一种气体混合装置制造方法及图纸

技术编号:40617678 阅读:6 留言:0更新日期:2024-03-12 22:39
本申请涉及一种气体混合装置,涉及气体混合设备领域。气体混合装置包括混气罐、第一进气管、第二进气组件和排气管,所述排气管与混气罐的顶部连通,所述第一进气管的出气口朝向混气罐内底壁,所述第二进气组件包括相互连通的第二进气管和分气管,所述第一进气管和第二进气管均贯穿且伸入至混气罐内,所述分气管位于所述第一进气管出气口的周围,所述分气管上开设有多个分气孔,所述分气孔朝向混气罐内底壁。本申请具有提高气体混合的均匀性的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及气体混合设备领域,尤其是涉及一种气体混合装置


技术介绍

1、在化学气相沉积过程中,部分碳碳复合材料的基体碳需要采用天然气/丙烷的混合气作为碳源气体,气体在通入气相沉积炉之前,需要对气体进行混合,传统气体混合方式为将混合所用的气体由各自的管道通入混合罐内,按照混合要求对不同气体的量分别采用气体流量计进行精确控制其进入量。

2、相关技术中的混合装置包括一个混合罐,罐体上连接2根进气管和一个排气管,2种气体分别从2根进气管进入混合罐进行混合,然后从排气管排至气相沉积炉。

3、由于不同气体的需求量不同,有的气体需求量很少,有的气体需求量很多,所以气体在进入混合罐后容易混合不均匀,最终会影响产品的结构及力学性能。


技术实现思路

1、为了提高气体混合的均匀性,本申请提供一种气体混合装置。

2、本申请提供的一种气体混合装置采用如下的技术方案:

3、一种气体混合装置,包括混气罐、第一进气管、第二进气组件和排气管,所述排气管与混气罐的顶部连通,所述第一进气管的出气口朝向混气罐内底壁,所述第二进气组件包括相互连通的第二进气管和分气管,所述第一进气管和第二进气管均贯穿且伸入至混气罐内,所述分气管位于所述第一进气管出气口的周围,所述分气管上开设有多个分气孔,所述分气孔朝向混气罐内底壁。

4、通过采用上述技术方案,当需要将两种气体混合均匀时,第一种气体从第一进气管进入混气罐,第二种气体从第二进气管进入分气管,再从分气孔进入混气罐,两种气体在混气罐底部初步混合后,再继续朝向排气管流动,在流动的过程中继续进一步混合,提高气体混合的均匀性,最终得到混合均匀的混合气体。

5、可选的,所述分气管为环形,所述第一进气管出气端从所述分气管内部穿过。

6、通过采用上述技术方案,第二种气体从环形的分气管流出,能够更好地与第一种气体混合均匀,进一步提高气体混合的均匀性。

7、可选的,所述分气孔轴线与水平面的夹角为30-60°。

8、通过采用上述技术方案,由于第一种气体朝向混气罐内底壁喷出后,再调头向上流动,第二种气体以30-60°的夹角从分气孔喷出后,能够与第一种气体充分接触,进一步提高气体混合的均匀性。

9、可选的,还包括至少一个混气隔板,所述混气隔板与混气罐内壁连接,所述混气隔板将所述混气罐内部分割成靠近所述第二进气组件的进气腔和靠近所述排气管的排气腔,所述混气隔板上开设有多个通孔。

10、通过采用上述技术方案,初步混合后的气体再通过通孔,进行再次混合,能够进一步提高气体混合的均匀性。

11、可选的,所述混气隔板设置有三个,三个所述混气隔板沿所述混气罐底壁至顶壁的方向间隔设置,三个所述混气隔板上的通孔的直径沿混气罐底壁至顶壁的方向逐渐减小。

12、通过采用上述技术方案,混合后的气体在每一次流经混气隔板时,均需要穿过通孔,使气体在混气罐内多次扩散后再混合,进一步提高气体混合的均匀性。

13、可选的,所述分气管设置有多个,多个所述分气管均与第二进气管连通,多个所述分气管沿所述第一进气管的出气方向间隔设置。

14、通过采用上述技术方案,第二种气体通过多个分气管流出,第一种气体在向上流动的过程中,与第二种气体经过多次相互碰撞、搅动和融合,两种气体混合更加均匀。

15、可选的,所述分气管设置有多个,多个所述分气管沿所述第一进气管出气口直径方向间隔设置,所述第一进气管出气端从最内侧的所述分气管内部穿过,多个外侧的所述分气管依次套设于最内侧的所述分气管的周围。

16、通过采用上述技术方案,第二种气体通过多个分气管流出,第一种气体在向上流动的过程中,与多路第二种气体充分混合,提高气体混合均匀性。

17、可选的,所述第二进气组件设置有多个,多个所述分气管沿所述混气罐底壁至顶壁的方向间隔设置。

18、通过采用上述技术方案,当气体的种类大于2种时,一种气体从第一进气管进入混气罐,其他气体通过多个进气组件进入混气罐,提高了适用性。

19、可选的,所述分气管设置有多个,多个所述分气管的一端均与第二进气管连通,多个所述分气管至少设置为一层,每层所述分气管的轴线平行或交叉设置。

20、通过采用上述技术方案,第二种气体通过多个分气管流出,第一种气体在向上流动的过程中,与多路第二种气体充分混合,提高气体混合均匀性。

21、可选的,所述混气罐上设置有真空压力表。

22、通过采用上述技术方案,真空压力表用于测量混气罐内气体的压力,

23、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:

