【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光加工，具体涉及一种高功率激光的实时反馈功率检测装置。
技术介绍
1、高功率激光器受各类因素影响容易产生功率的不稳定，例如温度变高，会使得激光器泵源的输出功率降低以至于发生热翻转，严重影响输出功率；光学元器件的稳定性（如老化、反射率、偏振态、脏污等）也会影响功率；外部因素，如电源的稳定性、器件的脏污等也会影响功率。因此需要对其功率进行检测。
2、传统通常采用直接测量的方法对激光加工设备进行功率检测，即在检测过程中通过激光光束直接照射激光功率检测设备，通过检测其内部传感器中相应物理量的变化来获得激光的加工功率。但是直接测量只适用于激光功率极低的激光加工设备，并且直接测量的方式容易损坏检测装置，不便于长时间的实时监测。因此由于高功率激光能量较大，传统的直接测量方法不适用于高功率激光加工设备，存在易损坏检测装置的问题，提高了对功率检测装置的要求。
3、另外，现有技术中的功率激光检测装置一般设置在激光加工设备外部，通过激光加工设备对功率检测装置持续输出激光的方式检测出功率，其只能在加工前先对设备进行功率检测，没有异常后再进行加工，不能实现实时检测，具有滞后性，因此该方法检测出的功率与实际加工过程中的功率存在差异。并且现有的功率检测装置往往只能单纯地对功率进行检测而无法快速定位和排查功率异常的问题。因此亟需提出一种适用于高功率激光的功率检测技术并同时能够起到故障快速定位作用。
技术实现思路
1、针对现有技术的以上缺陷或改进需求中的一种或者多种，本专利技
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种高功率激光的实时反馈功率检测装置，该功率检测装置设于激光加工设备内部，包括设于激光加工设备的激光入射端的第一保护镜检测装置和激光出射端的第二保护镜检测装置；
3、所述第一保护镜检测装置和第二保护镜检测装置之间的激光光路中设有反射镜，从所述反射镜反射的第一激光束进入第二保护镜检测装置中，从所述反射镜折射的第二激光束进入功率检测装置中；
4、所述功率检测装置与保护镜检测装置结合，能够对第一保护镜检测装置到功率检测装置之间的前半程光路进行功率检测，同时能够对功率检测装置到第二保护镜检测装置的后半程光路进行功率检测，并能够将激光加工设备的问题定位在所述前半程光路或后半程光路中。
5、作为本专利技术的进一步改进，若功率检测装置检测到异常数据，同时第一保护镜检测装置报警时，将激光加工设备的问题定位至所述前半程光路中；
6、若功率检测装置检测到异常数据，同时第二保护镜检测装置报警时，将激光加工设备的问题定位至所述后半程光路中。
7、作为本专利技术的进一步改进，所述第一保护镜检测装置包括第一保护镜本体和与之对应设置的第一光电传感器，所述第二保护镜检测装置包括第一保护镜本体和与之对应设置的第二光电传感器，光电传感器用于检测对应的保护镜表面是否出现污损。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述第一光电传感器和第二光电传感器与对应的报警系统连接。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述功率检测装置采集加工过程中激光加工设备的功率数据并将数据反馈至控制系统，该控制系统能够对异常数据进行诊断并进行激光功率的相应调整，形成闭环控制。
10、作为本专利技术的进一步改进，所述控制系统能够绘制出相对应的功率曲线，通过分析所述功率检测装置记录的功率数据能够追溯对应时间的功率曲线来进行检测与故障诊断。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述反射镜和功率检测装置之间的光路中，还设有分光镜，以将透过反射镜的第二激光束分为第三激光束和第四激光束，其中一个激光束的光路中对应设有所述功率检测装置，另一个激光束的光路中对应设有光能吸收模块。
12、作为本专利技术的进一步改进，所述第一保护镜检测装置和反射镜之间的光路中，还设有准直镜；和/或，
13、所述反射镜和第二保护镜检测装置之间的光路中，还设有至少一个反光镜，用于改变光路，使反射镜反射的激光顺利进入第二保护镜检测装置中；和/或，
14、靠近所述第二保护镜检测装置的光路中还设有聚焦镜。
15、总体而言，通过本专利技术所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下有益效果：
16、（1）本专利技术的高功率激光的实时反馈功率检测装置，设于激光加工设备内部，对透过反射镜的少部分能量较弱的激光进行检测，通过控制系统计算出激光加工功率，能够实现对高功率激光加工功率数据的精准采集。同时将功率检测装置与保护镜检测模块相结合，不仅可以对第一保护镜检测装置到功率检测装置之间的光路进行功率检测，还可以对功率检测装置到第二保护镜检测装置的光路进行功率检测，实现了激光加工过程中高功率激光加工设备内光路的全过程检测，并能快速定位和诊断激光加工过程中激光加工设备出现的问题，保证激光加工的可追溯性。
17、（2）本专利技术的高功率激光的实时反馈功率检测装置，保护镜检测模块和功率检测装置两者是可以独立运行的两种模块，在其一损坏或需调整时，另一个模块可以进行检测，避免激光加工过程中产生较大事故，双重检测可以大幅度的提高激光加工的安全性，减少经济损失。
