【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，具体涉及一种晶圆寻边定位装置。
技术介绍
1、目前，对于8英寸(200mm)、12英寸(300mm)、甚至更大尺寸的晶圆，半导体行业一般通过缺口(notch)来确定晶圆的位置，从而实现晶圆的寻边，寻边一般采用寻边装置。
2、例如中国专利cn219267627u公开了一种晶圆寻边定位装置，晶圆寻边定位装置包括吹扫设备；沿光电对射型传感器光源发射与接收途径方向设置晶圆及放置晶圆的载台；吹扫设备朝向光电对射型传感器设置；吹扫设备朝向光电对射型传感器的方向与光电对射型传感器光源发射与接收途径的方向存在预设夹角；吹扫设备用于向光电对射型传感器进行吹扫，以保证光电对射型传感器周围环境干净。本申请通过增设吹扫设备，对光电对射型传感器进行吹扫，保证光电对射型传感器周围环境干净，尤其确保光源发射及接收途径环境干净，避免了光电对射型传感器在晶圆寻边定位过程中因异物(如灰尘、纤维等)存在导致的接收信号错误，确保晶圆的准确寻边定位，使晶圆处于工件载台中心位置。
3、但是，上述结果存在以下问题：光源发射端31和光源接收端32位置固定的，无法针对不同尺寸的晶圆进行使用，且上述结构无法对晶圆进行圆心定位，还需要其他的设备先进行圆心定位，无法快速进行寻边。
4、基于此，本技术设计了一种晶圆寻边定位装置以解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术所存在的上述缺点，本技术提供了一种晶圆寻边定位装置。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实
3、一种晶圆寻边定位装置，包括箱体：
4、所述箱体顶部连接有用于晶圆转动的转动组件；
5、箱体在转动组件左端连接有移动式检测组件；
6、移动式检测组件包括水平驱动组件和检测组件，水平驱动组件安装于箱体内顶部，水平驱动组件连接有检测组件；
7、箱体在转动组件外端连接有用于晶圆圆心定位的圆心定位组件，且圆心定位组件与水平驱动组件连接。
8、更进一步的，转动组件包括转动筒、吸盘、导气滑环、第二齿圈、安装架、电机、第三齿圈和气孔，箱体顶部通过轴承转动连接有转动筒，转动筒顶部安装孔内安装有吸盘，且吸盘与转动筒相通，箱体内顶部安装有导气滑环，且导气滑环与转动筒固定连接，转动筒下端安装于第三齿圈的安装孔内，安装架固定安装于箱体内顶部，安装架横向部位安装有电机，电机驱动端贯穿安装架与第二齿圈固定连接，且第二齿圈与第三齿圈啮合连接，转动筒内壁下端开设有气孔，且气孔与导气滑环出气端相通。
9、更进一步的，水平驱动组件包括支撑架、第一导轨组件和气缸，第一导轨组件和气缸固定安装于箱体内底部，气缸驱动固定连接有支撑架，支撑架底部与第一导轨组件顶部连接。
10、更进一步的，箱体顶部开设于第一横槽，且支撑架侧壁与第一横槽内壁贴合滑动连接。
11、更进一步的，检测组件包括收光器和发光器，收光器固定安装于支撑架上端横向部位内顶部，发光器固定安装于支撑架中端横向部位顶部，且收光器底部与发光器顶部正对设置，发光器顶部低于箱体内顶部。
12、更进一步的，第一导轨组件的导轨与箱体内底部固定连接，第一导轨组件的滑块与支撑架底部固定连接。
13、更进一步的，圆心定位组件包括定位组件和同步驱动组件，同步驱动组件与水平驱动组件连接，同步驱动组件连接有三组相同的定位组件，且定位组件沿着周向等间距设置在转动组件外侧，与检测组件相邻的定位组件与检测组件错位设置。
14、更进一步的，定位组件包括直滑板、压力感应器、弧形引导槽、第二横槽和第二导轨组件，箱体在转动筒外侧沿着周向等间距开设有第二横槽，第二横槽内贴合滑动连接有直滑板，直滑板内底部上端开设有弧形引导槽，直滑板上端的安装孔内安装有压力感应器，且压力感应器位于弧形引导槽下端，直滑板底部连接有第二导轨组件，且第二导轨组件固定安装于箱体内底部。
15、更进一步的，同步驱动组件包括第四齿圈、第五齿圈、第二齿条、第三齿条、第四齿条、第一齿圈、第一齿条和直轴，箱体的内底部通过轴承与直轴转动连接，直轴从下到上固定连接有第一齿圈、第四齿圈和第五齿圈，第四齿圈与第二齿条啮合连接，第二齿条与后端的直滑板侧壁固定连接，第五齿圈与第三齿条啮合连接，第三齿条与前端的直滑板侧壁固定连接，第一齿圈沿着周向啮合连接有第四齿条和第一齿条，且第四齿条与中间的直滑板侧壁固定连接，第一齿条与支撑架的右端固定连接。
16、更进一步的，直轴的中心轴线与转动筒的中心轴线重合。
17、有益效果
