离子导向器制造技术

技术编号:40670244 阅读:20 留言:0更新日期:2024-03-18 19:06
提供了一种用于谱仪的离子导向器。该离子导向器包括第一电极组件,该第一电极组件包括沿中心轴线对齐的多个导向电极。每个导向电极包括孔。这些孔限定从该第一电极组件的第一端部到该第一电极组件的第二端部的离子通道。该离子通道被配置为在该第一端部处接收离子束。该导向电极被配置为接收RF电压以限定该离子束的限制体积,其中该限制体积绕该中心轴线集中。该离子导向器包括第二电极组件,该第二电极组件与该第一电极组件相邻,其中该第二电极组件被配置为接收DC电压,使得该离子束的中心偏转以待离开该中心轴线。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及离子谱仪和/或离子导向器领域。


技术介绍

1、离子谱仪的分析器,例如质谱仪或光谱仪,以及其他利用离子的仪器通常需要高真空或超高真空。然而,所使用的离子源通常处于更高的压力下。离子通常被引导至孔以在真空区域之间转移。为了通过孔提供良好的透射,在空间上聚焦离子束可能是有益的。

2、将离子引导至高真空区域的常见方式是使用离子漏斗(例如,如us6107628a中所示)。离子漏斗通常具有一系列堆叠的射频(rf)环形电极,其在漏斗内部生成排斥rf伪势。漏斗的内半径逐渐减小,聚焦离子束,直到其到达漏斗端部处的孔。

3、离子束通常作为气体喷射的一部分进入谱仪,该气体喷射还包括液滴和中性物。在常规的离子漏斗中,存在中性物和液滴撞击rf电极的风险,从而导致污染和充电效应。另外,从气体喷射中提取离子束使得仅离子穿过孔可能是有益的。

4、若干现有的设备旨在通过产生离子漏斗的聚焦效应,在不缩小rf电极环半径的情况下,聚焦离子束,同时避免中性污染。

5、这些中的一者采用了缩小的rf伪势,类似于通过离子漏斗实现的,但是rf伪势是本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于谱仪的离子导向器,所述离子导向器包括:

2.根据权利要求1所述的离子导向器,其中每个导向电极包括环形电极。

3.根据权利要求1或2所述的离子导向器,其中每个导向电极的所述孔包括以下项中的任何一者:

4.根据权利要求1至3中任一项所述的离子导向器,其中每个导向电极的所述孔包括第一形状和第二形状的组合,其中所述第一形状与所述第二形状重叠。

5.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中所述第一电极包括恒定间距的所述多个导向电极。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的离子导向器,其中所述第一电极包括具有以下任一者的所述多个...

【技术特征摘要】

1.一种用于谱仪的离子导向器,所述离子导向器包括:

2.根据权利要求1所述的离子导向器,其中每个导向电极包括环形电极。

3.根据权利要求1或2所述的离子导向器,其中每个导向电极的所述孔包括以下项中的任何一者:

4.根据权利要求1至3中任一项所述的离子导向器,其中每个导向电极的所述孔包括第一形状和第二形状的组合,其中所述第一形状与所述第二形状重叠。

5.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中所述第一电极包括恒定间距的所述多个导向电极。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的离子导向器,其中所述第一电极包括具有以下任一者的所述多个导向电极:

7.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中所述多个导向电极被配置为接收交替极性的rf电压。

8.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中所述第二电极组件被配置为接收:

9.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中所述第二电极组件包括弯曲的片状电极。

10.根据权利要求9所述的离子导向器,其中所述第二电极组件包括部分圆柱壳电极。

11.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中所述第二电极组件包括杆电极。

12.根据权利要求1至8中任一项所述的离子导向器,其中所述第二电极组件包括扁平的片状电极。

13.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中所述第二电极组件包括多个电极。

14.根据任一前述权利要求所述的离子导向器,其中从所述中心轴线到所述第二电极组件的距离沿所述中心轴线变化。

15.根据任一前述权利要求所...

【专利技术属性】
技术研发人员:H·斯图尔特
申请(专利权)人:塞莫费雪科学不来梅有限公司
类型:发明
国别省市:

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