一种硅片夹持结构制造技术

技术编号:40681406 阅读:5 留言:0更新日期:2024-03-18 20:06
本技术涉及半导体技术领域,且公开了一种硅片夹持结构,包括罩体一,所述罩体一的内部活动连接有夹持机构,所述夹持机构包括滑槽,所述滑槽开设在罩体一的内侧壁,所述滑槽的内部活动连接有拉板,所述拉板的一侧活动连接有罩体二,所述罩体二的内壁固定连接有放置板,所述罩体二的内部开设有调节孔,所述调节孔的内部活动连接有活动杆,所述活动杆的一端固定连接有夹持环,所述夹持环的一侧固定连接有弹簧。该硅片夹持结构,可以使得该夹持结构具有良好的夹持效果,便于对多个硅片进行稳定夹持,提高对硅片的夹持效率,同时结构简单,有效提高对硅片夹持转移的防护性,从而使得该夹持结构的实用性得到了一定的提升。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体,具体为一种硅片夹持结构


技术介绍

1、硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题,也无论计算的工作量有多大,工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它,并下达解题的思路和指令,计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样,那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题,计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题,计算机也能很快告诉你答案。

2、在中国技术专利中:如cn214323072u的一种硅片夹持工具,涉及半导体领域.该硅片夹持工具,包括连接杆,所述连接杆的下表面固定连接有固定板,所述连接杆的下表面开设有伸缩槽,所述伸缩槽的左右两侧内壁之间固定连接有横杆,所述横杆的表面套接有第一弹簧和滑动环。该硅片夹持工具,通过连接杆.固定板.移动板.滑动环.横杆和第一弹簧的相互配合,达到可以一次性将较多硅片进行夹持,远远超越用手去拿的效率,通过镂空板和延伸板的配合,达到经过延伸板向外延伸,使得延伸板对于夹持后的硅片底部进行阻挡,避免硅片从固定板和移动板之间掉落而损坏,解决了硅片在进行加工完毕后,往往是将硅片一片或者几片拿起放置在下一步加工地点,使得转移硅片过于费时的问题。

3、针对现有技术存在以下问题:

4、1、现有技术中用于硅片夹持结构,对硅片夹持的稳定性不佳,容易使的硅片与该夹具脱离,同时该夹具容易造成硅片之间的摩擦,降低对硅片转移的防护性。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足,本技术提供了一种硅片夹持结构,具备夹持效果好等优点,解决了上述
技术介绍
中的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述夹持效果好的目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片夹持结构,包括罩体一,所述罩体一的内部活动连接有夹持机构,所述夹持机构包括滑槽,所述滑槽开设在罩体一的内侧壁,所述滑槽的内部活动连接有拉板,所述拉板的一侧活动连接有罩体二,所述罩体二的内壁固定连接有放置板。

5、所述罩体二的内部开设有调节孔,所述调节孔的内部活动连接有活动杆,所述活动杆的一端固定连接有夹持环,所述夹持环的一侧固定连接有弹簧,所述夹持环的一侧固定连接有防滑垫,可以使得该夹持结构具有良好的夹持效果,便于对多个硅片进行稳定夹持,提高对硅片的夹持效率,同时结构简单,有效提高对硅片夹持转移的防护性,从而使得该夹持结构的实用性得到了一定的提升。

6、优选的,所述滑槽的形状大小与拉板的形状大小均相互匹配,且拉板通过滑槽与罩体一活动连接,便于罩体一与罩体二的连接,同时便于对夹持环的位置进行限位,提高对硅片夹持的稳定性。

7、优选的,所述罩体二的顶端固定连接有把手,所述罩体一的顶端开设有槽体,便于将罩体一与罩体二进行连接,方便对夹持的多个硅片进行转移工作。

8、优选的,所述把手的形状大小与槽体的形状大小均相互匹配,且罩体二通过把手和槽体与罩体一活动连接,便于将罩体一与罩体二进行连接,对硅片进行包裹。

9、优选的,所述把手贯穿罩体一的内部并延伸至罩体一的顶端,且把手与罩体一活动连接,便于对夹持后的硅片进行转移工作。

10、优选的,所述活动杆贯穿罩体二的内部并延伸至拉板的一侧,且活动杆与拉板固定连接,便于带动夹持环的位置进行移动。

11、优选的,所述防滑垫的形状大小与夹持环的形状大小均相互匹配,且防滑垫与夹持环固定连接,提高对硅片夹持的摩擦力和稳定性。

12、(三)有益效果

13、与现有技术相比,本技术提供了一种硅片夹持结构,具备以下有益效果:

14、1、该硅片夹持结构,通过设置的夹持机构,可以使得该夹持结构具有良好的夹持效果,便于对多个硅片进行稳定夹持,提高对硅片的夹持效率,同时结构简单,有效提高对硅片夹持转移的防护性,从而使得该夹持结构的实用性得到了一定的提升。

15、2、该硅片夹持结构,通过设置的把手和槽体,可以使得该夹持结构具有良好的携带效果,便于将罩体一与罩体二进行连接,方便对夹持的多个硅片进行转移工作,从而使得该夹持结构的适用性得到了一定的提升。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片夹持结构,包括罩体一(1),其特征在于:所述罩体一(1)的内部活动连接有夹持机构(2),所述夹持机构(2)包括滑槽(201),所述滑槽(201)开设在罩体一(1)的内侧壁,所述滑槽(201)的内部活动连接有拉板(202),所述拉板(202)的一侧活动连接有罩体二(203),所述罩体二(203)的内壁固定连接有放置板(204);

2.根据权利要求1所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述滑槽(201)的形状大小与拉板(202)的形状大小均相互匹配,且拉板(202)通过滑槽(201)与罩体一(1)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述罩体二(203)的顶端固定连接有把手(3),所述罩体一(1)的顶端开设有槽体(4)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述把手(3)的形状大小与槽体(4)的形状大小均相互匹配,且罩体二(203)通过把手(3)和槽体(4)与罩体一(1)活动连接。

5.根据权利要求3所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述把手(3)贯穿罩体一(1)的内部并延伸至罩体一(1)的顶端,且把手(3)与罩体一(1)活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述活动杆(206)贯穿罩体二(203)的内部并延伸至拉板(202)的一侧,且活动杆(206)与拉板(202)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述防滑垫(209)的形状大小与夹持环(207)的形状大小均相互匹配,且防滑垫(209)与夹持环(207)固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片夹持结构,包括罩体一(1),其特征在于:所述罩体一(1)的内部活动连接有夹持机构(2),所述夹持机构(2)包括滑槽(201),所述滑槽(201)开设在罩体一(1)的内侧壁,所述滑槽(201)的内部活动连接有拉板(202),所述拉板(202)的一侧活动连接有罩体二(203),所述罩体二(203)的内壁固定连接有放置板(204);

2.根据权利要求1所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述滑槽(201)的形状大小与拉板(202)的形状大小均相互匹配,且拉板(202)通过滑槽(201)与罩体一(1)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片夹持结构,其特征在于:所述罩体二(203)的顶端固定连接有把手(3),所述罩体一(1)的顶端开设有槽体(4)。

4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:高萌
申请(专利权)人:天津洙诺科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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