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本技术提供了一种真空检漏装置。所述真空检漏装置包括：盖板、密封圈、以及连接管；所述盖板具有一内腔，能够容纳被检测装置的凸起部，并且设置为能够与所述被检测装置贴合，侧壁与所述被检测装置贴合处有密封沟槽，底部有通孔；所述密封圈，设置于所述密封沟...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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