18、本技术移动式检测组件的水平驱动组件的气缸推动支撑架移动，在第一导轨组件作用下支撑架进行水平移动，支撑架带动检测组件的收光器和发光器移动至设定位置，转动组件带动晶圆转动，转动的晶圆的外边沿着收光器和发光器之间的转动，通过收光器和发光器之间的光信号确定缺口位置，实现快速寻边，使得装置适合不同尺寸的晶圆进行寻边处理。
19、本技术根据晶圆的尺寸，移动式检测组件的水平驱动组件的气缸推动支撑架移动，在第一导轨组件作用下支撑架进行水平移动，支撑架带动检测组件的收光器和发光器移动至设定位置，支撑架移动时支撑架带动圆心定位组件的同步驱动组件的第一齿条，第一齿条带动第一齿圈中端，第一齿圈带动直轴转动，第一齿圈带动第四齿条移动，直轴带动第四齿圈和第五齿圈与第一齿圈进行同步转动，第四齿圈带动第三齿条移动，第五齿圈带动第二齿条移动，第二齿条、第一齿条、第三齿条和第四齿条进行同步移动，实现直滑板和支撑架同步移动，圆心定位组件跟随移动式检测组件同步移动，支撑架移动至设定位置时直滑板移动至设定位置，然后将晶圆放到转动筒上，晶圆移动时三组弧形引导槽进行引导下移，三组压力感应器进行接触压力检测，三组压力感应器检测值相同时晶圆的圆心定位于转动筒的圆心处，三组压力感应器的检测值不同时晶圆的圆心与转动筒的圆心错位，且晶圆的缺口位于一组直滑板处，此时需要转动组件带动晶圆转动一定角度，将晶圆的缺口转动至直滑板外侧，此时将晶圆的圆心定位于转动筒的圆心处，实现晶圆的圆心定位。
20、本技术晶圆放到转动组件的转动筒顶部，圆心定位组件对晶圆的圆心定位后，外界气泵通过导气滑环和气孔将转动筒抽至负压，然后吸盘形成负压，吸盘形成负压将晶圆吸附在转动筒顶部，然后电机带动第二齿圈转动，第二齿圈带动第三齿圈转动，第三齿圈带动转动筒转动，转动筒带动吸附后的晶圆转动，便于带动晶圆稳定移动。
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1.一种晶圆寻边定位装置，包括箱体(1)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，转动组件(3)包括转动筒(31)、吸盘(32)、导气滑环(33)、第二齿圈(34)、安装架(35)、电机(36)、第三齿圈(37)和气孔(38)，箱体(1)顶部通过轴承转动连接有转动筒(31)，转动筒(31)顶部安装孔内安装有吸盘(32)，且吸盘(32)与转动筒(31)相通，箱体(1)内顶部安装有导气滑环(33)，且导气滑环(33)与转动筒(31)固定连接，转动筒(31)下端安装于第三齿圈(37)的安装孔内，安装架(35)固定安装于箱体(1)内顶部，安装架(35)横向部位安装有电机(36)，电机(36)驱动端贯穿安装架(35)与第二齿圈(34)固定连接，且第二齿圈(34)与第三齿圈(37)啮合连接，转动筒(31)内壁下端开设有气孔(38)，且气孔(38)与导气滑环(33)出气端相通。
3.根据权利要求2所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，水平驱动组件包括支撑架(21)、第一导轨组件(24)和气缸(26)，第一导轨组件(24)和气缸(26)固定安装于
4.根据权利要求2或者3所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，箱体(1)顶部开设于第一横槽(23)，且支撑架(21)侧壁与第一横槽(23)内壁贴合滑动连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，检测组件包括收光器(22)和发光器(25)，收光器(22)固定安装于支撑架(21)上端横向部位内顶部，发光器(25)固定安装于支撑架(21)中端横向部位顶部，且收光器(22)底部与发光器(25)顶部正对设置，发光器(25)顶部低于箱体(1)内顶部。
6.根据权利要求5所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，第一导轨组件(24)的导轨与箱体(1)内底部固定连接，第一导轨组件(24)的滑块与支撑架(21)底部固定连接。
7.根据权利要求6所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，圆心定位组件(4)包括定位组件和同步驱动组件，同步驱动组件与水平驱动组件连接，同步驱动组件连接有三组相同的定位组件，且定位组件沿着周向等间距设置在转动组件(3)外侧，与检测组件相邻的定位组件与检测组件错位设置。
