【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片生产设备，涉及断面式横切风硅片烘干槽。
技术介绍
1、目前市场上硅片清洗后所用的烘箱采用直接电加热加鼓风的方式。为使硅片能在短时间内快速烘干，只能采用大的加热功率，和大风力方式通过鼓风机直接吹于硅片，由于工作区域的风场是乱流式的，这会造成硅片的受热不均匀和硅片的碎片；而由于生产线的需要烘箱必须连续工作，使得烘箱无法及时清理，碎的硅片就在烘箱内被风吹使其变为粉末，如此循环不断增加了烘箱内的粉末而污染已经清洗干净的硅片，降低了硅片的成品率。另外大的功率浪费能源。根据此状态开发了断面式横切风硅片烘箱用于硅片清洗后的烘干。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种断面式横切风硅片烘干槽，能解决上述的问题，且烘干时间缩短降低加热功率。
2、按照本技术提供的技术方案：一种断面式横切风硅片烘干槽，包括烘箱，烘箱上方设有箱盖，烘箱由隔板分为为循环干燥工作区域和风循环驱动区域，循环干燥工作区域两侧通过循环对流孔与风循环驱动区域连通，循环干燥工作区域内设有花篮定位机构，风循环驱动区域内设有加热器及定向吹风机构； 风循环驱动区域分为底部循环区域，底部循环区域两侧连接左侧循环区域和右侧循环区域，左侧循环区域内侧为左侧板，右侧循环区域内侧为右侧板，左侧板和右侧板上均布循环对流孔；定向吹风机构包括风机和导风装置，风机壳体安装在烘箱底部，风机输出端伸入底部循环区域并安装叶轮，叶轮外周套设导风装置，导风装置出风口朝向左侧循环区域，导风装置进风口朝向右侧循环区域。
3、作为本
4、作为本技术的进一步改进，烘箱顶部设有箱盖滑架，箱盖在箱盖滑架中滑动，油缸缸体连接箱盖滑架，油缸活塞端与箱盖固定连接。
5、作为本技术的进一步改进，花篮定位机构包括花篮定位栏和花篮定位架，花篮定位栏位于循环干燥工作区域下部，花篮定位架放置在花篮定位栏上，花篮定位架底部与花篮定位栏接触，花篮定位架两侧与隔板接触。
6、作为本技术的进一步改进，花篮定位架下部设有碎片积盘；碎片积盘位于循环对流孔下方。
7、作为本技术的进一步改进， 风机为轴流风机；左侧板和右侧板上阵列式排布循环对流孔。
8、作为本技术的进一步改进，导风装置为蜗壳。
9、作为本技术的进一步改进，左侧循环区域、右侧循环区域中分别安装加热器，加热器为翅片式加热器。
10、作为本技术的进一步改进，烘箱上安装温度传感器，温度传感器测试端伸入循环干燥工作区域。
11、作为本技术的进一步改进，烘箱上安装新风进口和出风口，新风进口和出风口内端分别伸入左侧循环区域和右侧循环区域，出风口外端连接抽风机。
12、本申请的积极进步效果在于：
13、1、本技术左侧循环区域和右侧腔体对称分布在硅片方向的左右二侧，一侧出风，一侧吸风；通过离心风机使得两侧腔体产生压差，使风循环区域的热风经过侧板上阵列式排布的孔产生对流，断面式横切风均匀地穿过硅片与硅片之间的缝隙，即使硅片均匀受热，吸收硅片表面的水分和湿气，干燥均匀又不会对硅片产生风力的影响，有效保护硅片，特别是超薄硅片，可大大降低硅片在烘干过程中碎片的产生。
14、2、本技术带入烘箱的碎硅片只会落于碎片积盘，而两侧循环对流孔位于碎片积盘上方，不会将碎片重复带入风循环驱动区域吹到循环干燥工作区域污染硅片，从而提高硅片的成品率。
15、3、本技术利用前道清洗更换清洗液的时间，排气风机（14）以50~100立/小时的排气量通过新鲜空气置换的方式对烘箱进行清洗。
16、4、本技术采用断面式横切风，热风的对流方向与硅片平行，可使每一硅片均匀受热，烘干时间缩短降低加热功率。
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1.一种断面式横切风硅片烘干槽，包括烘箱，其特征在于，烘箱上方设有箱盖（11），烘箱由隔板分为为循环干燥工作区域（4）和风循环驱动区域，循环干燥工作区域（4）两侧通过循环对流孔与风循环驱动区域连通，循环干燥工作区域（4）内设有花篮定位机构，风循环驱动区域内设有加热器（10）及定向吹风机构；风循环驱动区域分为底部循环区域（1），底部循环区域（1）两侧连接左侧循环区域（2）和右侧循环区域（3），左侧循环区域（2）内侧为左侧板（8），右侧循环区域（3）内侧为右侧板（9），左侧板（8）和右侧板（9）上均布循环对流孔；定向吹风机构包括风机（6）和导风装置（7），风机（6）壳体安装在烘箱底部，风机（6）输出端伸入底部循环区域（1）并安装叶轮，叶轮外周套设导风装置（7），导风装置（7）出风口朝向左侧循环区域（2），导风装置（7）进风口朝向右侧循环区域（3）。
