【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及涂层检测，特别涉及一种高性能纳米涂层涂覆检测装置及检测方法。
技术介绍
1、涂层厚度测量方法有称重法、千涉显微计法、金相显微镜法、x衍法等，行业中常用的测试方法有扫描电镜、金相显微销以及x衍射法.x衍射法测量厚度虽然可以不破坏样品，但被测结晶物质如果存在择优取向、晶格缺陷等，就会引起衍射线强度的变化，造成测量结果的误差。而用金相显微镜观察，在制样时表面涂层容易崩落或倒角，制样因难目只能测试厚度，不能真观观察涂层断面形貌，全相显微镜可以测量厚度厚点的涂层，但是当厚度低于0.4um，分辨率无法识别。所以针对一般厚度在1-2um左右的pvd涂层，只能采用扫描电镜测量，对于多层的涂层次电子成像无法识别，只能采用背散射电子成像。
2、扫猫电镜(sem)主要是利用二次电子和背散电子成像，背散射电子信号是由入射电子与样品发生了准弹性散射形成的，分析样品表面信息的深度通常是几百纳米。
3、当前在涂层检测过程中，普遍存在切割刀片时刀片容易滑动，导致刀片切面存在倾角和褶皱，影响检测效果。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种高性能纳米涂层涂覆检测装置及检测方法。
3、(二)技术方案
4、为了以上目的，本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，包括机架，所述机架表面设有运输结构，所述运输结构上方设有喷涂结构，所述运输结构包括传送带、放置槽、
5、作为优选，所述放置槽顶部滑槽连接有卡块。
6、作为优选，所述固定槽为竖直方向上通槽，所述固定槽两侧开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有挡板，当刀片位于放置槽与固定槽内时刀片顶部分别与挡板底部和卡块底部贴合。
7、作为优选，所述传送带一侧设有切割结构，所述切割结构包括电机、切割刀片、电缸和导块，所述电缸与机架固定连接，所述导块受到电缸驱动，所述电机与导块固定连接，所述切割刀片受到电机驱动，所述切割刀片位于切割槽内。
8、作为优选，所述导块上设有控温结构，所述控温结构包括喷头、导管和蓄水池，所述蓄水池开设于机架表面，所述喷头与导块固定连接，所述导管连接蓄水池和喷头。
9、作为优选，所述喷涂结构与机架连接于切割结构之前。
10、一种高性能纳米涂层涂覆检测方法，包括以下步骤：s1.对刀片表面进行净化处理；s2.将纳米涂层涂覆与刀片上，将涂覆好的刀片纵向切割；s3.
11、再利用钳子将切割后的刀片掰开，得到平整基体和涂层的截面，结合背散射电子成像观测方法观测纳米涂层的厚度。
12、作为优选，所述涂覆过程包括以下步骤：
13、a.将涂层放置真空室中进行处理；
14、b.向a步骤中的真空室内添加横向磁场，再采用阴极电弧离子镀进行离子
15、沉积；
16、c.将b步骤中离子沉积后的涂层通过喷涂装置将涂层涂覆至刀片上。
17、(三)有益效果
18、本专利技术提供了一种高性能纳米涂层涂覆检测装置及检测方法。具备以下
19、有益效果：
20、1、通过放置槽和固定槽固定刀片，通过挡板和卡块在切割时候对刀片进行固定，防止切割时刀片滑动影响切割效果；刀片在刀片槽内经过运输和喷涂后被切割，通过观察刀片基体和涂层的截面，结合背散射电子成像观测方法观测纳米涂层的厚度。
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1.一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)表面设有运输结构，所述运输结构上方设有喷涂结构，所述运输结构包括传送带(2)、放置槽(3)、固定槽(4)、切割槽(5)和刀片槽(6)，所述刀片槽(6)开设于传送带(2)表面，所述放置槽(3)开设于刀片槽(6)内壁一侧底部，所述固定槽(4)开设于刀片槽(6)内壁一侧顶部，所述固定槽(4)与放置槽(3)相对，所述切割槽(5)竖直开设于传送带(2)表面。
2.根据权利要求1所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征在于，所述放置槽(3)顶部滑槽(8)连接有卡块(7)。
3.根据权利要求2所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征在于，所述固定槽(4)为竖直方向上通槽，所述固定槽(4)两侧开设有滑槽(8)，所述滑槽(8)内滑动连接有挡板(9)，当刀片位于放置槽(3)与固定槽(4)内时刀片顶部分别与挡板(9)底部和卡块(7)底部贴合。
4.根据权利要求3所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征在于，所述传送带(2)一侧设有切割结构，所述切割结构包括电机(10)、切割刀片
5.根据权利要求4所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征在于，所述导块(13)上设有控温结构，所述控温结构包括喷头(14)、导管(15)和蓄水池(16)，所述蓄水池(16)开设于机架(1)表面，所述喷头(14)与导块(13)固定连接，所述导管(15)连接蓄水池(16)和喷头(14)。
6.根据权利要求5所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征在于，所述喷涂结构与机架(1)连接于切割结构之前。
7.一种高性能纳米涂层涂覆检测方法，包括以下步骤：
8.根据权利要求7所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测方法，其特征在于，所述涂覆过程包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)表面设有运输结构，所述运输结构上方设有喷涂结构，所述运输结构包括传送带(2)、放置槽(3)、固定槽(4)、切割槽(5)和刀片槽(6)，所述刀片槽(6)开设于传送带(2)表面，所述放置槽(3)开设于刀片槽(6)内壁一侧底部，所述固定槽(4)开设于刀片槽(6)内壁一侧顶部，所述固定槽(4)与放置槽(3)相对，所述切割槽(5)竖直开设于传送带(2)表面。
2.根据权利要求1所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征在于，所述放置槽(3)顶部滑槽(8)连接有卡块(7)。
3.根据权利要求2所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征在于，所述固定槽(4)为竖直方向上通槽，所述固定槽(4)两侧开设有滑槽(8)，所述滑槽(8)内滑动连接有挡板(9)，当刀片位于放置槽(3)与固定槽(4)内时刀片顶部分别与挡板(9)底部和卡块(7)底部贴合。
4.根据权利要求3所述的一种高性能纳米涂层涂覆检测装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊新红，崔家喜，陈博，
申请(专利权)人：电子科技大学长三角研究院湖州，
类型：发明
国别省市：
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