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本发明属于半导体产品搬运技术领域，尤其涉及一种防抖动的晶圆盒取放装置。本发明通过在结构方面通过夹具的按压部和夹持部相配合，实现了晶圆盒搬运过程中的防抖动，并通过激光感应器与夹具的配合实现晶圆盒的自动识别以及抓取，并通过不同位置的激光感应器感...
该专利属于苏州苏优信立智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏优信立智能科技有限公司授权不得商用。

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