18、（3）本专利技术的高功率激光的实时反馈功率检测装置，在进行高功率激光加工过程中，能够形成闭环系统，功率检测装置采集加工过程中激光加工设备的功率数据并将异常数据反馈至控制系统，控制系统对该异常数据进行诊断并进行激光功率的相应的调整，避免激光加工设备的问题长时间存在，造成二次损伤，提高了激光加工设备的安全性。另外控制系统还能够绘制出功率曲线，将数据可视化，提高了故障诊断的效率。
19、（4）本专利技术的高功率激光的实时反馈功率检测装置，考虑到经过分光镜反射的光线仍然具有比较高的能量，在功率检测装置处增加光能吸收模块，可以对经过分光镜反射或折射后的剩余激光进行吸收处理，避免剩余激光对激光加工设备产生影响。并且光能吸收模块和功率检测装置的安装位置可以根据实际的使用场景进行互换调整，根据使用的需要对反射和折射的激光进行吸收处理。
20、（5）本专利技术的高功率激光的实时反馈功率检测装置，设于能够出射激光的加工设备中，适用性广泛，采用本专利技术的高功率激光的实时反馈功率检测装置，能够有效保证激光加工的质量、加工效率和加工安全。
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1.一种高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，该功率检测装置设于激光加工设备内部，包括设于激光加工设备的激光入射端的第一保护镜检测装置（1）和激光出射端的第二保护镜检测装置（9）；
2.根据权利要求1所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，若功率检测装置（5）检测到异常数据，同时第一保护镜检测装置（1）报警时，将激光加工设备的问题定位至所述前半程光路中；
3.根据权利要求1或2所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述第一保护镜检测装置（1）包括第一保护镜本体（12）和与之对应设置的第一光电传感器（11），所述第二保护镜检测装置（9）包括第一保护镜本体（92）和与之对应设置的第二光电传感器（91），光电传感器用于检测对应的保护镜表面是否出现污损。
4.根据权利要求3所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述第一光电传感器（11）和第二光电传感器（91）与对应的报警系统连接。
5.根据权利要求1或2所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述功率检测装置（5）采集加工过程中激
6.根据权利要求5所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述控制系统能够绘制出相对应的功率曲线，通过分析所述功率检测装置（5）记录的功率数据能够追溯对应时间的功率曲线来进行检测与故障诊断。
7.根据权利要求1、2或6中任一项所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述反射镜（3）和功率检测装置（5）之间的光路中，还设有分光镜（4），以将透过反射镜（3）的第二激光束分为第三激光束和第四激光束，其中一个激光束的光路中对应设有所述功率检测装置（5），另一个激光束的光路中对应设有光能吸收模块（6）。
8.根据权利要求1、2或6中任一项所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述第一保护镜检测装置（1）和反射镜（3）之间的光路中，还设有准直镜（2）；和/或，
...【技术特征摘要】
1.一种高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，该功率检测装置设于激光加工设备内部，包括设于激光加工设备的激光入射端的第一保护镜检测装置（1）和激光出射端的第二保护镜检测装置（9）；
2.根据权利要求1所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，若功率检测装置（5）检测到异常数据，同时第一保护镜检测装置（1）报警时，将激光加工设备的问题定位至所述前半程光路中；
3.根据权利要求1或2所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述第一保护镜检测装置（1）包括第一保护镜本体（12）和与之对应设置的第一光电传感器（11），所述第二保护镜检测装置（9）包括第一保护镜本体（92）和与之对应设置的第二光电传感器（91），光电传感器用于检测对应的保护镜表面是否出现污损。
4.根据权利要求3所述的高功率激光的实时反馈功率检测装置，其特征在于，所述第一光电传感器（11）和第二光电传感器（91）与对应的报警系统连接。
5.根据权利要求1或2所述的高功率激光的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，程思，陈科，殷俊，邓彪，廖鹏，刘璇，
申请(专利权)人：武汉新耐视智能科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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