8.根据权利要求7所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，定位组件包括直滑板(41)、压力感应器(42)、弧形引导槽(43)、第二横槽(44)和第二导轨组件(47)，箱体(1)在转动筒(31)外侧沿着周向等间距开设有第二横槽(44)，第二横槽(44)内贴合滑动连接有直滑板(41)，直滑板(41)内底部上端开设有弧形引导槽(43)，直滑板(41)上端的安装孔内安装有压力感应器(42)，且压力感应器(42)位于弧形引导槽(43)下端，直滑板(41)底部连接有第二导轨组件(47)，且第二导轨组件(47)固定安装于箱体(1)内底部。
9.根据权利要求8所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，同步驱动组件包括第四齿圈(45)、第五齿圈(46)、第二齿条(48)、第三齿条(49)、第四齿条(410)、第一齿圈(411)、第一齿条(412)和直轴(413)，箱体(1)的内底部通过轴承与直轴(413)转动连接，直轴(413)从下到上固定连接有第一齿圈(411)、第四齿圈(45)和第五齿圈(46)，第四齿圈(45)与第二齿条(48)啮合连接，第二齿条(48)与后端的直滑板(41)侧壁固定连接，第五齿圈(46)与第三齿条(49)啮合连接，第三齿条(49)与前端的直滑板(41)侧壁固定连接，第一齿圈(411)沿着周向啮合连接有第四齿条(410)和第一齿条(412)，且第四齿条(410)与中间的直滑板(41)侧壁固定连接，第一齿条(412)与支撑架(21)的右端固定连接。
10.根据权利要求9所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，直轴(413)的中心轴线与转动筒(31)的中心轴线重合。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆寻边定位装置，包括箱体(1)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，转动组件(3)包括转动筒(31)、吸盘(32)、导气滑环(33)、第二齿圈(34)、安装架(35)、电机(36)、第三齿圈(37)和气孔(38)，箱体(1)顶部通过轴承转动连接有转动筒(31)，转动筒(31)顶部安装孔内安装有吸盘(32)，且吸盘(32)与转动筒(31)相通，箱体(1)内顶部安装有导气滑环(33)，且导气滑环(33)与转动筒(31)固定连接，转动筒(31)下端安装于第三齿圈(37)的安装孔内，安装架(35)固定安装于箱体(1)内顶部，安装架(35)横向部位安装有电机(36)，电机(36)驱动端贯穿安装架(35)与第二齿圈(34)固定连接，且第二齿圈(34)与第三齿圈(37)啮合连接，转动筒(31)内壁下端开设有气孔(38)，且气孔(38)与导气滑环(33)出气端相通。
3.根据权利要求2所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，水平驱动组件包括支撑架(21)、第一导轨组件(24)和气缸(26)，第一导轨组件(24)和气缸(26)固定安装于箱体(1)内底部，气缸(26)驱动固定连接有支撑架(21)，支撑架(21)底部与第一导轨组件(24)顶部连接。
4.根据权利要求2或者3所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，箱体(1)顶部开设于第一横槽(23)，且支撑架(21)侧壁与第一横槽(23)内壁贴合滑动连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，检测组件包括收光器(22)和发光器(25)，收光器(22)固定安装于支撑架(21)上端横向部位内顶部，发光器(25)固定安装于支撑架(21)中端横向部位顶部，且收光器(22)底部与发光器(25)顶部正对设置，发光器(25)顶部低于箱体(1)内顶部。
6.根据权利要求5所述的晶圆寻边定位装置，其特征在于，第一导轨组件(24)的导轨与箱体(1)内底部固定连接，第一导轨组件(24...
【专利技术属性】
技术研发人员：张雄，林猷强，谢根源，
申请(专利权)人：新启航半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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