【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶圆制造设备，尤其是涉及一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘。
技术介绍
1、单片晶圆清洗装置是对晶圆进行一片一片清洗的设备。是在一个旋转的晶圆支撑盘上，通过多种清洗液（通常是三种），对晶圆依次进行工艺操作和清洗，具有质量稳定、满足工艺要求的优点。
2、中国专利技术专利文献cn113113328b公开了单片晶圆清洗装置清洗盘结构及单片晶圆清洗装置，其中晶圆直接放置支撑柱上，对晶圆的固定不是很牢固。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，包括：
4、盘体，所述盘体包括顶面和安装在顶面底部的底面，顶面和底面中间形成安装空间；
5、支撑杆，所述支撑杆设置在盘体顶部，用于支撑晶圆；
6、卡紧柱，为若干个，所述卡紧柱包括底部，位于底部上的中间段，位于顶端的顶段，所述顶段设置有凹陷部，所述凹陷部用于卡住晶圆；
7、卡紧机构，所述卡紧机构包括驱动杆、第一限位块、连杆、安装块、连接块和弹性件；
8、所述连杆的一端为驱动杆，所述驱动杆用于与驱动装置连接，用于沿轴向拉动驱动杆；
9、所述第一限位块设置在所述盘体内，供所述驱动杆穿过以限制所述驱动杆仅能沿轴向运动；
10、所述
11、所述连接块设置在所述连杆上，所述弹性件与所述连接块连接用于提供与驱动装置拉动驱动杆的拉力方向相反的作用力。
12、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述连接块为两个，分别位于所述连杆的两侧，所述弹性件也为两个，两个所述弹性件的一端分别与两个所述连接块连接，两个所述弹性件的另一端分别与固定在所述盘体上的固定柱连接。
13、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述凹陷部具有直径从下往上逐渐减小的曲面，通过曲面支撑晶圆。
14、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述安装孔的开口处设置有封堵片。
15、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述安装孔的开口处为阶梯孔。
16、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述封堵片为ptfe材料制成。
17、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述支撑杆通过螺纹安装在所述盘体上，且所述支撑杆的顶部为锥形。
18、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述卡紧柱与安装块通过螺纹连接，以便于卡紧柱的安装。
19、优选地，本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，所述卡紧机构还包括固定在盘体内的第二限位块，所述第二限位块能够抵靠住所述连杆以抵抗所述弹性件的拉力。
20、本专利技术的有益效果是：
21、本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，使用时，通过驱动装置拨动所述驱动杆，使连杆抵抗弹性件的拉力向着盘体中心运动，带动卡紧柱底部向着盘体中心运动，卡紧柱的顶部向着远离盘体中心运动，之后由机械手将晶圆置于支撑杆上，由驱动装置放开对驱动杆的驱动，在弹性件的作用下，连杆复位，卡紧柱的顶部向着盘体中心收拢，从而将晶圆固定在卡紧柱的凹陷部内，形成对晶圆的固定。本专利技术的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘具有对晶圆的固定牢固的优点，减小晶圆被压碎的风险。
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1.一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述连接块（45）为两个，分别位于所述连杆（43）的两侧，所述弹性件（46）也为两个，两个所述弹性件（46）的一端分别与两个所述连接块（45）连接，两个所述弹性件（46）的另一端分别与固定在所述盘体（1）上的固定柱（47）连接。
3.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述凹陷部具有直径从下往上逐渐减小的曲面，通过曲面支撑晶圆。
4.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述安装孔（13）的开口处设置有封堵片（310）。
5.根据权利要求4所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述安装孔（13）的开口处为阶梯孔。
6.根据权利要求4所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述封堵片（310）为PTFE材料制成。
7.根据权利要求1所述的具
8.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述卡紧柱（3）与安装块（44）通过螺纹连接，以便于卡紧柱（3）的安装。
9.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述卡紧机构还包括固定在盘体（1）内的第二限位块（48），所述第二限位块（48）能够抵靠住所述连杆（43）以抵抗所述弹性件（46）的拉力。
...【技术特征摘要】
1.一种具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述连接块（45）为两个，分别位于所述连杆（43）的两侧，所述弹性件（46）也为两个，两个所述弹性件（46）的一端分别与两个所述连接块（45）连接，两个所述弹性件（46）的另一端分别与固定在所述盘体（1）上的固定柱（47）连接。
3.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述凹陷部具有直径从下往上逐渐减小的曲面，通过曲面支撑晶圆。
4.根据权利要求1所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆支撑盘，其特征在于，所述安装孔（13）的开口处设置有封堵片（310）。
5.根据权利要求4所述的具有卡紧功能的单片晶圆清洗装置的晶圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，郭亚飞，黄典礼，彭竹云，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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