真空检漏装置制造方法及图纸

技术编号：40628181 阅读：18 留言：0更新日期：2024-03-13 21:14

本技术提供了一种真空检漏装置。所述真空检漏装置包括：盖板、密封圈、以及连接管；所述盖板具有一内腔，能够容纳被检测装置的凸起部，并且设置为能够与所述被检测装置贴合，侧壁与所述被检测装置贴合处有密封沟槽，底部有通孔；所述密封圈，设置于所述密封沟槽内，用于所述盖板与所述被检测装置之间的密封；所述连接管，连接于所述通孔与真空泵的吸气口，控制所述连接管中的气体流通的阀门设置于其上。上述技术方案可以在工艺作业前，提前发现被检测装置的漏气情况，避免漏气的组件安装到机台上，提高了机台保养维护的工作效率，同时使工艺作业过程中因漏气而需要更换组件的发生概率大大降低，提高了机台的有效工作时间，进而提高机台的产能，降低生产成本。

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种真空检漏装置。

技术介绍

1、低压扩散炉是半导体生产线的重要工艺设备之一，广泛用于硅片扩散、氧化、退火等工艺。使用低压扩散炉对扩散炉内的密封性要求极高，如果密封不良，低压扩散炉的低压环境无法满足，同时还会引入外部的气体，导致产品一致性不足，生产效率低下。

2、现有技术通常采用检漏仪对低压扩散炉进行漏率检查，并且在每次保养维护时都进行检查，但是用检漏仪只能查出大部分的漏点，事实上有些漏点是很难检查的，比如炉门处的漏点。通常炉门位于炉口处，环境特殊，结构特殊，检测点之间相互影响严重。另外，实际工艺中门牌是不停旋转的，有特殊密封处理，但是一定时间后密封会出问题，往往不转动时不漏，一转动或者升温时就会漏，所以很难检查出漏点。一旦作业时发现漏点，则需要进行降温、拆卸，换个新组件，再检漏，费时费力，极大地降低机台的正常运行时间，降低整个生产线的生产效率。

3、因此，提供一种真空检漏装置，提前发现炉门门牌处的漏点，对生产效率提升非常重要。

技术实现思路>

1、本技术所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空检漏装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述密封圈是O型密封圈。

3.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述通孔与所述连接管连接处的孔径大于其位于所述内腔侧的孔径。

4.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述通孔设置于所述盖板侧壁处。

5.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述内腔具有向所述盖板底部延伸的凹槽，所述通孔的开口位于所述凹槽处。

6.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述盖板固定于一支架上。