用于制造平板显示器的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于制造平板显示器的装置，该装置包括：显示面板移动单元，包括：框架，导轨设置于其上；导向器，用于沿着所述导轨移动；空气轴承，设置于所述导轨和所述导向器之间，从而所述导向器定位于离开所述导轨预定距离的位置处；以及显示面板台，安装于所述导向器，其中所述显示面板台包括设置于其边缘上的空气流导向器，从而主要防止由所述空气轴承产生的空气流流过所述台的上方，所述空气流导向器朝向所述框架倾斜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于制造平板显示器的装置，特别地，涉及一种在形成薄膜晶体管阵 列(TFT-Array)面板时用于结晶非晶硅(a_Si)的装置。
技术介绍
液晶显示器(IXD)在电子器件中被广泛地采用。IXD包括一对显示面板，其又包括 形成于其上的场产生电极，以及夹置于该对显示面板之间的液晶层。液晶层的液晶分子的 定向通过施加到场产生电极上的电压进行控制。根据液晶分子的定向，通过控制通过液晶 层的光的传输可显示图像。该IXD通过以下工序可被制造在上部显示面板上形成共电极和滤色器，以及在 下部显示面板上形成像素电极和薄膜晶体管。用于对准液晶分子的对准层涂覆在上部和下 部显示面板上。通过涂抹密封剂在下部显示面板上限定闭环形状的主动区域。液晶设置在 该主动区域。该对显示面板在真空状态下进行组装，并且固化密封剂。下部显示面板上形成的薄膜晶体管的性能非常重要。为了改善下部显示面板上形 成的薄膜晶体管的性能，结晶薄膜晶体管的半导体层的『Si (非晶硅)是非常重要的。采用激光的连续侧向结晶(SLS)型装置通常用于结晶a-Si。该SLS型装置包括用 于移动下部显示面板的移动单元，以及用于照射下部显示面板的a-Si的激光单元。移动单元包括具有导轨的框架、适用于沿着导轨移动的导向器、设置于导轨和导 向器之间的空气轴承、以及安装于导向器并固定显示面板的台。激光单元包括用于产生激光束的激光源、用于控制激光束的能量的量的控制透 镜、用于聚集控制的激光束的聚集透镜、用于使聚集的激光束选择地通过的掩模、以及用于 将通过的激光束缩减到预定的焦距从而用激光束照射a-Si的缩减透镜。因此，激光束通过激光源、控制透镜、聚集透镜、掩模、以及缩减透镜照射下部显示 面板的a-Si。此时，装载下部显示面板的台以预定的方式移动。SLS型装置具有如下问题。可能发生如下现象，S卩，形成于掩模和缩减透镜之间的激光束的焦点由于空气流 可能发生抖动，例如，该抖动由于台的移动而产生，由于空气轴承产生的空气流而产生，和/ 或由于掩模产生的热而导致的自然对流。通过掩模和缩减透镜之间的激光束直接受空气流的影响，并且因此形成于掩模和缩减透镜之间的焦点可能容易产生抖动。在形成于掩模和缩减透镜之间的焦点产生抖动的情况下，照射a-Si的激光束的 聚焦深度(DOF)不能够保持在预定的D0F，并且因此该装置不合格。此外，为了精确地限定a-Si的融化区域，需要增加透镜的分辨率，并且因此必须 降低D0F。如果形成于掩模和缩减透镜之间的焦点发生抖动，则很难保持该降低的D0F。因此，需要一种用于在平板显示器的制造工艺中降低空气流的装置。
技术实现思路
根据本专利技术实施例的用于制造平板显示器的示例性装置包括显示面板移动单元， 该显示面板移动单元包括框架，导轨设置于其上；导向器，用于沿着所述导轨移动；空气 轴承，设置于所述导轨和所述导向器之间，从而所述导向器定位于离开所述导轨预定距离 的位置处；以及显示面板台，安装于所述导向器，其中所述显示面板台包括设置于其边缘上 的空气流导向器，从而主要防止由所述空气轴承产生的空气流流过所述台的上方，所述空 气流导向器朝向所述框架倾斜。根据本专利技术实施例的用于制造平板显示器的示例性装置包括显示面板移动单元 和用于在显示面板移动单元的方向产生激光束的激光单元。该激光单元包括用于使激 光束选择性地通过的掩模；用于聚焦已经通过掩模的激光束的缩减透镜；以及用于主要防 止外部空气流流入到掩模和缩减透镜之间的空隙中的阻挡部，其中激光束形成于该缩减透^Mi ο根据本专利技术的实施例，阻挡部包括中空体，其具有开口的上部和闭合的下部；其 中，开口的上部的内表面固定到掩模的外表面上，并且缩减透镜设置于中空体的内部。