【技术实现步骤摘要】
本申请涉及尾气处理装备，尤其涉及一种尾气处理设备。
技术介绍
1、半导体晶圆厂在晶圆制造制程中使用到的化学物质种类繁多，所用到的原物料或副产物含有多种有害性气体，在制程后这些有害性气体就会出现残留并成为废气；而尾气处理设备就是为了处理诸如此类的有害性气体。
2、现有技术中常用水洗式尾气处理设备对有害废气进行处理，但是如图1所示，由于其在进气口处布置有喷淋头100，进气口处残气遇水形成结晶，导致进气口的管道壁上往往黏附结晶物200，降低后续废气进入尾气处理设备的效率。因此，现有技术中需要对尾气处理设备进行保养，即对进气管路附着的结晶物200进行清理，以保证进气通路。
3、在主机设备进行持续大量产品生产时，进气管路会很快堵塞，平均每周需要停机安排保养1次；由于一台尾气处理设备对应处理四台主机设备产生的废气，因此一台尾气处理设备停机会影响四台主机设备也必须停机，从而造成较大产能损失。
4、因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
1、本申请要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种尾气处理设备，旨在解决现有技术中需将尾气处理设备停机才能清理结晶物，导致产生损失的问题。
2、本申请解决技术问题所采用的技术方案如下：
3、一种尾气处理设备，其包括箱体，所述箱体的顶部设置有进气口，其还包括：
4、进气管；所述进气管的底部的一侧向上延伸设置有缺口；
5、弧形拱起部，设置于所述缺口处；所述进气管
6、容置管，贯穿设置于所述箱体内；所述容置管部分位于所述缺口内；所述容置管和所述弧形拱起部、以及所述进气管的底部除所述缺口外的侧壁之间均具有间隙，以在所述容置管外形成环形通道；
7、磁力刷组件，位于所述环形通道内；
8、磁力装置，位于所述容置管内，并与所述磁力刷组件磁性吸合，以带动所述磁力刷组件沿所述环形通道移动。
9、通过上述方案，所述进气管和所述弧形拱起部对所述进气口进行遮挡的同时，在所述容置管和所述弧形拱起部、以及所述进气管的底部除所述缺口外的侧壁之间形成所述环形通道，以供所述磁力刷组件通行。当工作人员移动所述磁力装置时，所述磁力刷组件沿所述环形通道移动，从而将所述进气管的底部除所述缺口外的侧壁上附着的结晶物清理掉，同时无需将所述尾气处理设备和其对应的主机设备关机，避免了产能损失。
10、可选地，所述弧形拱起部与所述容置管同圆心布置；所述进气管上与所述缺口相对一侧的底壁与所述弧形拱起部同圆布置。
11、通过上述方案，所述环形通道成为宽度一致的通道，从而对所述磁力刷组件进行导向和限位，使得所述磁力刷组件随所述磁力装置在所述环形通道内移动时，还可以受到所述环形通道的导向和限位作用，提升所述磁力刷组件对结晶物清理的效率。
12、可选地，沿所述进气管的径向，所述缺口的宽度与所述进气管的直径相等。
13、通过上述方案，使得在保证所述弧形拱起部与所述进气管在所述缺口处连接稳定性的同时，所述缺口的开度达到最大，以便于在所述磁力装置对所述磁力刷组件的引导作用下，所述磁力刷组件可以达到所述进气管的底部除所述缺口外的侧壁，从而将所述进气管上粘附的结晶物清除，提升结晶物清除效率。
14、可选地，所述磁力刷组件包括：
15、第一磁性件，贴合于所述容置管的外壁上；
16、毛刷，与所述第一磁性件连接。
17、通过上述方案，所述第一磁性件与所述磁力装置磁性吸合，从而在所述磁力装置移动时，所述第一磁性件带动所述毛刷在所述环形通道内移动，从而将所述环形通道内的结晶物清除。
18、可选地，所述第一磁性件为球形磁性件。
19、通过上述方案，使得所述第一磁性件在满足与所述磁力装置磁性吸合、以带动所述毛刷在所述环形通道内移动的前提下，所述第一磁性件与所述容置管之间的接触面积可以达到最小，从而便于所述第一磁性件相对于所述容置管移动。
20、可选地，所述第一磁性件的外径小于所述环形通道的宽度。
21、通过上述方案，可以保证所述第一磁性件仅与所述容置管接触，避免所述弧形拱起部和所述进气管对所述第一磁性件的移动产生不良干涉，从而保证所述第一磁性件在所述磁力装置的引导下可以顺利地沿所述容置管移动。
22、可选地，所述磁力装置为球形磁力装置或圆柱形磁力装置；所述磁力装置的外圆周面与所述容置管的内壁相切。
23、通过上述方案，所述磁力装置的外观面能够与所述容置管的内壁相契合，使得所述磁力装置在外力作用下移动时，能够始终保持与所述容置管相贴合，从而保证所述磁力装置与所述磁力刷组件之间的磁性吸附效果。
24、可选地，所述箱体的顶部还设置有排气口，所述排气口的直径大于所述进气管的直径。
