【技术实现步骤摘要】
本技术涉及过滤，具体涉及了一种过滤装置。
技术介绍
1、目前，用于薄膜沉积的技术主要包括，物理气相沉积(physical vapordeposition，pvd)、化学气相沉积(chemical vapor deposition，cvd)和原子层沉积(atomic layer deposition，ald)。原子层沉积技术是一种将物质以单原子膜的形式逐层镀在基底表面的方法，能够实现纳米量级超薄膜的沉积。
2、现有技术中，热原子层沉积(thermal ald)设备中进行薄膜沉积以制备金属薄膜(film)，由于热原子层沉积设备无法使用清洁系统，在腔体内沉积过程中未反应完的化学源与反应副产物都会通过抽气管路被末端泵抽出。在实际使用过程中，在设备使用一段时间后，抽气管路沿途的蝶阀阀板和门阀阀板以及末端泵都会被化学源和副产物附着沉积。尤其是当沉积的膜厚过厚时，还存在导致阀板或泵卡死的风险。因此，在机台设备使用一段时间后，需要频繁停掉机器，来对连通反应腔室的蝶阀等部件进行相关维护作业，包括组件更换和组件清洗等，这些维护性作业都会增加设备的预防维修成本。
3、为了解决现有技术中存在的上述问题，本领域亟需一种过滤技术，能够将一次反应未反应完的多态混合物及时捕集并进行二次反应，不仅提升了反应效率，而且避免了混合物中的固、液态杂质排出，堵塞下游组件，降低了设备故障率，提高了机台的运行时间。
技术实现思路
1、以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是
2、为了克服现有技术存在的上述缺陷，本技术提供了一种过滤装置，能够将一次反应未反应完的多态混合物及时捕集并进行二次反应，不仅提升了反应效率，而且避免了混合物中的固、液态杂质排出，堵塞下游组件，降低了设备故障率，提高了机台的运行时间。
3、具体来说，根据本技术的第一方面提供的上述过滤装置，包括：加热壳体，包括相对设置的输入口和输出口，其中，多态混合物从所述输入口进入在所述加热壳体内进行二次反应；以及滤芯结构，设置于所述加热壳体内，包括上盖板、下盖板及至少一条滤芯，其中，所述至少一条滤芯通过第一锁紧部件锁紧固定于所述上盖板与所述下盖板之间，以使所述多态混合物从所述滤芯结构的外侧流向所述滤芯，并经由所述滤芯吸附所述二次反应产生的固态杂质和/或液态杂质，以从所述输出口排出干净气体。
4、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述加热壳体的外侧还包括温控部件，所述温控部件根据所述多态混合物的种类，调整所述加热壳体的温度，以对所述加热壳体内的所述多态混合物进行对应温度下的二次处理。
5、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述多态混合物中至少包括工艺气体，以及气液态金属源和/或气固态薄膜。
6、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述加热壳体至少包括上部结构和下部结构，所述上部结构和下部结构之间通过第二锁紧部件可拆卸地密封组装。
7、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述第二锁紧部件包括锁头端和套接端，所述锁头端两侧设有弹性卡接部，所述套接端对应的两侧设有卡口部，所述卡接部弹性回缩以使所述锁头端进入所述套接端，所述卡接部在所述锁头端完全进入后弹性释放以与所述套接端的卡口部卡接扣合。
8、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述滤芯结构还包括支撑架，所述支撑架从所述下盖板的下表面向上贯穿所述下盖板的中心，所述上盖板的中心搭接在所述支撑架上，通过所述第一锁紧部件可拆卸地锁紧固定。
9、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述滤芯结构中包括多条所述滤芯，各所述滤芯互相贴合地环绕所述支撑架。
10、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述上盖板为实面，以使进入的所述多态混合物向所述上盖板的外侧方向流动，所述下盖板为孔面，包括与所述滤芯对应数量的孔洞，用于插入固定所述滤芯。
11、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述至少一条滤芯由至少一种型号的不锈钢丝网卷制而成。
12、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述至少一种型号的不锈钢丝包括304不锈钢丝网和/或316不锈钢丝网。
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1.一种过滤装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述加热壳体的外侧还包括温控部件，所述温控部件根据所述多态混合物的种类，调整所述加热壳体的温度，以对所述加热壳体内的所述多态混合物进行对应温度下的二次处理。
3.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述多态混合物中至少包括工艺气体，以及气液态金属源和/或气固态薄膜。
4.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述加热壳体至少包括上部结构和下部结构，所述上部结构和下部结构之间通过第二锁紧部件可拆卸地密封组装。
5.如权利要求4所述的过滤装置，其特征在于，所述第二锁紧部件包括锁头端和套接端，所述锁头端两侧设有弹性卡接部，所述套接端对应的两侧设有卡口部，所述卡接部弹性回缩以使所述锁头端进入所述套接端，所述卡接部在所述锁头端完全进入后弹性释放以与所述套接端的卡口部卡接扣合。
6.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述滤芯结构还包括支撑架，所述支撑架从所述下盖板的下表面向上贯穿所述下盖板的中心，所述上盖板的中心搭接在所述支撑架上，通过所述
7.如权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述滤芯结构中包括多条所述滤芯，各所述滤芯互相贴合地环绕所述支撑架。
8.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述上盖板为实面，以使进入的所述多态混合物向所述上盖板的外侧方向流动，所述下盖板为孔面，包括与所述滤芯对应数量的孔洞，用于插入固定所述滤芯。
9.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述至少一条滤芯由至少一种型号的不锈钢丝网卷制而成。
10.如权利要求9所述的过滤装置，其特征在于，所述至少一种型号的不锈钢丝包括304不锈钢丝网和/或316不锈钢丝网。
...【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述加热壳体的外侧还包括温控部件，所述温控部件根据所述多态混合物的种类，调整所述加热壳体的温度，以对所述加热壳体内的所述多态混合物进行对应温度下的二次处理。
3.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述多态混合物中至少包括工艺气体，以及气液态金属源和/或气固态薄膜。
4.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述加热壳体至少包括上部结构和下部结构，所述上部结构和下部结构之间通过第二锁紧部件可拆卸地密封组装。
5.如权利要求4所述的过滤装置，其特征在于，所述第二锁紧部件包括锁头端和套接端，所述锁头端两侧设有弹性卡接部，所述套接端对应的两侧设有卡口部，所述卡接部弹性回缩以使所述锁头端进入所述套接端，所述卡接部在所述锁头端完全进入后弹性释放以与所述套接端的...
【专利技术属性】
技术研发人员：高鹏飞，杨华龙，赵坤，朱晓亮，张启辉，张翔宇，吴凤丽，
申请(专利权)人：拓荆科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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