【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于镜面干涉检测领域,更具体地,涉及一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置。
技术介绍
1、随着国家技术的进步,空间探测、地面遥感、航空、航天、照明、显示等领域对光学系统的轻量化、小型化、系统像质优化等方面提出了更高的要求。将自由曲面应用于光学系统,可以提升系统优化自由度,减少光学系统设计残差和光学元件数量,在改善系统像质的同时简化光学系统结构。上述优点使得光学系统设计者可根据光学系统设计参数的特殊需要,突破传统光学系统的概念,将自由曲面运用于全新的系统设计方案中。因而,自由曲面光学系统具有减少光学元件数量,提高成像质量,适应轻量化要求等优势。目前自由曲面已在空间相机、照明光学、头盔显示等光学系统中得到了成功应用。基于自由曲面的光学系统应用研究已经成为现代高性能光学系统发展的重要方向,对高精度自由曲面光学元件的制造需求随之而来,而自由曲面的高精度测量则是高精度自由曲面光学元件制造的基础。干涉测量作为一种通用的光学元件最终精度检测方法,其理想状态是实现对待测元件的零位检测。
2、凸自由曲面由于其几何形式的特殊
...【技术保护点】
1.一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的全口径面形检测方法,其特征在于,所述相位计算全息元件的面向干涉仪的一面设计有五种衍射光学功能区域,包括:主检测功能区域,与干涉仪对准用功能区域,投射二次曲面反射镜十字形功能区域,与二次曲面反射镜对准用功能区域,以及投射待测镜面十字形功能区域;
3.根据权利要求2所述的全口径面形检测方法,其特征在于,对多台阶相位计算全息元件和干涉仪对准的实现方式为:
4.根据权利要求3所述的全口径面形检测方法,其特征在于,对干涉仪、相位计算全息元件和二次曲面反射
...【技术特征摘要】
1.一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的全口径面形检测方法,其特征在于,所述相位计算全息元件的面向干涉仪的一面设计有五种衍射光学功能区域,包括:主检测功能区域,与干涉仪对准用功能区域,投射二次曲面反射镜十字形功能区域,与二次曲面反射镜对准用功能区域,以及投射待测镜面十字形功能区域;
3.根据权利要求2所述的全口径面形检测方法,其特征在于,对多台阶相位计算全息元件和干涉仪对准的实现方式为:
4.根据权利要求3所述的全口径面形检测方法,其特征在于,对干涉仪、相位计算全息元件和二次曲面反射镜对准的...
【专利技术属性】
技术研发人员:闫力松,张宇鹤,刘卓祺,朱安康,何煜琦,严冬,
申请(专利权)人:华中科技大学,
类型:发明
国别省市:
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