根据本专利技术的实施例，中空体的内部维持在预定的真空。根据本专利技术的实施例，中空体的内部填充有惰性气体。根据本专利技术的实施例，中空体或者由透明材料形成或者由半透明材料形成。根据本专利技术的实施例，中空体由不透明材料形成，并且激光束通过的光束通过部 通过中空体的闭合下部而设置。根据本专利技术的实施例，光束通过部包括通过孔，其形成于中空体的闭合下部的预 定部上，激光束经由该通过孔而通过；以及设置于通过孔以闭合该通过孔的窗口，其中该窗 口由透明材料形成。根据本专利技术的实施例，窗口由石英形成。根据本专利技术的实施例，阻挡部包括中空体，其具有开口的上部和开口的底部，其 中开口的上部的内表面固定到掩模的外表面；并且开口的下部的内表面固定到缩减透镜的 外表面。根据本专利技术的实施例，移动单元包括框架，导轨设置于其上；导向器，用于沿着 导轨移动；空气轴承，设置于导轨和导向器之间，从而导向器离开导轨预定距离而定位；以 及显示面板台，安装于导向器，其中显示面板台包括设置在其边缘上的空气流导向器，从而 可主要防止由空气轴承产生的空气流流过上述台的上方，该空气流导向器朝向框架倾斜。根据本专利技术的实施例，空气流导向器具有圆形。附图说明以下将参照附图对根据本专利技术的实施例进行详细地描述，其中图1是根据本专利技术实施例的用于制造平板显示器的装置的示意图；图2是图1中的“A”部分的放大图；以及图3是根据本专利技术的另一实施例的用于制造平板显示器的装置的示意图。 具体实施例方式图1是根据本专利技术实施例的用于制造平板显示器的装置的示意图；以及图2是图 1中的“A”部分的放大图。如图1所示，根据本专利技术实施例的用于制造平板显示器的装置包括激光单元10以 及移动单元20，该移动单元用于移动显示面板P，而在该显示面板P上涂覆有非晶材料。激光单元10包括激光源11、控制透镜12、聚集透镜13、掩模14、聚焦缩减透镜15、 以及阻挡部16，从而用激光束B照射非晶材料。激光源11产生激光束B，控制透镜12控制激光束B产生的能量的量，而聚集透镜 13聚集控制的激光束B。掩模14使聚集的激光束B选择地通过，并且可包括传输部14a和阻挡部14b。聚焦缩减透镜15聚焦已经通过掩模的激光束B，从而使得激光束B照射到显示面 板P的非晶材料上。阻挡部16防止外部空气流流入到掩模14和聚焦缩减透镜15之间的空隙中，其中 在该聚焦缩减透镜中形成激光束B的焦点F。例如，该阻挡部16包括具有开口上部和闭合下部的中空体16a，中空体16a的开口 上部固定到掩模14的外部表面，而聚焦缩减透镜15定位于中空体16a的内部。中空体16a的内部例如可维持在预定真空，或者中空体16a的内部可填充有惰性 气体18，从而可主要防止由于热而导致的自然对流。中空体16a例如可由透明材料或半透明材料形成，从而激光束B可通过。中空体16a可由不透明材料形成。对于由不透明材料(如金属等)形成的中空体 16a，在中空体16a的闭合下部设置有激光束B可通过的激光通过部A。如图2所示，激光通过部A包括通过孔16b和窗口 16c。通过孔16b由中空体16a 的闭合下部的预定部分形成，激光束B可通过该通过孔。窗口 16c设置于通过孔16b上以 闭合通过孔16b。窗口 16c由透明材料形成。该窗口 16c例如可由石英形成，该石英可容易地被加工为平面，从而可主要防止 激光束B的散射。根据本专利技术的实施例，由于阻挡部16定位于掩模14和缩减透镜15之间，因此空 气流不会影响通过掩模14和缩减透镜15之间的激光束B。因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造平板显示器的装置，包括：显示面板移动单元，包括：框架，导轨设置于其上；导向器，用于沿着所述导轨移动空气轴承，设置于所述导轨和所述导向器之间，从而所述导向器定位于离开所述导轨预定距离的位置处；以及显示面板台，安装于所述导向器，其中所述显示面板台包括设置于其边缘上的空气流导向器，从而主要防止由所述空气轴承产生的空气流流过所述台的上方，所述空气流导向器朝向所述框架倾斜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金东范，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]