一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法技术

本发明专利技术涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法，包括：控制飞秒激光器输出飞秒激光；调整飞秒激光光路整形系统、飞秒激光偏振调整系统，使得飞秒激光脉冲平行入射到偏振合光镜中心；调整光路调整镜组中的空间角度，使得飞秒激光聚焦到工件的表面；观察示波器上显示的双激光脉冲延时序列与设定是否相同；若示波器上显示双激光脉冲延时序列与设定相同，则移动工作台面使得工件位于加工位置；若不相同，则断开脉冲序列调制器与飞秒激光器的连接，重置延时光反射镜位移台与参考光之间的距离；本发明专利技术通过时空调制的方法，得到了具有矩形光斑的双脉冲延时激光，从而实现对加工深度的精准控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光加工，具体而言，涉及一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法。

技术介绍

1、现阶段，激光加工技术已经广泛应用于航空航天、半导体、微电子、仪器仪表等领域。

2、在制造业领域，抛光工艺是改善工件表面粗糙度极为重要的表面修饰工序。飞秒抛光得益于脉冲极短的时间尺度和高峰值功率，可实现对材料的精细加工，同时避免了传统机械抛光可能引起的机械应力和变形，对于脆性材料和精密器件的加工更加有利，此外，飞秒激光抛光在表面不引入化学污染，抛光过程无废料产生，因此是一种绿色的抛光方法。但由于飞秒激光较低的单脉冲能量，很难实现高效率的加工。此外，飞秒激光还会受到高斯型光场分布的限制，无法实现高效扫描抛光。

技术实现思路

1、本专利技术解决的问题是如何实现对工件的高效扫描抛光。

2、为解决上述问题，本专利技术提供一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法，应用于基于激光光束时空调制的高效抛光系统，其包括脉冲序列调制器、飞秒激光器、激光光束整形部件、光学偏振元件、激光分束装置、延时光反射镜位移台、矩形本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法，应用于基于激光光束时空调制的高效抛光系统，其包括脉冲序列调制器、飞秒激光器、激光光束整形部件、光学偏振元件、激光分束装置、延时光反射镜位移台、矩形光阑元件、高速光电探测器、示波器、聚焦观测系统、白光光源、移动工作台、光路空间位置调整部件；其特征在于，基于激光光束时空调制的高效抛光方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效抛光方法，其特征在于，光路调整镜组包括可见光透射激光反射镜和非偏振白光分束镜；

3.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效抛光方法，其特征在于，所述控制飞秒激光器启动之...

【技术特征摘要】

1.一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法，应用于基于激光光束时空调制的高效抛光系统，其包括脉冲序列调制器、飞秒激光器、激光光束整形部件、光学偏振元件、激光分束装置、延时光反射镜位移台、矩形光阑元件、高速光电探测器、示波器、聚焦观测系统、白光光源、移动工作台、光路空间位置调整部件；其特征在于，基于激光光束时空调制的高效抛光方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效抛光方法，其特征在于，光路调整镜组包括可见光透射激光反射镜和非偏振白光分束镜；

3.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效抛光方法，其特征在于，所述控制飞秒激光器启动之前，还包括：

4.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效抛光方法，其特征在于，所述若示波器上显示双激光脉冲延时序列与设定相同之后，还包括：

5.根据权利要求4所述的基于激光光束时...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨立军，刘豪，丁烨，刘亚楠，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院，
类型：发明
国别省市：