【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体产品搬运，尤其涉及一种防抖动的晶圆盒取放装置。
技术介绍
1、本部分旨在为权利要求书中陈述的本专利技术实施例提供背景或上下文。
2、晶圆的搬运是半导体产品制造过程中常见的工作，晶圆搬运过程中会因为机械振动、人员手工操作振动、环境振动、人为振动等各种原因造成振动，这对晶圆的加工质量具有重要意义，因为振动会影响到晶圆表面的精度和洁净度，进而影响芯片的性能。目前针对晶圆搬运过程中的振动问题，一般采取的方法是优化工厂环境、培训操作人员，尽量减少振动。
3、另外，目前市面上的晶圆取放夹具基本都是单片取放没有整个晶圆盒取放的夹具。而且市面的晶圆取放夹具功能相对单一，对于不同尺寸的晶圆盒不兼容。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种防抖动的晶圆盒取放装置，以解决现有技术中晶圆单片取放，容易抖动，不能兼容不同尺寸的晶圆盒的问题。
2、为了达到上述目的，本专利技术采用的技术方案如下。
3、一种防抖动的晶圆盒取放装置，包括：
4、两条平行设置的夹具板件以及设置于夹具板件内侧的夹具，所述夹具板件在一端通过连接板连接，所述连接板垂直连接于底板，所述底板与所述夹具板件垂直；
5、所述夹具板件远离所述连接板的一端设置有第一激光感应器，靠近所述连接板的一端设置有第二激光感应器，用于检测所述夹具板件内是否具有晶圆盒；
6、控制模块，与所述激光感应器和所述夹具电连接，当所述激光感应器检测到有晶圆盒时，所
7、在一些实施方式中，所述夹具沿所述夹具板件长度方向设置多组不同尺寸的夹具，用于夹取不同尺寸的晶圆盒，每组夹具中的两个夹具分别相对设置于两个所述夹具板件内侧；
8、所述激光感应器沿所述夹具板件长度方向设置多组第二激光感应器，用于检测不同尺寸的晶圆盒，每组第二激光感应器中的两个第二激光感应器分别相对设置于两个所述夹具板件内侧；
9、当所述激光感应器感应到有晶圆盒时，所述控制模块根据感应到晶圆盒的第二激光感应器的位置确定晶圆盒尺寸，并根据晶圆盒的尺寸选择相应尺寸的夹具将晶圆盒夹紧。
10、在一些实施方式中，所述夹具包括按压部和与之联动的夹持部，当所述按压部被下压时，所述夹持部翘起，将晶圆盒夹紧。
11、在一些实施方式中，所述按压部下方设有弹簧，所述弹簧通过杠杆部件与所述夹持部连接。
12、在一些实施方式中，还包括上端感应器和前端感应器，所述前端感应器位于所述夹具板件远离所述连接板的一端，所述上端感应器位于所述连接板远离所述底板一端，用于与所述前端感应器相配合，检测装置运行过程中的障碍，并将信息反馈给所述控制模块，所述控制模块根据检测结果控制所述装置的运行轨迹。
13、在一些实施方式中，还包括图像获取装置，所述图像获取装置与所述连接板或直角板连接，用于获取装置运行过程的图像信息。
14、在一些实施方式中，所述连接板与所述底板通过直角板相连接，所述直角板的两个直角边分别于所述底板和连接板固定连接。
15、在一些实施方式中，所述直角板为平行设置的多个。
16、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
17、本专利技术通过在结构方面通过夹具按压部以及夹持部相配合，实现了晶圆盒搬运过程中的防抖动，并通过激光感应器与夹具的配合实现晶圆盒的自动识别以及抓取，并通过不同位置的激光感应器感应晶圆盒尺寸并匹配响应尺寸的夹具进行晶圆盒尺寸的自动识别和自动抓取，从而使得本专利技术适用于不同尺寸晶圆盒的自动抓取。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求2所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述夹具沿所述夹具板件长度方向设置多组不同尺寸的夹具，用于夹取不同尺寸的晶圆盒，每组夹具中的两个夹具分别相对设置于两个所述夹具板件内侧；
3.根据权利要求2所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述夹具包括按压部和与之联动的夹持部，当所述按压部被下压时，所述夹持部翘起，将晶圆盒夹紧。
4.根据权利要求3所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述按压部下方设有弹簧，所述弹簧通过杠杆部件与所述夹持部连接。
5.根据权利要求4所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，还包括上端感应器和前端感应器，所述前端感应器位于所述夹具板件远离所述连接板的一端，所述上端感应器位于所述连接板远离所述底板一端，用于与所述前端感应器相配合，检测装置运行过程中的障碍，并将信息反馈给所述控制模块，所述控制模块根据检测结果控制所述装置的运行轨迹。
6.根据权利要求5所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，还包括图
7.根据权利要求6所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述连接板与所述底板通过直角板相连接，所述直角板的两个直角边分别于所述底板和连接板固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述直角板为平行设置的多个。
...【技术特征摘要】
1.一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求2所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述夹具沿所述夹具板件长度方向设置多组不同尺寸的夹具，用于夹取不同尺寸的晶圆盒，每组夹具中的两个夹具分别相对设置于两个所述夹具板件内侧；
3.根据权利要求2所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述夹具包括按压部和与之联动的夹持部，当所述按压部被下压时，所述夹持部翘起，将晶圆盒夹紧。
4.根据权利要求3所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，所述按压部下方设有弹簧，所述弹簧通过杠杆部件与所述夹持部连接。
5.根据权利要求4所述的一种防抖动的晶圆盒取放装置，其特征在于，还包括上端感应器和前端感应器...
【专利技术属性】
技术研发人员：王洋洋，谢世武，陈鑫，武永康，
申请(专利权)人：苏州苏优信立智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。