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一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置制造方法及图纸
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下载一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置的技术资料
文档序号:40675115
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本发明属于镜面干涉检测领域,具体涉及一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置,包括:获取待测凸自由曲面反射镜的预设理论面形,用以构造相位计算全息元件的多台阶结构,该多台阶结构能使全息元件对干涉仪所发出的检测光进行波前调整,且调整后检测...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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