籽晶熔接的控制方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:40603964 阅读:25 留言:0更新日期:2024-03-12 22:09
本发明专利技术实施例提供了一种籽晶熔接的控制方法、装置、设备及介质。该方法包括:获取籽晶和晶体溶液熔接的目标溶液温度和目标熔接位置,以及预热开始时的起始溶液温度和起始籽晶位置,根据目标溶液温度和目标熔接位置,起始溶液温度和起始籽晶位置,确定籽晶的位置和溶液温度之间的关联关系,在预热过程中,检测实时溶液温度,根据实时溶液温度和关联关系,控制籽晶进行下降,使得达到目标溶液温度后的预设时间内,籽晶到达目标熔接位置,使得籽晶随溶液温度下降而下降,位置与溶液温度相关,实现了控制籽晶缓慢下降,减少籽晶受到的热冲击,避免籽晶在高温区长时间停留,提高熔接的位置和时机的准确性,提高工艺的一致性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备,特别是涉及一种籽晶熔接的控制方法、一种籽晶熔接的控制装置、一种电子设备以及一种存储介质。


技术介绍

1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主,利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、预调温、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

2、其中,当多晶硅原料融化完成后,还不能马上开始引晶,因为这时的温度要高于引晶温度,还必须经过降温。预调温是将温度调整到一个合适的温度,将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触,然后通过调温将温度调整到引晶的温度。引晶是在引晶温度下,硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长,从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径,在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长,直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体,以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后,进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤,在该步骤中,通过对拉速和温度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种籽晶熔接的控制方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述目标溶液温度和目标熔接位置,以及所述起始溶液温度和起始籽晶位置,确定所述籽晶的位置和所述溶液温度之间的关联关系,包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述检测所述晶体溶液的实时溶液温度,包括:

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述控制所述籽晶以预设速度下降到所述目标位置,包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述控制所述籽晶以预设速度下降到所述目标位置,还包括:

6.根据权利要求1所述的方法,其...

【技术特征摘要】

1.一种籽晶熔接的控制方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述目标溶液温度和目标熔接位置,以及所述起始溶液温度和起始籽晶位置,确定所述籽晶的位置和所述溶液温度之间的关联关系,包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述检测所述晶体溶液的实时溶液温度,包括:

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述控制所述籽晶以预设速度下降到所述目标位置,包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述控制所述籽晶以预设速度下降到所述目标位置,还包括:

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述获取籽晶和晶体溶液熔接的目标...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨正华张伟建郭力王正远李广砥周宏坤
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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