【技术实现步骤摘要】
本技术涉及退火炉，具体为一种退火炉进气装置。
技术介绍
1、退火炉在加热半导体晶片中起到非常重要的作用。退火炉在工作中需要不断向内部注入保护气体，因此现有退火炉的进气装置，一般会包括马氟罐，马氟罐的前端开有进料口，后端开有出料口，一般会设置有尾部进气管、中部进气管和气源，所述的尾部进气管一端与马氟罐的后端连接，另一端与气源连接；中部进气管的一端与马氟罐的中部连接，另一端与气源连接。
2、由于退火炉在工作中需要不断向内部注入保护气体以防止工件因接触空气而氧化，保护气体如果一直对着同一个方向吹出，无法进行调节，进而会致使炉体内局部温度过低，从而影响退火炉的正常工作。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种退火炉进气装置。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种退火炉进气装置，包括箱体，所述箱体的右侧设置有摆动机构，所述摆动机构包括直管、软管、出气口、固定夹、竖滑槽、横柱、第一电机、第一轴、滑块，所述直管的左侧贯穿箱体的右侧内壁左右两端，所述软管的右端与直管的左端插接，所述出气口固定连接在软管的左端，所述软管的顶部与固定夹活动连接，所述竖滑槽的底部与固定夹的顶部固定连接，所述竖滑槽的顶部右侧与横柱铰接，所述横柱的右端与箱体的右侧内壁固定连接，所述第一电机的右侧与箱体的右侧内壁固定连接，所述第一电机的左侧输出端固定连接有第一轴，所述第一轴的左侧铰接有滑块，所述滑块滑动连接
5、优选的，所述箱体的底部内壁设置有抖动机构，所述抖动机构包括第二电机，所述第二电机的底部与箱体的底部内壁固定连接，通过设置第二电机为抖动机构提供动力。
6、优选的，所述第二电机的左侧输出端固定连接有第二轴，所述第二轴的左端固定连接有偏心转盘，通过设置偏心转盘使托盘上下移动。
7、优选的，所述偏心转盘的顶部滑动连接有托盘，所述箱体的左右两侧内壁开设有横滑槽，通过设置横滑槽为托盘限位。
8、优选的，所述托盘的左右两端与横滑槽滑动连接，所述横滑槽的顶部固定连接有置物盒，通过设置置物盒盛放需要退火的物件。
9、优选的，所述箱体的左侧内壁固定连接有排气扇，通过设置排气扇为退火炉进行检修时快速散热。
10、优选的，所述箱体的顶部设置有箱门，通过设置箱门放入或者取出需要退火的物件。
11、(三)有益效果
12、与现有技术相比，本技术提供了一种退火炉进气装置，具备以下有益效果：
13、一、该一种退火炉进气装置，通过第一电机带动竖滑槽左右摆动，以此来带动软管左右移动，防止软管内吹入的保护气体一直对着同一个方向吹出致使炉体内局部温度过低，从而影响退火炉的正常工作。
14、二、该一种退火炉进气装置，通过第二电机带动偏心转盘转动，偏心转盘带动置物盒内的物品抖动，使物品可以均匀受热。
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1.一种退火炉进气装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的右侧设置有摆动机构(2)；
2.根据权利要求1所述的一种退火炉进气装置，其特征在于：所述箱体(1)的底部内壁设置有抖动机构(3)，所述抖动机构(3)包括第二电机(301)，所述第二电机(301)的底部与箱体(1)的底部内壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种退火炉进气装置，其特征在于：所述第二电机(301)的左侧输出端固定连接有第二轴(302)，所述第二轴(302)的左端固定连接有偏心转盘(303)。
4.根据权利要求3所述的一种退火炉进气装置，其特征在于：所述偏心转盘(303)的顶部滑动连接有托盘(304)，所述箱体(1)的左右两侧内壁开设有横滑槽(305)。
5.根据权利要求4所述的一种退火炉进气装置，其特征在于：所述托盘(304)的左右两端与横滑槽(305)滑动连接，所述横滑槽(305)的顶部固定连接有置物盒(4)。
6.根据权利要求1所述的一种退火炉进气装置，其特征在于：所述箱体(1)的左侧内壁固定连接有排气扇(5)。
7.根据权
...【技术特征摘要】
1.一种退火炉进气装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的右侧设置有摆动机构(2)；
2.根据权利要求1所述的一种退火炉进气装置，其特征在于：所述箱体(1)的底部内壁设置有抖动机构(3)，所述抖动机构(3)包括第二电机(301)，所述第二电机(301)的底部与箱体(1)的底部内壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种退火炉进气装置，其特征在于：所述第二电机(301)的左侧输出端固定连接有第二轴(302)，所述第二轴(302)的左端固定连接有偏心转盘(303)。
4.根据权利要求3所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：马争荣，王建玲，
申请(专利权)人：高密普特电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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