【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光刻机物镜周转箱。
技术介绍
1、光刻机作为芯片生产用的设备，随着芯片尺寸越来越小，其精度也越来越高，而影响其精度的关键零件就是物镜，通过物镜反射光线，实现不同尺寸的芯片雕刻，因此物镜的尺寸和保护就显得尤为重要，而光刻机上的物镜是需要进行维护或者更换的，因此人工操作调取物镜不仅会对其造成污染损坏，而且在车间内运输时很容易造成损伤，给企业带来不必要的损耗。
2、因此，在企业使用物镜时就需要一个可以保存物镜同时方便存取的工具，而且需要保证物镜在运输过程中的稳定性
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题在于：提供一种光刻机物镜周转箱，通过箱体来保存物镜镜头，利用箱体下的运输轮进行运输，箱体外部采用防潮防腐、防震隔热、消除静电的材质制成，提高对物镜的保护。
2、为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种光刻机物镜周转箱，包括承载箱和运输箱；所述的承载箱位于所述的运输箱的上方，承载待周转的物镜；所述的承载箱为矩形箱体，底面位于所述的运输箱上，包裹整个所述的承载箱；所述的运输箱位于所述的承载箱的下方，与所述的承载箱的底面固定连接；所述的运输箱的下方设置有运输轮，所述的运输轮与所述的运输箱相连接，带动所述的运输箱移动；
3、所述的运输轮的一侧设置有固定座，所述的固定座与所述的运输轮相连接，用于支撑所述的运输箱，同时固定所述的运输轮；
4、所述的运输轮和固定座一一对应，均设置有四个，分布在所述的运输箱的下方四角。
5、
6、进一步的，所述的固定座包括支撑座、调节杆和连接座；所述的连接座位于所述的运输轮的一侧，与所述的运输轮固定连接；所述的调节杆位于所述的连接座上，沿竖直方向分布，与所述的连接座螺纹连接；所述的支撑座位于所述的调节杆的下方，与所述的调节杆固定连接。
7、进一步的，每一个所述的运输轮都需要进行调平，从而保证所述的运输箱和承载箱的平衡，通过所述的调节螺母可以调节所述的运输轮的高低，而通过所述的固定座可以微调所述的运输轮的高低位置，保证调平精度。
8、进一步的，所述的承载箱的底面设置有定位孔，所述的定位孔贯穿所述的承载箱，连通所述的运输箱，用于承载物镜的支架，保证物镜在所述的承载箱内的稳定性。
9、进一步的，所述的定位孔四周设置有锁紧孔，所述的锁紧孔贯穿所述的承载箱，用于锁紧物镜的装配支架。
10、进一步的，所述的承载箱采用pvc或pmma的半透明材质制成。
11、进一步的，所述的承载箱承载重量不大于250kg。
12、与现有技术相比，本技术提供的一种光刻机物镜周转箱，通过承载箱对物镜进行存放，利用定位孔限制物镜支架的位置，然后通过锁紧孔锁死物镜，保证其运输的稳定性，然后通过运输箱对承载箱进行运输，通过运输轮和固定座的调整，可以保证运输箱的平衡，防止运输过程中重心不稳，而承载箱四周采用pvc或者pmma材质，可以有效防潮防腐，防震隔热。
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1.一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，包括承载箱和运输箱；所述的承载箱位于所述的运输箱的上方，承载待周转的物镜；所述的承载箱为矩形箱体，底面位于所述的运输箱上，包裹整个所述的承载箱；所述的运输箱位于所述的承载箱的下方，与所述的承载箱的底面固定连接；所述的运输箱的下方设置有运输轮，所述的运输轮与所述的运输箱相连接，带动所述的运输箱移动；
2.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的运输轮上设置有调节螺母，所述的调节螺母连接所述的运输轮和运输箱，通过旋转调节所述的运输轮的高低。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的固定座包括支撑座、调节杆和连接座；所述的连接座位于所述的运输轮的一侧，与所述的运输轮固定连接；所述的调节杆位于所述的连接座上，沿竖直方向分布，与所述的连接座螺纹连接；所述的支撑座位于所述的调节杆的下方，与所述的调节杆固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，每一个所述的运输轮都需要进行调平，从而保证所述的运输箱和承载箱的平衡，通过所述的调节螺母可以调节所述的运输轮
5.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的承载箱的底面设置有定位孔，所述的定位孔贯穿所述的承载箱，连通所述的运输箱，用于承载物镜的支架，保证物镜在所述的承载箱内的稳定性。
6.根据权利要求5所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的定位孔四周设置有锁紧孔，所述的锁紧孔贯穿所述的承载箱，用于锁紧物镜的装配支架。
7.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的承载箱采用PVC或PMMA的半透明材质制成。
8.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的承载箱承载重量不大于250KG。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，包括承载箱和运输箱；所述的承载箱位于所述的运输箱的上方，承载待周转的物镜；所述的承载箱为矩形箱体，底面位于所述的运输箱上，包裹整个所述的承载箱；所述的运输箱位于所述的承载箱的下方，与所述的承载箱的底面固定连接；所述的运输箱的下方设置有运输轮，所述的运输轮与所述的运输箱相连接，带动所述的运输箱移动；
2.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的运输轮上设置有调节螺母，所述的调节螺母连接所述的运输轮和运输箱，通过旋转调节所述的运输轮的高低。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜周转箱，其特征在于，所述的固定座包括支撑座、调节杆和连接座；所述的连接座位于所述的运输轮的一侧，与所述的运输轮固定连接；所述的调节杆位于所述的连接座上，沿竖直方向分布，与所述的连接座螺纹连接；所述的支撑座位于所述的调节杆的下方，与所述的调节杆固定连接。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张凯，
申请(专利权)人：苏州市兆恒众力精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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