【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光刻胶的，尤其是涉及一种krf正型光刻胶。
技术介绍
1、光刻胶是制备滤光片的核心材料，光刻胶的成本占滤光片成本的6％-8％，光刻胶的品质直接影响滤光片的性能。光刻胶又称光致抗蚀剂，是电子行业微细加工技术的关键材料，主要应用于电子工业集成电路、半导体分立器和平板显示器的制作。常用的光刻胶采用丙烯酸树脂与黑色颜料分散液相结合进行制备，丙烯酸树脂作为光刻胶的成膜树脂，同时参与光固化反应和光分解反应，最终获得图案化的成膜树脂。光刻胶在使用过程中，常规的丙烯酸树脂与黑色颜料分散液搭配使用时，所得光刻胶存在附着性能较低的问题，从而会影响制得滤光片的性能。
技术实现思路
1、为了提高制得光刻胶的附着性能，本申请提供一种krf正型光刻胶。
2、第一方面，本申请提供的一种krf正型光刻胶，采用如下的技术方案：
3、一种krf正型光刻胶，所述光刻胶的原料包括如下重量份的组分：丙烯酸酯共聚树脂15～35份、酚醛丙烯酸酯复合树脂5～15份、偶联剂0.05～0.1份、光酸发生剂3～5份、有机碱0.01～0.05份、表面活性剂0.01～0.05份、溶剂40～60份；所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的原料包括：丙烯酸单体、引发剂、乙醇、酚醛树脂。
4、通过采用上述技术方案，将酚醛树脂溶解在乙醇中，利用引发剂使得丙烯酸单体共聚，在聚合的过程中，酚醛树脂本身具有大量的网络结构，丙烯酸单体穿插在网络结构中，提高了制得酚醛丙烯酸酯复合树脂的粘结强度；再利用偶联剂使得丙烯酸酯共聚树
5、在一个具体的可实施方案中，所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的制备方法包括以下步骤：
6、将酚醛树脂溶解在乙醇中，搅拌混合均匀，得到酚醛树脂溶液；
7、先将部分引发剂加入到部分乙酸乙酯中，混合均匀，得到引发剂溶液；
8、在氮气的保护下，将丙烯酸单体、剩下的引发剂、剩下的乙酸乙酯、酚醛树脂溶液混合均匀，然后在70-80℃下反应4-5h，再升温至80-90℃加入引发剂溶液反应1-2h，得到酚醛丙烯酸酯复合树脂。
9、通过采用上述技术方案，先将酚醛树脂溶解在乙醇中，接着在丙烯酸单体聚合时，加入酚醛树脂溶液，得到粘结强度较高的酚醛丙烯酸酯复合树脂。
10、在一个具体的可实施方案中，所述酚醛树脂与所述乙醇的重量比为1：(2～3)。
11、在一个具体的可实施方案中，所述丙烯酸单体、所述引发剂、所述酚醛树脂溶液的重量比为1：(0.005-0.01)：(0.2-0.4)。
12、通过采用上述技术方案，进一步限定了丙烯酸单体、引发剂、酚醛树脂溶液的配比，提高了制得酚醛丙烯酸酯复合树脂的性能。
13、在一个具体的可实施方案中，所述丙烯酸单体包括丙烯酸异辛酯、异丁烯酸甲酯、丙烯酸正丁酯组成的混合物。
14、在一个具体的可实施方案中，所述光酸发生剂包括二苯基碘鎓六氟磷酸盐、4,4'-二甲基二苯基碘鎓盐六氟磷酸盐、二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐中的一种或多种。
15、在一个具体的可实施方案中，所述有机碱包括有机胺。
16、在一个具体的可实施方案中，所述偶联剂包括γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷。
17、在一个具体的可实施方案中，所述溶剂包括丙二醇单醋酸酯、醋酸丁酯、双丙酮醇、丙二醇单乙醚中的一种或多种。
18、第二方面，本申请提供的一种krf正型光刻胶的制备方法，采用如下的技术方案：
19、一种krf正型光刻胶的制备方法，包括以下步骤：
20、将丙烯酸酯共聚树脂、酚醛丙烯酸酯复合树脂、偶联剂、光酸发生剂、有机碱、表面活性剂、溶剂搅拌混合均匀，过滤，得到krf正型光刻胶。
21、通过采用上述技术方案，将丙烯酸酯共聚树脂、酚醛丙烯酸酯复合树脂、偶联剂、光酸发生剂、有机碱、表面活性剂、溶剂搅拌，过滤，得到附着性能较好的krf正型光刻胶。
22、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
23、1.本申请中将酚醛树脂溶解在乙醇中，利用引发剂使得丙烯酸单体共聚，在聚合的过程中，酚醛树脂本身具有大量的网络结构，丙烯酸单体穿插在网络结构中，提高了制得酚醛丙烯酸酯复合树脂的粘结强度；再利用偶联剂使得丙烯酸酯共聚树脂、酚醛丙烯酸酯复合树脂偶联，从而提高了制得光刻胶的附着性能；
