【技术实现步骤摘要】
本技术涉及视觉检测领域,具体涉及一种光学检测装置和光学检测系统。
技术介绍
1、在视觉检测
中,通常采用明场或暗场这两种检测模式对待测物进行检测,两种模式各有优点,采用明场模式时对待测的量测更为精准,采用暗场模式时能够提升视觉检测系统的检测能力。
2、现有的光学检测系统,一次曝光成像只能采集待测物在一种检测模式下的图像,例如在图像采集器长曝光和暗场光源打开时采集待测物在暗场模式下的图像,在图像采集器短曝光和明场光源打开时采集待测物在明场模式下的图像,在同一待测物有两种检测需求时,图像采集器需要更改一次曝光,且还要切换两个光源的开关,检测耗时长,增加了生产成本。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提出一种能够同时对待测物进行明场和暗场检测的光学检测装置和光学检测系统。
2、为实现上述目的,本技术提供一种光学检测装置,包括物镜、第一光源、第二光源、第一图像采集器以及第二图像采集器,第一光源和第二光源用于照射待测物以分别形成反射光和散射光,所述光学检测装置还包括第一分光镜、第二分光镜、第一滤光片、第二滤光片以及两个扩束模块,第一分光镜用于将第一光源发出的光束反射至物镜下方并且反射光和散射光能够透过第一分光镜至第二分光镜处,第二分光镜用于将反射光和散射光分成两束以分别传导至第一图像采集器和第二图像采集器处,第一滤光片设于第二分光镜和第一图像采集器之间以过滤散射光,第二滤光片设于第二分光镜和第二图像采集器之间以过滤反射光,两个扩束模块分别设于第一分光镜和第二分光
3、作为本技术的进一步改进,所述扩束模块包括两个间隔设置的第一凸透镜。
4、作为本技术的进一步改进,所述第二图像采集器位于第二滤光片的斜向一侧,所述光学检测装置还包括设于第二滤光片远离第二分光镜一侧的第一反射镜,第一反射镜用于将透过第二滤光片的散射光反射至第二图像采集器处。
5、作为本技术的进一步改进,所述物镜至第一图像采集器的距离等于物镜的焦距,所述第二分光镜至第一图像采集器的距离等于第二分光镜至第一反射镜的距离加上第一反射镜至第二图像采集器的距离。
6、作为本技术的进一步改进,所述第一光源位于第一分光镜的斜向一侧,所述光学检测装置还包括在竖直方向上设于第一光源一侧的第二反射镜,第二反射镜用于将第一光源发出的光束反射至第一分光镜处。
7、作为本技术的进一步改进,所述第一光源为点光源,所述光学检测装置还包括设于第一光源和第二反射镜之间的用于使光束聚集的第二凸透镜。
8、作为本技术的进一步改进,所述第一滤光片为带有nd衰减功能的滤光片。
9、作为本技术的进一步改进,所述第二光源为环形光源并设于所述物镜上方。
10、作为本技术的进一步改进,所述第一反射镜相对所述第二滤光片的角度和/或位置能够调节,在采集图像时,使得所述物镜至第一图像采集器的距离等于物镜至第二图像采集器的距离。
11、本技术还提供一种光学检测系统,包括处理装置和上述的光学检测装置,所述处理装置用于处理第一图像采集器和第二图像采集器所采集的图像。
12、本技术的有益效果:
13、本技术提供的光学检测装置和光学检测系统,第一光源和第二光源能够同时打开,分别对待测物进行明场和暗场照明,第一图像采集器和第二图像采集器可分别获得待测物在明场和暗场照明时的图像,以使本技术能够同时对待测物进行明场和暗场检测。
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1.一种光学检测装置,其特征在于,包括物镜、第一光源、第二光源、第一图像采集器以及第二图像采集器,第一光源和第二光源用于照射待测物以分别形成反射光和散射光,所述光学检测装置还包括第一分光镜、第二分光镜、第一滤光片、第二滤光片以及两个扩束模块,第一分光镜用于将第一光源发出的光束反射至物镜下方并且反射光和散射光能够透过第一分光镜至第二分光镜处,第二分光镜用于将反射光和散射光分成两束以分别传导至第一图像采集器和第二图像采集器处,第一滤光片设于第二分光镜和第一图像采集器之间以过滤散射光,第二滤光片设于第二分光镜和第二图像采集器之间以过滤反射光,两个扩束模块分别设于第一分光镜和第二分光镜之间以及第二分光镜和第二图像采集器之间。
2.根据权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述扩束模块包括两个间隔设置的第一凸透镜。
3.根据权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述第二图像采集器位于第二滤光片的斜向一侧,所述光学检测装置还包括设于第二滤光片远离第二分光镜一侧的第一反射镜,第一反射镜用于将透过第二滤光片的散射光反射至第二图像采集器处。
4.根据权利
5.根据权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述第一光源位于第一分光镜的斜向一侧,所述光学检测装置还包括在竖直方向上设于第一光源一侧的第二反射镜,第二反射镜用于将第一光源发出的光束反射至第一分光镜处。
6.根据权利要求5所述的光学检测装置,其特征在于,所述第一光源为点光源,所述光学检测装置还包括设于第一光源和第二反射镜之间的用于使光束聚集的第二凸透镜。
7.根据权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述第一滤光片为带有ND衰减功能的滤光片。
8.根据权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述第二光源为环形光源并设于所述物镜上方。
9.根据权利要求3所述的光学检测装置,其特征在于,所述第一反射镜相对所述第二滤光片的角度和/或位置能够调节,在采集图像时,使得所述物镜至第一图像采集器的距离等于物镜至第二图像采集器的距离。
10.一种光学检测系统,其特征在于,包括处理装置和如权利要求1至9任意一项所述的光学检测装置,所述处理装置用于处理第一图像采集器和第二图像采集器所采集的图像。
...【技术特征摘要】
1.一种光学检测装置,其特征在于,包括物镜、第一光源、第二光源、第一图像采集器以及第二图像采集器,第一光源和第二光源用于照射待测物以分别形成反射光和散射光,所述光学检测装置还包括第一分光镜、第二分光镜、第一滤光片、第二滤光片以及两个扩束模块,第一分光镜用于将第一光源发出的光束反射至物镜下方并且反射光和散射光能够透过第一分光镜至第二分光镜处,第二分光镜用于将反射光和散射光分成两束以分别传导至第一图像采集器和第二图像采集器处,第一滤光片设于第二分光镜和第一图像采集器之间以过滤散射光,第二滤光片设于第二分光镜和第二图像采集器之间以过滤反射光,两个扩束模块分别设于第一分光镜和第二分光镜之间以及第二分光镜和第二图像采集器之间。
2.根据权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述扩束模块包括两个间隔设置的第一凸透镜。
3.根据权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述第二图像采集器位于第二滤光片的斜向一侧,所述光学检测装置还包括设于第二滤光片远离第二分光镜一侧的第一反射镜,第一反射镜用于将透过第二滤光片的散射光反射至第二图像采集器处。
4.根据权利要求3所述的光学检测装置,其特征在于,所述物镜至第一图像采集器的距离等于物镜的焦距,...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔塔生,
申请(专利权)人:苏州华兴源创科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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