2.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，箱盖（11）由油缸（15）驱动。
3.如权利要求2所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，烘箱顶部设有箱盖滑架（16），箱盖（11）在箱盖滑架（16）中滑
4.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，花篮定位机构包括花篮定位栏（17）和花篮定位架（18），花篮定位栏（17）位于循环干燥工作区域（4）下部，花篮定位架（18）放置在花篮定位栏（17）上，花篮定位架（18）底部与花篮定位栏（17）接触，花篮定位架（18）两侧与隔板接触。
5.如权利要求4所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，花篮定位架（18）下部设有碎片积盘（18-1）；碎片积盘（18-1）位于循环对流孔下方。
6. 如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于， 风机（6）为轴流风机；左侧板（8）和右侧板（9）上阵列式排布循环对流孔。
7.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，导风装置（7）为蜗壳。
8.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，左侧循环区域（2）、右侧循环区域（3）中分别安装加热器（10），加热器（10）为翅片式加热器。
9.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，烘箱上安装温度传感器（19），温度传感器（19）测试端伸入循环干燥工作区域（4）。
10.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，烘箱上安装新风进口（13）和出风口（12），新风进口（13）和出风口（12）内端分别伸入左侧循环区域（2）和右侧循环区域（3），出风口（12）外端连接抽风机。
...【技术特征摘要】
1.一种断面式横切风硅片烘干槽，包括烘箱，其特征在于，烘箱上方设有箱盖（11），烘箱由隔板分为为循环干燥工作区域（4）和风循环驱动区域，循环干燥工作区域（4）两侧通过循环对流孔与风循环驱动区域连通，循环干燥工作区域（4）内设有花篮定位机构，风循环驱动区域内设有加热器（10）及定向吹风机构；风循环驱动区域分为底部循环区域（1），底部循环区域（1）两侧连接左侧循环区域（2）和右侧循环区域（3），左侧循环区域（2）内侧为左侧板（8），右侧循环区域（3）内侧为右侧板（9），左侧板（8）和右侧板（9）上均布循环对流孔；定向吹风机构包括风机（6）和导风装置（7），风机（6）壳体安装在烘箱底部，风机（6）输出端伸入底部循环区域（1）并安装叶轮，叶轮外周套设导风装置（7），导风装置（7）出风口朝向左侧循环区域（2），导风装置（7）进风口朝向右侧循环区域（3）。
2.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，箱盖（11）由油缸（15）驱动。
3.如权利要求2所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，烘箱顶部设有箱盖滑架（16），箱盖（11）在箱盖滑架（16）中滑动，油缸（15）缸体连接箱盖滑架（16），油缸（15）活塞端与箱盖（11）固定连接。
4.如权利要求1所述的断面式横切风硅片烘干槽，其特征在于，花篮定位机构包括花篮...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾韻，
申请(专利权)人：无锡市南亚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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