24、2.本申请中先将酚醛树脂溶解在乙醇中，接着在丙烯酸单体聚合时，加入酚醛树脂溶液，得到粘结强度较高的酚醛丙烯酸酯复合树脂；
25、3.本申请中的方法，将丙烯酸酯共聚树脂、酚醛丙烯酸酯复合树脂、偶联剂、光酸发生剂、有机碱、表面活性剂、溶剂搅拌，过滤，得到附着性能较好的krf正型光刻胶。
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1.一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述光刻胶的原料包括如下重量份的组分：丙烯酸酯共聚树脂15~35份、酚醛丙烯酸酯复合树脂5~15份、偶联剂0.05~0.1份、光酸发生剂3~5份、有机碱0.01~0.05份、表面活性剂0.01~0.05份、溶剂40~60份；所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的原料包括：丙烯酸单体、引发剂、乙醇、酚醛树脂。
2.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的制备方法包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述酚醛树脂与所述乙醇的重量比为1：（2~3）。
4.根据权利要求3所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述丙烯酸单体、所述引发剂、所述酚醛树脂溶液的重量比为1：（0.005-0.01）：（0.2-0.4）。
5.根据权利要求4所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述丙烯酸单体包括丙烯酸异辛酯、异丁烯酸甲酯、丙烯酸正丁酯组成的混合物。
6.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述光酸发生剂包括二苯基碘鎓
7.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述有机碱包括有机胺。
8.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述偶联剂包括γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷。
9.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述溶剂包括丙二醇单醋酸酯、醋酸丁酯、双丙酮醇、丙二醇单乙醚中的一种或多种。
10.一种如权利要求1-9任意一项所述的KrF正型光刻胶的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种krf正型光刻胶，其特征在于：所述光刻胶的原料包括如下重量份的组分：丙烯酸酯共聚树脂15~35份、酚醛丙烯酸酯复合树脂5~15份、偶联剂0.05~0.1份、光酸发生剂3~5份、有机碱0.01~0.05份、表面活性剂0.01~0.05份、溶剂40~60份；所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的原料包括：丙烯酸单体、引发剂、乙醇、酚醛树脂。
2.根据权利要求1所述的一种krf正型光刻胶，其特征在于：所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的制备方法包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种krf正型光刻胶，其特征在于：所述酚醛树脂与所述乙醇的重量比为1：（2~3）。
4.根据权利要求3所述的一种krf正型光刻胶，其特征在于：所述丙烯酸单体、所述引发剂、所述酚醛树脂溶液的重量比为1：（0.005-0.01）：（0.2-0.4）。
5.根据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐亮，陈韦帆，郑祥飞，王振强，
申请(专利权)人：瑞红苏州电子化学品股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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