一种高纯石英玻璃原料及其制备方法与应用技术

本发明专利技术公开了一种高纯石英玻璃原料及其制备方法与应用，以四甲氧基硅烷为底料，控制初始滴加温度，以水、甲醇、催化剂的混合液为滴加料，控制滴加温度与滴加速率，滴加完后，回流一定时间，然后改为蒸馏，将甲醇蒸出，得到聚合物液体；蒸出甲醇后，通入高纯氧气，将四甲基硅氧烷的低聚物带出，所得产物可以作为制备高纯度石英玻璃的硅源。本发明专利技术制备石英玻璃的原料的工艺简单、环保、效率高，并且原料便宜，制备的硅源杂质含量低于10ppb，然后利用化学沉积技术可制备性能良好的高纯石英玻璃。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于石英玻璃，具体涉及一种高纯石英玻璃原料及其制备方法与应用。

技术介绍

1、石英玻璃是由二氧化硅单一组分构成的特种玻璃，具有优异的光学性能、电绝缘性能、耐热性能、化学稳定性等，被称为“玻璃之王”，广泛应用于航空航天、核工业、冶金、化工、半导体等领域，在国民经济建设中占据重要地位。

2、按照制造方法，石英玻璃可分成天然石英玻璃和合成石英玻璃。天然石英玻璃是用天然水晶或硅石作原料经高温熔制而成的，合成石英玻璃则使用无机或有机含硅的液体化合物经化学反应合成工艺制成。由于合成石英玻璃比用天然原料制成的石英玻璃纯度高，品质好，因此又被称为高纯石英玻璃，天然石英玻璃又被称为普通石英玻璃。

3、高纯度石英制品是半导体材料生产过程中的关键性辅助耗材。我国高纯石英资源匮乏，用于制备高纯石英原料主要为天然水晶和脉石英，目前已几近枯竭，因此合成高纯石英玻璃的原料及技术已成为目前亟需解决的问题。合成高纯石英玻璃的含硅化合物一般为四氯化硅、氢化硅、八甲基环四硅氧烷等无机与有机原料。

4、高纯sicl4的制备以光化和精馏工艺结合为主，制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，S1步骤中，水与四甲氧基硅烷的摩尔比为0.5:1-1.5:1。

3.根据权利要求1所述的高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，S1步骤中，甲醇与水的摩尔比为0:1-3:1，甲醇的用量不为0。

4.根据权利要求1所述的高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，S1步骤中，催化剂为HCl、硝酸、苹果酸、柠檬酸、醋酸、顺丁烯二酸中的至少一种的酸液，催化剂酸液的质量分数为1％-5％，催化剂酸液与水的质量为0:1-0.1:1，催化剂酸液...

【技术特征摘要】

1.一种高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，s1步骤中，水与四甲氧基硅烷的摩尔比为0.5:1-1.5:1。

3.根据权利要求1所述的高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，s1步骤中，甲醇与水的摩尔比为0:1-3:1，甲醇的用量不为0。

4.根据权利要求1所述的高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，s1步骤中，催化剂为hcl、硝酸、苹果酸、柠檬酸、醋酸、顺丁烯二酸中的至少一种的酸液，催化剂酸液的质量分数为1％-5％，催化剂酸液与水的质量为0:1-0.1:1，催化剂酸液的用量不为0。

5.根据权利要求1所述的高纯石英玻璃原料的制备方法，其特征在于，s1步骤中，底料的初始滴加温度为2...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丽娜，王宇湖，
申请(专利权)人：苏州西丽卡电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：