【技术实现步骤摘要】
本公开涉及使供给的处理气体等离子体化的等离子体发生装置等。
技术介绍
1、下述专利文献中记载了使供给的处理气体等离子体化的技术。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开平11-226744号公报
5、专利文献2：日本特开平09-192842号公报
6、专利文献3：日本特开平07-112278号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、本说明书以等离子体发生装置的实用性的提高为课题。
3、用于解决课题的手段
4、为了解决上述课题，本说明书公开了一种等离子体发生装置等，具备：电极，通过放电而使处理气体等离子体化；反应室，配设所述电极；及控制装置，对向所述反应室的处理气体的供给量进行控制，所述控制装置在所述电极的放电开始时将第一流量的处理气体向所述反应室供给，在持续执行所述电极的放电之后将比所述第一流量多的量的第二流量的处理气体向所述反应室供给。
5、专利技术效果
6、根据本公开，通过使在放电稳定时供给的处理气体的气体流量比在放电开始时供给的处理气体的气体流量多，即，使在放电开始时供给的处理气体的气体流量比在放电稳定时供给的处理气体的气体流量少，能够降低放电电压，等离子体发生装置的实用性提高。
【技术保护点】
1.一种等离子体发生装置，具备：
2.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其中，
3.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的等离子体发生装置，其中，
5.根据权利要求4所述的等离子体发生装置，其中，
6.根据权利要求4所述的等离子体发生装置，其中，
7.一种等离子体产生方法，在具备通过放电而使处理气体等离子体化的电极和配设所述电极的反应室的等离子体发生装置中，所述等离子体产生方法包括以下工序：
【技术特征摘要】
1.一种等离子体发生装置，具备：
2.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其中，
3.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的等离子体发生装置，其中，
5.根据权利要...
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