24、1.当需要将两种气体混合均匀时,第一种气体从第一进气管进入混气罐,第二种气体从第二进气管进入分气管,再从分气孔进入混气罐,两种气体在混气罐底部初步混合后,再继续朝向排气管流动,在流动的过程中继续进一步混合,提高气体混合的均匀性,最终得到混合均匀的混合气体;

25、2.通过设置混气隔板,混合后的气体在每一次流经混气隔板时,均需要穿过通孔,使气体在混气罐内多次扩散后再混合,进一步提高气体混合的均匀性;

26、3.通过设置多个分气管,第二种气体通过多个分气管流出,第一种气体在向上流动的过程中,经过多次相互碰撞、搅动和融合,两种气体混合更加均匀。

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【技术保护点】

1.一种气体混合装置,其特征在于:包括混气罐(1)、第一进气管(2)、第二进气组件(3)和排气管(4),所述排气管(4)与混气罐(1)的顶部连通,所述第一进气管(2)的出气口朝向混气罐(1)内底壁,所述第二进气组件(3)包括相互连通的第二进气管(31)和分气管(32),所述第一进气管(2)和第二进气管(31)均贯穿且伸入至混气罐(1)内,所述分气管(32)位于所述第一进气管(2)出气口的周围,所述分气管(32)上开设有多个分气孔(5),所述分气孔(5)朝向混气罐(1)内底壁。

2.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述分气管(32)为环形,所述第一进气管(2)出气端从所述分气管(32)内部穿过。

3.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述分气孔(5)轴线与水平面的夹角为30-60°。

4.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:还包括至少一个混气隔板(6),所述混气隔板(6)与混气罐(1)内壁连接,所述混气隔板(6)将所述混气罐(1)内部分割成靠近所述第二进气组件(3)的进气腔和靠近所述排气管(4)的排气腔,所述混气隔板(6)上开设有多个通孔(7)。

5.根据权利要求4所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述混气隔板(6)设置有三个,三个所述混气隔板(6)沿所述混气罐(1)底壁至顶壁的方向间隔设置,三个所述混气隔板(6)上的通孔(7)的直径沿混气罐(1)底壁至顶壁的方向逐渐减小,三个所述混气隔板(6)上的通孔(7)的数量沿混气罐(1)底壁至顶壁的方向逐渐增大。

6.根据权利要求2所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述分气管(32)设置有多个,多个所述分气管(32)均与第二进气管(31)连通,多个所述分气管(32)沿所述第一进气管(2)的出气方向间隔设置。

7.根据权利要求2所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述分气管(32)设置有多个,多个所述分气管(32)沿所述第一进气管(2)出气口直径方向间隔设置,所述第一进气管(2)出气端从最内侧的所述分气管(32)内部穿过,多个外侧的所述分气管(32)依次套设于最内侧的所述分气管(32)的周围。

8.根据权利要求2所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述第二进气组件(3)设置有多个,多个所述分气管(32)沿所述混气罐(1)底壁至顶壁的方向间隔设置。

9.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述分气管(32)设置有多个,多个所述分气管(32)的一端均与第二进气管(31)连通,多个所述分气管(32)至少设置为一层,每层所述分气管(32)的轴线平行或交叉设置。

10.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述混气罐(1)上设置有真空压力表(8)。

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【技术特征摘要】

1.一种气体混合装置,其特征在于:包括混气罐(1)、第一进气管(2)、第二进气组件(3)和排气管(4),所述排气管(4)与混气罐(1)的顶部连通,所述第一进气管(2)的出气口朝向混气罐(1)内底壁,所述第二进气组件(3)包括相互连通的第二进气管(31)和分气管(32),所述第一进气管(2)和第二进气管(31)均贯穿且伸入至混气罐(1)内,所述分气管(32)位于所述第一进气管(2)出气口的周围,所述分气管(32)上开设有多个分气孔(5),所述分气孔(5)朝向混气罐(1)内底壁。

2.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述分气管(32)为环形,所述第一进气管(2)出气端从所述分气管(32)内部穿过。

3.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述分气孔(5)轴线与水平面的夹角为30-60°。

4.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:还包括至少一个混气隔板(6),所述混气隔板(6)与混气罐(1)内壁连接,所述混气隔板(6)将所述混气罐(1)内部分割成靠近所述第二进气组件(3)的进气腔和靠近所述排气管(4)的排气腔,所述混气隔板(6)上开设有多个通孔(7)。

5.根据权利要求4所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述混气隔板(6)设置有三个,三个所述混气隔板(6)沿所述混气罐(1)底壁至顶壁的方向间隔...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾武林梁钊迪晨阳樊乾国侯光远
申请(专利权)人:陕西美兰德新材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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