一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置制造方法及图纸

本技术公开了一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，包括冷凝管、样品转移装置、转移门以及真空机等部件。固定设置在转移腔中的螺旋形冷凝管能够对转移腔中的温度进行调节，再经过温度探头和制冷器的配合使用，能够控制转移腔中的温度保证能够适合样品，具有良好控制转移腔中温度的功能，能够避免样品经过巨大温差而导致结构上的改变。样品转移装置带动样品块水平运动，且将样品快从转移腔带至真空腔中，能够完成对样品的传输，样品转移装置所需的工作空间更小，具有完成小型电镜样品传输的功能，增强了真空转移装置对样品的转移效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种扫描电子显微镜，尤其涉及一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置。

技术介绍

1、扫描电子显微镜（简称扫描电镜）是研究材料微观结构的重要工具，可以表征微米/纳米尺度的形貌、结构和特征，并可以定性分析材料的成分特征，这使得扫描电镜在各类材料的研发、改进、质量检测等环节中均有大量的应用。现有的扫描电子显微镜从种类上，可大致分为大型落地式扫描电镜和小型化（桌上型）扫描电镜。近年来，随着技术的更新迭代，小型化扫描电镜日益受到科研工作者们的喜爱，其性能和市场占率有已经逐渐向传统的大型落地式电镜逼近。

2、实际使用过程中有打开样品仓取放样品两个操作步骤，而取放样品时又需要放入气体然后再重新抽真空。这一操作，一方面会增加时间成本；另一方面会使环境中的大气进入样品仓，随着使用时间的增长与使用次数的增加必然会对样品仓造成污染，也会导致样品仓内真空度的下降，明显缩短扫描电子显微镜的使用寿命，因此，样品真空传输装置的必要性就十分显著了。

3、现有技术cn212459471u中公开了一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，利用密封腔、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，包括：真空室（100），和设置在所述真空室（100）一侧的预抽室（200），其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，其特征在于：所述样品转移装置（220）包括：支撑台（221），与所述支撑台（221）顶部固定连接的气缸（222），以及与所述气缸（222）固定连接的气缸支杆（223）；所述支撑台（221）与所述转移腔（210）固定连接，所述气缸（222）和所述气缸支杆（223）位于同一水平面上，所述气缸支杆（223）和所述样品块（230）固定连接。

3.根据权利要求2所述的...

【技术特征摘要】

1.一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，包括：真空室（100），和设置在所述真空室（100）一侧的预抽室（200），其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，其特征在于：所述样品转移装置（220）包括：支撑台（221），与所述支撑台（221）顶部固定连接的气缸（222），以及与所述气缸（222）固定连接的气缸支杆（223）；所述支撑台（221）与所述转移腔（210）固定连接，所述气缸（222）和所述气缸支杆（223）位于同一水平面上，所述气缸支杆（223）和所述样品块（230）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，其特征在于：所述气缸支杆（223）带动所述样品块（230）水平运动，所述样品块（230）运动方向朝向所述转移口（130）。

4.根据权利要求1所述的一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，其特征在于：所述转移口（130）靠近所述样品转移装置（220）的一侧洞口尺寸大于所述靠近所述样品台（120）的一侧洞口尺寸。

5.根据权利要求1所述的一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置，其特征在于：所述进样口（240）与所述进...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜廷妹，周艳纺，
申请(专利权)人：南京维斯塔新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：