安装座,所述安装座的两侧均设置...
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