25、通过上述方案，使得所述进气口与所述排气口之间形成吸附作用，从而增强所述尾气处理设备对废气的吸附能力，提升废气处理效率。
26、可选地，所述尾气处理设备还包括：
27、隔板，设置于所述箱体内；所述隔板的顶部与所述箱体连接、底部与所述箱体之间具有空隙，以将所述箱体分隔为相互连通的第一腔室和第二腔室；所述第一腔室与所述进气口连通；所述第二腔室与所述排气口连通；
28、所述第一腔室和所述第二腔室内均设置有过滤组件，且所述第一腔室内过滤组件的数量大于所述第二腔室内过滤组件的数量。
29、通过上述方案，在所述箱体内布置所述过滤组件，通过所述过滤组件对废气进行吸收，以增加废气与喷淋液之间的接触面，使废气与喷淋液充分接触，从而对废气进行净化处理。且由于所述进气口附近气体中含酸物质含量高，而流至所述排气口附近的气体内含酸物质已经大幅降低，因此，在所述第一腔室内布置的过滤组件数量大于所述第二腔室内布置的过滤组件数量，以与废气中含酸物质含量的变化相匹配。
30、可选地，所述过滤组件包括：
31、过滤板，分别与所述箱体和所述隔板连接；
32、拉西环填料层，布置于所述过滤板上。
33、通过上述方案，通过所述过滤板承载所述拉西环填料层，从而通过所述拉西环填料层对废气进行吸收，以增加废气与喷淋液之间的接触面，使废气与喷淋液充分接触，以对废气进行净化处理。
34、本申请中，所述进气管和所述弧形拱起部对所述进气口进行遮挡的同时，在所述容置管和所述弧形拱起部、以及所述进气管上与所述缺口相对一侧的侧壁之间形成所述环形通道，以供所述磁力刷组件通行。当工作人员移动所述磁力装置时，所述磁力刷组件沿所述环形通道移动，从而将所述进气管上与所述缺口相对一侧的侧壁上附着的结晶物清理掉，同时无需将所述尾气处理设备和其对应的主机设备关机，避免了产能损失。
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1.一种尾气处理设备，其包括箱体，所述箱体的顶部设置有进气口，其特征在于，其还包括：
2.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，所述弧形拱起部与所述容置管同圆心布置；所述进气管上与所述缺口相对一侧的底壁与所述弧形拱起部同圆布置。
3.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，沿所述进气管的径向，所述缺口的宽度与所述进气管的直径相等。
4.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，所述磁力刷组件包括：
5.根据权利要求4所述的尾气处理设备，其特征在于，所述第一磁性件为球形磁性件。
6.根据权利要求4所述尾气处理设备，其特征在于，所述第一磁性件的外径小于所述环形通道的宽度。
7.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，所述磁力装置为球形磁力装置或圆柱形磁力装置；所述磁力装置的外圆周面与所述容置管的内壁相切。
8.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，所述箱体的顶部还设置有排气口，所述排气口的直径大于所述进气管的直径。
9.根据权利要求8所述尾气处理设备，其特征在于，其还
10.根据权利要求9所述尾气处理设备，其特征在于，所述过滤组件包括：
...【技术特征摘要】
1.一种尾气处理设备，其包括箱体，所述箱体的顶部设置有进气口，其特征在于，其还包括：
2.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，所述弧形拱起部与所述容置管同圆心布置；所述进气管上与所述缺口相对一侧的底壁与所述弧形拱起部同圆布置。
3.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，沿所述进气管的径向，所述缺口的宽度与所述进气管的直径相等。
4.根据权利要求1所述尾气处理设备，其特征在于，所述磁力刷组件包括：
5.根据权利要求4所述的尾气处理设备，其特征在于，所述第一磁性件为球形磁性件。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，张彬彬，苏财钰，陈洋，黄先康，
申请(专利权)人：重庆康佳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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